ELECTRODE COOLING SYSTEM IN A MULTI-ELECTRODE MICROWAVE PLASMA EXCITATION SOURCE
Номер патента: US20140042888A1
Опубликовано: 13-02-2014
Автор(ы): JANKOWSKI Krzysztof, RAMSZA Andrzej, RESZKE Edward
Принадлежит: Instytut Optyki Stosowanej
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-02-2014
Автор(ы): JANKOWSKI Krzysztof, RAMSZA Andrzej, RESZKE Edward
Принадлежит: Instytut Optyki Stosowanej
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Electrode cooling system in a multi-electrode microwave plasma excitation source
Номер патента: US20140042888A1. Автор: Edward Reszke,Krzysztof Jankowski,Andrzej Ramsza. Владелец: Instytut Optyki Stosowanej. Дата публикации: 2014-02-13.