• Главная
  • Substrate processing chamber and process gas flow deflector for use in the processing chamber

Substrate processing chamber and process gas flow deflector for use in the processing chamber

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Indexed gas jet injector for substrate processing system

Номер патента: US20150376793A1. Автор: David K. Carlson. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-12-31.

Continuous liner for use in a processing chamber

Номер патента: US11814724B2. Автор: Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,James D. Carducci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-11-14.

Continuous liner for use in a processing chamber

Номер патента: US20230175123A1. Автор: Kartik Ramaswamy,Kenneth S. Collins,James D. Carducci. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-06-08.

Adjustable cross-flow process chamber lid

Номер патента: US20240247373A1. Автор: Sanjeev Baluja,Muhannad MUSTAFA. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-25.

Adjustable cross-flow process chamber lid

Номер патента: WO2024158731A1. Автор: Sanjeev Baluja,Muhannad MUSTAFA. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-08-02.

Deposition apparatus and processing method

Номер патента: US20240209508A1. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09487863B2. Автор: Kazuyuki Toyoda,Kazuhiro Morimitsu,Shun Matsui. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-11-08.

Baffle for providing uniform process gas flow on substrate and around pedestal

Номер патента: WO2024155500A1. Автор: Emile Charles DRAPER. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Method

Номер патента: US20180037995A1. Автор: Takayuki Karakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-08.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240309506A1. Автор: Sung Hwan Lee,Kun Woo Park,Woo Young Park,Jae Jin Han. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160230280A1. Автор: Kazuyuki Toyoda,Kazuhiro Morimitsu,Shun Matsui. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-08-11.

Gas inlet tube assembly for an improved gas mixture in a substrate processing apparatus

Номер патента: US20240124981A1. Автор: DongRak Jung,Jongsu Kim,Arun THOTTAPPAYIL. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09732421B2. Автор: Tsukasa Kamakura. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate processing apparatus and method for processing substrate

Номер патента: US20230245858A1. Автор: Hitoshi Kato,Hiroyuki Kikuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-03.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230349036A1. Автор: Naoki Takahashi,Masato Shinada,Junichi Takei. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-02.

Improved heater for use in substrate processing apparatus to deposit tungsten

Номер патента: EP1080485A1. Автор: Jun Zhao,Talex Sajoto,Leonid Selyutin. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-03-07.

Substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20080199610A1. Автор: Katsuhiko Yamamoto,Atsushi Moriya,Yasuhiro Inokuchi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2008-08-21.

Improving chemistry utilization by increasing pressure during substrate processing

Номер патента: WO2024076576A1. Автор: Gopinath Bhimarasetti,Nathaniel Elba RICHEY. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-04-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09988717B2. Автор: Manabu Honma. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-06-05.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240301555A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing system

Номер патента: US20070026150A1. Автор: Takao Horiuchi,Hiroshi Hattori,Hiroaki Ogamino,Yasuhiro Niimura,Azumi Horiuchi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-02-01.

Lamp and window configurations for substrate processing chambers

Номер патента: WO2024076493A1. Автор: Venkateswaran Subbaraman,Raja Murali Dhamodharan. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-04-11.

Method for processing substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US09768012B2. Автор: Masanori Sakai,Tsutomu Kato,Yuji Takebayashi,Hirohisa Yamazaki. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-09-19.

Semiconductor process chamber with improved reflector

Номер патента: US20230399742A1. Автор: Yen Chuang,Chia-Hung Liu,Sou-Chuan CHIANG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Methods and apparatus for in-situ cleaning of a process chamber

Номер патента: US09627185B2. Автор: Chien-Teh Kao,Joel M. Huston,Nicholas R. Denny. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-04-18.

Substrate processing apparatus and exhaust method thereof

Номер патента: US20240026540A1. Автор: Junhyun LEE,Jungkuk LEE,Kitaek SONG,Jongkuk WON,Sangmi YOON. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-01-25.

