Substrate processing chamber and process gas flow deflector for use in the processing chamber
Номер патента: US12018369B2
Опубликовано: 25-06-2024
Автор(ы): Christian Illemann, Mathias Male, Matthias Kuenle, Olaf Fiedler, Thomas Huber
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 25-06-2024
Автор(ы): Christian Illemann, Mathias Male, Matthias Kuenle, Olaf Fiedler, Thomas Huber
Принадлежит: INFINEON TECHNOLOGIES AG
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Gas inlet assembly of process chamber, gas inlet apparatus, and semiconductor processing equipment
Номер патента: EP4283023A1. Автор: Shikai Li. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-29.