Reticle cooling by non-uniform gas flow
Номер патента: WO2016107714A1
Опубликовано: 07-07-2016
Автор(ы): Christopher Charles WARD, Daniel Nathan Burbank, Daniel Nicholas GALBURT, Geoffrey Schultz, Herman Vogel, Johannes Onvlee, Laurentius Johannes Adrianus Van Bokhoven, Santiago E. DELPUERTO, Thomas Venturino
Принадлежит: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-07-2016
Автор(ы): Christopher Charles WARD, Daniel Nathan Burbank, Daniel Nicholas GALBURT, Geoffrey Schultz, Herman Vogel, Johannes Onvlee, Laurentius Johannes Adrianus Van Bokhoven, Santiago E. DELPUERTO, Thomas Venturino
Принадлежит: ASML Holding N.V., ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reticle Cooling by Non-Uniform Gas Flow
Номер патента: US20170363973A1. Автор: Johannes Onvlee,Herman Vogel,Daniel Nathan Burbank,Thomas Venturino,Daniel Nicholas GALBURT,Santiago E. DELPUERTO,Laurentius Johannes Adrianus Van Bokhoven,Christopher Charles WARD,Geoffrey Alan Schultz. Владелец: Asml Holding Nv. Дата публикации: 2017-12-21.