Precoat method for substrate processing apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240191349A1. Автор: Atsushi Tanaka,Taichi Monden. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09822450B2. Автор: Eiji Ozaki,Keisuke Ueda,Toshikazu Nakazawa,Norihito Tsukamoto. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2017-11-21.

Reaction chamber for processing semiconductor substrates with gas flow control capability

Номер патента: US20230411176A1. Автор: Arun THOTTAPPAYIL,Dongrak Jeong. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-12-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09869022B2. Автор: Motoshi Sawada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-01-16.

Gas injection apparatus and substrate processing apparatus using same

Номер патента: US09732424B2. Автор: Jung-Hwan Lee,Woo-young Park,Tae-Ho Hahm. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-15.

Substrate processing device and method for measuring process gas temperature and concentration

Номер патента: US20240241042A1. Автор: Yuji Obata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US8875656B2. Автор: Tetsuo Yamamoto,Nobuhito Shima,Nobuo Ishimaru,Tadashi Kontani. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2014-11-04.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20090241835A1. Автор: Tetsuo Yamamoto,Nobuhito Shima,Nobuo Ishimaru,Tadashi Kontani. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-10-01.

Gas supply device and substrate processing apparatus

Номер патента: US09887108B2. Автор: Yohei Uchida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-06.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230268164A1. Автор: Shinya Yamanaka,Hideki Sugiyama,Shojiro Yahata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-24.

Processing apparatus and process status checking method

Номер патента: US09708711B2. Автор: Toshimasa Tanaka,Toshio Miyazawa,Katsuhito Hirose,Toshiharu Hirata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

High power showerhead with recursive gas flow distribution

Номер патента: US20210032752A1. Автор: Xiaoping Zhou,Hamid Noorbakhsh. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2021-02-04.

Processing apparatus and processing method

Номер патента: US20220148890A1. Автор: Atsushi Sawachi,Kosuke Ogasawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-12.

Stable silicon oxynitride layers and processes of making them

Номер патента: WO2023163894A1. Автор: Fei Wu,Tae Kyung Won,Yu-Min Wang,Young dong Lee. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2023-08-31.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230257877A1. Автор: Yasushi Takeuchi,Manabu Honma,Junnosuke Taguchi,Ibuki HAYASHI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-17.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09816183B2. Автор: HIROSHI Ashihara,Motoshi Sawada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and recording medium

Номер патента: US20240222109A1. Автор: Naofumi Ohashi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-04.

Process chamber and exhaust liner system therefor

Номер патента: US12110585B2. Автор: Prashant Agarwal,Naman APURVA,Mahesh RAMAKRISHNA,Sriharish SRINIVASAN,Lara A. HAWRYLCHAK. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-08.

Batch-type vertical substrate processing apparatus and substrate holder

Номер патента: US09613838B2. Автор: Mitsuhiro Okada,Kazuhide Hasebe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method

Номер патента: US09530677B2. Автор: Akinori Tanaka,Daisuke Hara,Takatomo Yamaguchi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-12-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20090178762A1. Автор: Hironobu Shimizu,Nobuo Ishimaru. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-07-16.

Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium

Номер патента: US11923188B2. Автор: Takeo Hanashima. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-03-05.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12054828B2. Автор: Kohei Fukushima. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.

Substrate processing device

Номер патента: US11767589B2. Автор: Jaemin Roh. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate processing device

Номер патента: US11767589B2. Автор: Jaemin Roh. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate processing apparatus and notification method

Номер патента: US20190139804A1. Автор: Rintaro TAKAO,Hiromichi Fujii,Yoshihide Kagihara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-05-09.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09970112B2. Автор: Kenichi Suzaki,Yasunobu Koshi,Akihito Yoshino. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-05-15.

Method for manufacturing semiconductor device and substrate processing apparatus

Номер патента: US09856560B2. Автор: Jie Wang,Kenji Kameda,Yuji Urano. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-01-02.

