BACKSIDE BEVEL PROTECTION

04-10-2012 дата публикации

Номер:

US20120248510A1

Автор: Ching-Chung Pai, Jung-Tzu HSU, Jyh-Huei Chen, Yu-Hsien Lin

Принадлежит: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/2 H01L21/26 H01L21/265 H01L21/2658 H01L21/26586 H01L29 H01L29/H01L29/4 H01L29/49 H01L29/498 H01L29/4983 H01L29/6 H01L29/66 H01L29/665 H01L29/6654 H01L29/66545 H01L29/7 H01L29/78 H01L29/783 H01L29/7834 H01L29/784 H01L29/7848

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L29 H01L29/H01L29/1 H01L29/16 H01L29/165 H01L29/6 H01L29/66 H01L29/665 H01L29/6654 H01L29/66545 H01L29/667 H01L29/6679 H01L29/66795

Получить PDF