Metalorganic chemical vapor deposition system and method
Номер патента: US11661655B2
Опубликовано: 30-05-2023
Автор(ы): Kazuhiro Ohkawa
Принадлежит: King Abdullah University of Science and Technology KAUST
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 30-05-2023
Автор(ы): Kazuhiro Ohkawa
Принадлежит: King Abdullah University of Science and Technology KAUST
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Metalorganic chemical vapor deposition system and method
Номер патента: US20200115800A1. Автор: Kazuhiro Ohkawa. Владелец: King Abdullah University of Science and Technology KAUST. Дата публикации: 2020-04-16.