Systems and methods for removing particles from a substrate processing chamber using RF plasma cycling and purging

Номер патента: US09899195B2. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-02-20.

Systems and methods for removing particles from a substrate processing chamber using RF plasma cycling and purging

Номер патента: US09478408B2. Автор: Hu Kang,Adrien Lavoie. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-10-25.

Method and device for producing process gas-vapor mixtures

Номер патента: WO2001020057A1. Автор: Vladimir N. Linev,Anatoly I. Semenikov. Владелец: Semenikov Anatoly I. Дата публикации: 2001-03-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160010210A1. Автор: Hidehiro Yanai. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-01-14.

Substrate processing device

Номер патента: US20240318307A1. Автор: Heeyeon Kim,Seongho Park,Hyunho Choi,Byunghwan Kong,Seongwan KIM,Heesun Song. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US09929008B2. Автор: Yu Sasaki,Kosuke Takahashi,Masahiko Kaminishi,Yu WAMURA,Fumiaki Hayase. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US11952664B2. Автор: Hidenari YOSHIDA,Takeo Hanashima,Hiroaki Hiramatsu. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-04-09.

Reduction of a process volume of a processing chamber using a nested dynamic inert volume

Номер патента: WO2012121941A2. Автор: James F. Lee. Владелец: Novellus Systems Inc.. Дата публикации: 2012-09-13.

Method of controlling gas supply apparatus and substrate processing system

Номер патента: US09758867B2. Автор: Shigeru Nakajima,Hiromi Shima,Yusuke TACHINO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-12.

Semiconductor substrate processing chamber having interchangeable lids actuating plural gas interlock levels

Номер патента: US20020134505A1. Автор: WEN Chen,YU Chang,Gwo-Chuan Tzu. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-09-26.

Method for recycling substrate process components

Номер патента: WO2018182886A1. Автор: Brian T. West. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2018-10-04.

Substrate processing system

Номер патента: US20240191351A1. Автор: Dieter Pierreux. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-06-13.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09748077B2. Автор: Sang Don Lee,Jeung Hoon Han,Seung Hoon Seo,Chul Joo Hwang. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2017-08-29.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: US20240203709A1. Автор: Dong Hwan Choi,Kwang su PARK,Kyung Ran PARK,Won Uk CHAE,Cheol Young Choi. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing system

Номер патента: US20200411341A1. Автор: George Xinsheng Guo. Владелец: Individual. Дата публикации: 2020-12-31.

Substrate processing method

Номер патента: SG177250A1. Автор: Shinya Nakamura,Yoshinori Fujii,Hideto Nagashima. Владелец: Ulvac Inc. Дата публикации: 2012-02-28.

Substrate processing apparatus and heating unit

Номер патента: US09957616B2. Автор: Hitoshi Murata,Yuichi Wada,Shuhei SAIDO,Hidenari YOSHIDA,Takashi Yahata. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-05-01.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09779921B2. Автор: Nobuo Yamaguchi,Susumu Akiyama,Kazuaki Matsuo,Satoshi Uchino,Yoshimitsu Shimane. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2017-10-03.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240093362A1. Автор: Masamichi Hara,Yuichi Furuya. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180277405A1. Автор: HIROSHI Ashihara,Naofumi Ohashi,Kazuyuki Toyoda,Satoshi Shimamoto. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-09-27.

Substrate processing apparatus and method of processing a substrate

Номер патента: US09711370B2. Автор: Hitoshi Kato,Jun Sato,Hiroyuki Kikuchi,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-07-18.

Conditioning method, computer readable storage medium and substrate processing apparatus

Номер патента: US8980366B2. Автор: Takashi Chino,Yojiro AOKI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-03-17.

