Fin pitch scaling and active layer isolation

07-07-2015 дата публикации

Номер:

US9076842B2

Автор: Ajey Poovannummoottil Jacob, Bartlomiej Jan Pawlak, Murat Kerem Akarvardar, Steven John Bentley

Принадлежит: Globalfoundries Inc

Контакты:

Номер заявки:

Дата заявки:

CPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/0 H01L21/02 H01L21/024 H01L21/0248 H01L21/02488 H01L21/025 H01L21/0258 H01L21/02587 H01L21/7 H01L21/76 H01L21/762 H01L21/764 H01L29 H01L29/H01L29/6 H01L29/66 H01L29/667 H01L29/6679 H01L29/66795 H01L29/7 H01L29/78 H01L29/785

IPC - классификация

H H0 H01 H01L H01L2 H01L21 H01L21/H01L21/7 H01L21/76 H01L21/764 H01L29 H01L29/H01L29/1 H01L29/16 H01L29/165 H01L29/6 H01L29/66 H01L29/667 H01L29/6679 H01L29/66795

Получить PDF