17-02-2011 дата публикации
Номер: KR101016158B1
본 발명은, 볼부의 형성성, 접합성을 개선하고, 루프 제어성도 양호하고, 웨지 접속의 접합 강도를 높이고, 공업 생산성도 확보하고, 금 와이어보다도 저렴한 구리를 주체로 하는 본딩 와이어를 제공하는 것이며, 구리를 주성분으로 하는 코어재와, 상기 코어재 상에 코어재와 다른 조성의 도전성 금속의 표피층을 갖는 본딩 와이어이며, 상기 표피층의 주성분이 금, 팔라듐, 백금, 로듐, 은 또는 니켈로부터 선택되는 2종 이상이고, 상기 표피층 내에 와이어 직경 방향으로 주성분 금속 또는 구리의 한쪽 또는 양쪽의 농도 구배를 갖는 영역이 존재하는 것을 특징으로 하는 반도체 장치용 본딩 와이어이다. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention improves the formability and bonding properties of a ball part, improves loop controllability, improves bonding strength of wedge connection, secures industrial productivity, and provides a bonding wire mainly composed of copper, which is cheaper than gold wire. A bonding wire having a core material mainly composed of copper and a skin layer of a conductive metal having a composition different from that of the core material on the core material, wherein the main component of the skin layer is selected from gold, palladium, platinum, rhodium, silver or nickel. It is a bond wire for semiconductor devices characterized by the above-mentioned, and the area | region which has the density | concentration gradient of one or both of main component metal or copper in a wire diameter direction exists in the said skin layer. 코어재, 본딩 와이어, 볼, 네크부, 피복층 Core material, bonding wire, ball, neck part, coating layer
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