Gas flow control during semiconductor fabrication

Номер патента: US20220375770A1. Автор: Chih-Kang Chao,Yu-Liang YEH,Bing Kai Huang. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Process gas ramp during semiconductor processing

Номер патента: US20240376598A1. Автор: Gang Liu,Xing Zhang,Anand Chandrashekar,Kaihan Abidi Ashtiani,Jasmine Lin. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-11-14.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS, METHOD OF COATING PARTICLE IN PROCESS GAS NOZZLE AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20180304286A1. Автор: ISHII Katsutoshi. Владелец: . Дата публикации: 2018-10-25.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20140346040A1. Автор: Akihiro Yokota,Shinji Himori,Etsuji Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-11-27.

Thermal process chamber lid with backside pumping

Номер патента: US20230335434A1. Автор: BO Wang,Dien-Yeh Wu,Yixiong Yang,Wei V. Tang,Anqing Cui. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-19.

Apparatus and methods for using high frequency chokes in a substrate deposition apparatus

Номер патента: US20110259362A1. Автор: Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2011-10-27.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device, and plasma generator

Номер патента: US12068136B2. Автор: Tsuyoshi Takeda. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-08-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12094694B2. Автор: Sumi Tanaka,Tamihiro Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20200090911A1. Автор: Yong Hyun Lee,Cheol Woo CHONG,Kwang Su YOO,Teugki PARK. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2020-03-19.

Insulating film forming method and substrate processing system

Номер патента: US20240321571A1. Автор: Nobuo Matsuki,Yoshinori Morisada,Daisuke Oba,Masafumi Ishida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09865454B2. Автор: Hitoshi Kato,Jun Sato,Masato Yonezawa,Hiroyuki Kikuchi,Shigehiro Miura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Electrostatic chuck for use in semiconductor processing

Номер патента: US11817341B2. Автор: Troy Alan Gomm. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-11-14.

Electrostatic chuck for use in semiconductor processing

Номер патента: EP4258332A2. Автор: Troy Alan Gomm. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2023-10-11.

Electrostatic chuck for use in semiconductor processing

Номер патента: EP3631846A1. Автор: Troy Alan Gomm. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2020-04-08.

Electrostatic chuck for use in semiconductor processing

Номер патента: US20240038568A1. Автор: Troy Alan Gomm. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-02-01.

Electrostatic chuck for use in semiconductor processing

Номер патента: EP4258332A3. Автор: Troy Alan Gomm. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-01-03.

Pre-coated shield for use in vhf-rf pvd chambers

Номер патента: SG11201804420UA. Автор: Zhendong Liu,Jianxin Lei,Donny Young,Wenting Hou,William M Lu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-06-28.

Gas supply system, substrate processing apparatus and gas supply method

Номер патента: US20130126093A1. Автор: Kenetsu Mizusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-05-23.

Gas supply system, substrate processing apparatus and gas supply method

Номер патента: US20120247668A1. Автор: Kenetsu Mizusawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2012-10-04.

Substrate processing apparatus and film forming system

Номер патента: US20120137973A1. Автор: Nobuyoshi Sato. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2012-06-07.

Pre-coated shield for use in vhf-rf pvd chambers

Номер патента: EP3380643A1. Автор: Zhendong Liu,Jianxin Lei,Donny Young,Wenting Hou,William M. Lu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-03.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240035168A1. Автор: Hironobu Hyakutake. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-01.

Silicon steel and processing therefore

Номер патента: CA1139643A. Автор: Clarence L. Miller, Jr.. Владелец: Allegheny Ludlum Corp. Дата публикации: 1983-01-18.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US12087598B2. Автор: Takashi Tsukamoto,Akinori Tanaka,Sadayoshi Horii,Daisuke Hara,Masahisa OKUNO,Toru Kakuda,Hideto TATENO,Takuya Joda. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-09-10.

Substrate processing tool with integrated metrology and method of using

Номер патента: US20190295870A1. Автор: Robert Clark,Kandabara Tapily. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-09-26.

Substrate processing apparatus, method of manufacturing semiconductor device and program

Номер патента: US9153430B2. Автор: Jie Wang,Takaaki Noda. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2015-10-06.

