DEVICE FOR SEPARATING A STRUCTURED LAYER ON A SUBSTRATE, AND METHOD FOR SETTING UP THE DEVICE
Номер патента: US20200010950A1
Опубликовано: 09-01-2020
Автор(ы): Jaap Oudes, Markus Jakob, Vladimirs Leontjevs, Wilhelmus Janssen
Принадлежит: AIXTRON SE
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-01-2020
Автор(ы): Jaap Oudes, Markus Jakob, Vladimirs Leontjevs, Wilhelmus Janssen
Принадлежит: AIXTRON SE
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device for applying and / or for partially removing a thin layer on or from a substrate
Номер патента: DE9218974U1. Автор: . Владелец: Fairchild Convac Geraete GmbH. Дата публикации: 1996-08-22.