Method and apparatus for the improvement of material/voltage contrast
Номер патента: US20070087572A1
Опубликовано: 19-04-2007
Автор(ы): Erwan Le Roy, Mark Thompson, William Thompson
Принадлежит: Credence Systems Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 19-04-2007
Автор(ы): Erwan Le Roy, Mark Thompson, William Thompson
Принадлежит: Credence Systems Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method and apparatus for applying a coating at a high rate onto non-line-of-sight regions of a substrate
Номер патента: EP2590756A2. Автор: Derek Hass,Balvinder Gogia. Владелец: Directed Vapor Technologies International Inc. Дата публикации: 2013-05-15.