Integrated process kit for a substrate processing chamber

Номер патента: US09953812B2. Автор: XIN Wang,Prashant Prabhu,Kirankumar Savandaiah,William Johanson. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-04-24.

Substrate processing module and laser beam providing method

Номер патента: US20240006167A1. Автор: Yunsang Kim,Kwang Ryul Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230057538A1. Автор: Chul-Joo Hwang,Duck Ho Kim,Il Hyong CHO. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-23.

Substrate processing system having improved substrate transport system

Номер патента: US20090060689A1. Автор: G. X. Guo,K. A. Wang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-03-05.

Collimator for use in substrate processing chambers

Номер патента: US09543126B2. Автор: Martin Lee Riker. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-10.

Substrate processing apparatus and method of cleaning the same

Номер патента: US20190055647A1. Автор: Kook Tae Kim,Bongjin Kuh,In-Sun Yi,Soojin HONG,Sukjin CHUNG. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2019-02-21.

Substrate processing tool with integrated metrology and method of using

Номер патента: US11769677B2. Автор: Robert Clark,Kandabara Tapily. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180305816A1. Автор: Akira Takahashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-10-25.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240003011A1. Автор: Kwang Ryul Kim,Yun Sang Kim,Jin Hee Hong. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Substrate processing apparatus and guide portion

Номер патента: US20160298235A1. Автор: Hideki Horita,Naonori Akae,Masato Terasaki. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2016-10-13.

Substrate processing apparatus and method

Номер патента: US20180265974A1. Автор: Shigeyuki Okura,Yuki KEIMOTO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-09-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20140363587A1. Автор: Jeung Hoon Han,Song Whe Huh. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2014-12-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20180033618A1. Автор: Kazuo Yabe,Jun Ogawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-02-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09960073B2. Автор: Jeung Hoon Han,Song Whe Huh. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20170345617A1. Автор: Tsuyoshi Takeda. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-30.

Substrate processing apparatus, control system, and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US20190301020A1. Автор: Hiroki OKAMIYA,Kazuo NAKAYA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2019-10-03.

Rotating shaft sealing device and processing apparatus for semiconductor substrate using the same

Номер патента: US11764102B2. Автор: Hee Jang Rhee. Владелец: Sealink Corp. Дата публикации: 2023-09-19.

Two step process for cleaning a substrate processing chamber

Номер патента: US6068729A. Автор: Ashish V. Shrotriya. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-05-30.

Plasma processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230402256A1. Автор: Takeshi Kobayashi,Jun Sato,Takashi Chiba. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Multi-stage substrate processing system

Номер патента: US12125722B2. Автор: Yukihiro Mori. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-10-22.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240076777A1. Автор: Hitoshi Kato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-07.

Thread profiles for semiconductor process chamber components

Номер патента: US12068137B2. Автор: Timothy Joseph Franklin,Carlaton WONG,Reyn Tetsuro Wakabayashi. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-20.

Substrate processing apparatus, recording medium and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09595460B2. Автор: Tsukasa Iida. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-03-14.

Processing device and processing method

Номер патента: US20050145333A1. Автор: Hiroshi Kannan,Takaaki Matsuoka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2005-07-07.

Multi-chamber substrate processing platform

Номер патента: US11860528B2. Автор: Sanjay Bhat,Ribhu GAUTAM,Vibhu Jindal,Vinodh RAMACHANDRAN,Praveen Kumar Choragudi,Arun Rengaraj. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-01-02.

Method for removing impurities in thin film and substrate processing apparatus

Номер патента: US11972946B2. Автор: Kyu Jin Choi,Gyu Ho Choi,Sang Hyuk HWANG. Владелец: Eugene Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-04-30.

Process gas management system and photoionization detector

Номер патента: US20160362787A1. Автор: Shawn M. Briglin,Michael F. Vollero. Владелец: Inficon Inc. Дата публикации: 2016-12-15.

