Barrier polishing fluid

10-07-2007 дата публикации

Номер:

US7241725B2

Автор: Jinru Bian

Принадлежит: Rohm and Haas Electronic Materials CMP Holdings Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

A A6 A62 A62C A62C3 A62C3/A62C3/1 A62C3/10 A62C35 A62C35/A62C35/2 A62C35/20 B B6 B63 B63B B63B1 B63B19 B63B19/B63B19/0 B63B19/00 B63B2 B63B20 B63B201 B63B2019 B63B2019/B63B2019/0 B63B2019/00 B63B2019/005 B63B2019/0053 C C0 C09 C09G C09G1 C09G1/C09G1/0 C09G1/02 E E0 E05 E05C E05C3 E05C3/E05C3/0 E05C3/02 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

IPC - классификация

C C2 C23 C23F C23F3 C23F3/C23F3/0 C23F3/00 C23F3/04 H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/3 H01L21/32 H01L21/321 H01L21/3212

Получить PDF