Reaction chamber for vapor deposition process
Номер патента: WO2014036886A1
Опубликовано: 13-03-2014
Автор(ы): 何晓崐, 叶芷飞, 孙仁君, 左然, 田益西, 谭华强
Принадлежит: 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-03-2014
Автор(ы): 何晓崐, 叶芷飞, 孙仁君, 左然, 田益西, 谭华强
Принадлежит: 光达光电设备科技(嘉兴)有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Chemical vapor deposition apparatus
Номер патента: US8298338B2. Автор: Ji Hye Shim,Changsung Sean KIM,Sang Duk Yoo,Jong Pa HONG,Won Shin LEE. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2012-10-30.