用以減輕晶圓黏貼之整合式彈性唇形密封與杯底
Номер патента: TW202102724A
Опубликовано: 16-01-2021
Автор(ы): 亞倫 伯克, 利平 蔡, 史蒂芬 T 邁爾, 山托許 庫瑪, 羅伯特 拉許
Принадлежит: 美商蘭姆研究公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 16-01-2021
Автор(ы): 亞倫 伯克, 利平 蔡, 史蒂芬 T 邁爾, 山托許 庫瑪, 羅伯特 拉許
Принадлежит: 美商蘭姆研究公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for remote plasma treatment for reducing metal oxides on a metal seed layer
Номер патента: US09865501B2. Автор: David Porter,Jonathan D. Reid,George Andrew Antonelli,James E. Duncan,Tighe A. Spurlin,Natalia Doubina. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-01-09.