SYSTEM HAVING SURFACE DENSITY OF INCREASED MICROELECTROMECHANICAL AND / OR NANOELECTROMECHANICAL DEVICES

30-06-2017 дата публикации

Номер:

FR3046153A1

Автор: Sébastien Hentz, Willy Ludurczak

Принадлежит: Commissariat a lEnergie Atomique CEA, Commissariat a lEnergie Atomique et aux Energies Alternatives CEA

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

B B8 B81 B81B B81B2 B81B22 B81B220 B81B2201 B81B2201/B81B2201/0 B81B2201/02 B81B2201/021 B81B2201/0214 B81B2203 B81B2203/B81B2203/0 B81B2203/03 B81B2203/030 B81B2203/0307 B81B2207 B81B2207/B81B2207/0 B81B2207/01 B81B2207/017 B81B2207/05 B81B2207/053 B81B2207/07 B81B7 B81B7/B81B7/0 B81B7/02 B81B7/04 B81C B81C1 B81C1/B81C1/0 B81C1/00 B81C1/002 B81C1/0023 B81C1/00238 B81C2 B81C22 B81C220 B81C2201 B81C2201/B81C2201/0 B81C2201/01 B81C2201/019 B81C2201/0195 B81C2203 B81C2203/B81C2203/0 B81C2203/03 B81C2203/038 H H0 H03 H03H H03H2 H03H20 H03H200 H03H2009 H03H2009/H03H2009/0 H03H2009/02 H03H2009/022 H03H2009/0229 H03H2009/02291 H03H3 H03H3/H03H3/0 H03H3/00 H03H3/007 H03H3/0072 H03H3/02 H03H9 H03H9/H03H9/2 H03H9/24 H03H9/246 H03H9/2463

IPC - классификация

H H0 H03 H03H H03H3 H03H3/H03H3/0 H03H3/00 H03H3/007 H03H3/0072 H03H3/02 H03H9 H03H9/H03H9/2 H03H9/24 H03H9/246 H03H9/2463

Получить PDF