Plasma processing apparatus and method for carrying out plasma processing by using such plasma processing apparatus
Номер патента: US5567268A
Опубликовано: 22-10-1996
Автор(ы): Shingo Kadomura
Принадлежит: Sony Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-10-1996
Автор(ы): Shingo Kadomura
Принадлежит: Sony Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Plasma processing method
Номер патента: US09455153B2. Автор: Genki Koguchi,Akio Morisaki,Yukinori Hanada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-27.