Coil for improved process chamber deposition and etch uniformity

Номер патента: WO2022192296A1. Автор: Rui Li,Goichi Yoshidome,Andrew Tomko,Xiangjin Xie. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-09-15.

Gas flow monitoring method and gas flow monitoring apparatus

Номер патента: US20170167026A1. Автор: Minoru Ito,Shigeyuki Hayashi,Yasunori Nishimura,Masami Nishikawa,Atsushi Ieki,Akiko Nakada. Владелец: CKD Corp. Дата публикации: 2017-06-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20210395887A1. Автор: Naofumi Ohashi,Yukinori Aburatani,Shun Matsui,Takashi Yahata. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-12-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11891697B2. Автор: Naofumi Ohashi,Yukinori Aburatani,Shun Matsui,Takashi Yahata. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-02-06.

Substrate processing chamber having improved process volume sealing

Номер патента: WO2019060259A1. Автор: Keith A. Miller,Ilya Lavitsky,John Mazzocco. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2019-03-28.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220251709A1. Автор: Takafumi Niwa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-08-11.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US12116666B2. Автор: Takeshi Ito,Tomoshi Taniyama,Daigi KAMIMURA. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-10-15.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12054824B2. Автор: Nobuhiro Takahashi,Kiyotaka Horikawa,Junichiro Matsunaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.

Substrate Processing Method and Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20200299840A1. Автор: Tatsuya Yamaguchi,Syuji Nozawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-09-24.

Gate valve, substrate processing apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20240068090A1. Автор: Yukio Ohizumi,Yoshifumi HOSHINO,Kaito SUZUKI. Владелец: Kitz SCT Corp. Дата публикации: 2024-02-29.

Method for recycling substrate process components

Номер патента: US20180281027A1. Автор: Brian T. West. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-10-04.

Protective gas flow during wafer dechucking in pvd chamber

Номер патента: US20240102153A1. Автор: Fuhong Zhang,Yu-Ru Li. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-03-28.

Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus, and recording medium

Номер патента: US11915938B2. Автор: Arito Ogawa,Atsuro Seino. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-02-27.

Feeding block and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240052488A1. Автор: Choong Hyun LEE,Chong Hwan Jong,Dong Bum Kang. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-15.

Substrate processing system and maintenance method

Номер патента: US20240105478A1. Автор: Takashi Dokan. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Gas spraying apparatus for substrate processing apparatus and substrate processing apparatus

Номер патента: US20190157038A1. Автор: Sung Bae KIM,Cheong SON. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-23.

System and process with assisted gas flow inside a reaction chamber

Номер патента: WO2020264464A8. Автор: Lu Yang,Yan Wang,Liang Yuh Chen. Владелец: eJoule, Inc.. Дата публикации: 2022-02-03.

System and process with assisted gas flow inside a reaction chamber

Номер патента: US20240075451A1. Автор: Lu Yang,Yan Wang,Liang-Yuh Chen. Владелец: eJoule Inc. Дата публикации: 2024-03-07.

Apparatus for using Exhaust Steam in the Manufacture of Water-gas.

Номер патента: GB191423052A. Автор: Herbert Edmund Smith. Владелец: Individual. Дата публикации: 1915-11-04.

Pre-heat ring and substrate processing device

Номер патента: US20240102199A1. Автор: LIU Ziqiang. Владелец: Jiangsu Alpha Semiconductor Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2024-03-28.

Pre-heat rings and processing chambers including black quartz, and related methods

Номер патента: WO2024158417A1. Автор: Ashur J. Atanos,Zhepeng Cong,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-08-02.

Pre-heat rings and processing chambers including black quartz, and related methods

Номер патента: US20240247404A1. Автор: Ashur J. Atanos,Zhepeng Cong,NIMROD SMITH. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180164702A1. Автор: Naofumi Ohashi. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-06-14.

