Edge cover apparatus of plasma process apparatus to eliminate tri-layer particles formed on substrate
Номер патента: KR100457497B1
Опубликовано: 05-02-2005
Автор(ы): 황진호
Принадлежит: 삼성전자주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 05-02-2005
Автор(ы): 황진호
Принадлежит: 삼성전자주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Stackable plasma source for plasma processing
Номер патента: US20230411121A1. Автор: Rene George,Vladimir Nagorny. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-12-21.