Substrate coating assembly using a sputtering device

10-04-2002 дата публикации

Номер:

EP0795890A3

Автор: Anton Dipl.-Ing. Zmelty, Dietmar Marquardt, Götz Dipl.-Ing. Teschner, Joachim Dr. Dipl.-Phys. Szczyrbowski, Jürgen Dipl.-Ing. Bruch

Принадлежит: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG, Leybold AG

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/0 C23C14/00 C23C14/003 C23C14/0036 C23C14/3 C23C14/34 H H0 H01 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34 H01J37/340 H01J37/3402 H01J37/344 H01J37/3444

IPC - классификация

C C2 C23 C23C C23C1 C23C14 C23C14/C23C14/0 C23C14/00 C23C14/003 C23C14/0036 H H0 H01 H01C H01C1 H01C17 H01C17/H01C17/1 H01C17/12 H01J H01J3 H01J37 H01J37/H01J37/3 H01J37/34

Получить PDF