Continuous plasma and rf bias to regulate damage in a substrate processing system

Номер патента: WO2013151971A1. Автор: Huatan Qiu,Liqi Wu,Yung Yi Lee. Владелец: NOVELLUS SYSTEMS, INC.. Дата публикации: 2013-10-10.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220384151A1. Автор: Shinya Ishikawa,Sho Kumakura,Yuta NAKANE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-12-01.

Valve module and substrate processing device comprising the same

Номер патента: US12092235B2. Автор: Jae Min Lee,Sang Min Kim. Владелец: Presys Co Ltd. Дата публикации: 2024-09-17.

Process chamber component and method of forming a surface texture

Номер патента: EP3648913A1. Автор: Olivier MARCHAND. Владелец: Cleanpart Group GmbH. Дата публикации: 2020-05-13.

Process chamber component and method of forming a surface texture

Номер патента: US20200176225A1. Автор: Olivier MARCHAND. Владелец: Cleanpart Group GmbH. Дата публикации: 2020-06-04.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240290609A1. Автор: Tadahiro Ishizaka,Takashi Sakuma,Yoshiyuki Hanada,Kunihiro Tada. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-29.

Method of conditioning vacuum chamber of semiconductor substrate processing apparatus

Номер патента: US09548188B2. Автор: Dennis Michael Hausmann. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-01-17.

Discharging method and substrate processing apparatus

Номер патента: US11462431B2. Автор: Masanori Sato,Yoshinori Osaki,Tetsu TSUNAMOTO,Toshiyuki ARAKANE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-04.

Substrate processing method and control apparatus

Номер патента: US09798317B2. Автор: Katsuhiko Komori,Yuichi Takenaga. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Method for using the waste heat from a plant for producing cement and plant for producing cement

Номер патента: US09725362B2. Автор: Heiko Schuermann. Владелец: KHD Humboldt Wedag AG. Дата публикации: 2017-08-08.

Compositions of matter and uses thereof in the treatment of waste materials

Номер патента: US09452458B2. Автор: Isam Sabbah,Nedal Massalha,Ahlam Saliba. Владелец: AgROBICS Ltd. Дата публикации: 2016-09-27.

Cell line for use in producing recombinant adenoviruses

Номер патента: US20230313228A1. Автор: Ryan Cawood. Владелец: Oxford Genetics Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Improvements in the distillation of glycerin

Номер патента: GB486415A. Автор: . Владелец: Colgate Palmolive Co. Дата публикации: 1938-06-01.

System and process for the treatment of raw material

Номер патента: WO2009064204A2. Автор: Christopher Francis Bathurst. Владелец: Solray Energy Limited. Дата публикации: 2009-05-22.

Certain steroids and methods for using the same in the treatment of cancer

Номер патента: US09676813B2. Автор: Xiangping Qian. Владелец: Neupharma Inc. Дата публикации: 2017-06-13.

System and process with assisted gas flow inside a reaction chamber

Номер патента: US20210402365A1. Автор: Lu Yang,Yan Wang,Liang-Yuh Chen. Владелец: Ejoule International Ltd. Дата публикации: 2021-12-30.

Compositions and processes for the extraction of metals using non-aqueous solvents

Номер патента: CA3232691A1. Автор: Robert Harris,Gawen JENKIN. Владелец: Argo Natural Resources Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Compositions and processes for the extraction of metals using non-aqueous solvents

Номер патента: EP4409046A1. Автор: Robert Harris,Gawen JENKIN. Владелец: Argo Natural Resources Ltd. Дата публикации: 2024-08-07.

Use of il-17 in the treatment of fertility-related disorders

Номер патента: EP1765083A2. Автор: David Kagan,Stephen S. Palmer,Ann M. Clark. Владелец: Applied Research Systems ARS Holding NV. Дата публикации: 2007-03-28.

Ammonia recovery in the preparation of silazanes and polysilazanes

Номер патента: CA2502518C. Автор: Gary J. Knasiak. Владелец: CLARIANT INTERNATIONAL LTD. Дата публикации: 2008-08-12.

