Verfahren und Vorrichtung zum selektiven Ätzen einer Aluminiumschicht

25-10-1979 дата публикации

Номер:

DE0002640511C3

Автор: HEINECKE, RUDOLF AUGUST HERBERT, ASHCROFT, GEOFFREY LAURENCE

Принадлежит: DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG

Контакты:

Номер заявки: 2640511

Дата заявки: 09-09-1976

CPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F4 C23F4/C23F4/0 C23F4/00 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01J37/321 H01J37/325 H01J37/3253 H01J37/32532 H01J37/326 H01J37/3262 H01J37/32623 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/2 H01L21/28 H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213 H01L21/32131 H01L21/32136 H01L21/6 H01L21/67 H01L21/670 H01L21/6706 H01L21/67069

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F4 C23F4/C23F4/0 C23F4/00 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/32 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/00 H01L21/2 H01L21/28 H01L21/3 H01L21/30 H01L21/302 H01L21/306 H01L21/3065 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3213