Process for producing a glucuronide and genetically modified microorganisms useful in this process

Номер патента: US12018307B2. Автор: Jixun Zhan. Владелец: Utah State University USU. Дата публикации: 2024-06-25.

Vascular endothelial cell growth factor antagonists for use as medicaments in the treatment of age-related macular degeneration

Номер патента: IL117645A. Автор: . Владелец: Genentech Inc. Дата публикации: 2005-08-31.

Process for dispersing oil stains on water and a dispersant for use in carrying out the process.

Номер патента: DK139811B. Автор: Gerard P Canevari. Владелец: Exxon Research Engineering Co. Дата публикации: 1979-04-23.

NITROGEN COMPOUNDS FOR USE AS CATALYSTS IN THE SYNTHESIS OF POLYURETHANNES

Номер патента: FR2332975A1. Автор: . Владелец: Bayer AG. Дата публикации: 1977-06-24.

NITROGEN URETHAN COMPOUNDS FOR USE AS CATALYSTS IN THE SYNTHESIS OF POLYURETHANNES

Номер патента: FR2332978A1. Автор: . Владелец: Bayer AG. Дата публикации: 1977-06-24.

Process for using protective layers in the fabrication of electronic devices

Номер патента: AU2003287660A8. Автор: Young H Kim. Владелец: EI Du Pont de Nemours and Co. Дата публикации: 2004-06-15.

Composition and process for making a plastic resin

Номер патента: CA1237243A. Автор: Robert A. Smith,Dennis B. Patterson. Владелец: Goodyear Tire and Rubber Co. Дата публикации: 1988-05-24.

Process for homogenizing a stream of molten glass and a furnace for use in carrying out the process.

Номер патента: DK107892C. Автор: . Владелец: Glaverbel. Дата публикации: 1967-07-17.

Ethers for use as intermediates in the preparation of 16-phenoxy and 16-substituted phenoxy-prostatrienoic acid derivatives

Номер патента: NZ213749A. Автор: G F Cooper. Владелец: Syntex Inc. Дата публикации: 1989-01-06.

Process for using protective layers in the fabrication of electronic devices

Номер патента: WO2004047166A2. Автор: Young H. Kim. Владелец: E.I. Du Pont De Nemours and Company. Дата публикации: 2004-06-03.

Compositions and processes for the extraction of metals using non-aqueous solvents

Номер патента: AU2022351262A1. Автор: Robert Harris,Gawen JENKIN. Владелец: Argo Natural Resources Ltd. Дата публикации: 2024-03-14.

PROCESS FOR OBTAINING LIQUID GEOPOLYMER RESINS READY FOR USE AND PRODUCTS MADE BY THE PROCESS

Номер патента: FR2838733B1. Автор: Joseph Davidovits. Владелец: Cordi-Geopolymere SA. Дата публикации: 2004-06-25.

Passive gas flow management and filtration device for use in an excimer or transverse discharge laser

Номер патента: EP1649567A4. Автор: Brian Bliven,David Turnquist. Владелец: Visx Inc. Дата публикации: 2007-10-10.

Passive gas flow management and filtration device for use in an excimer or transverse discharge laser

Номер патента: WO2005018059A2. Автор: Brian Bliven,David Turnquist. Владелец: Visx, Incorporated. Дата публикации: 2005-02-24.

Passive gas flow management and filtration device for use in an excimer or transverse discharge laser

Номер патента: EP1649567A2. Автор: Brian Bliven,David Turnquist. Владелец: Visx Inc. Дата публикации: 2006-04-26.

Slide rule for use inter alia in the interpretation of gas- chromatograms

Номер патента: GB1402412A. Автор: . Владелец: Magyar Asvanyolaj es Foldgaz Kiserleti Intezet. Дата публикации: 1975-08-06.

Gas supply unit, substrate processing apparatus and supply gas setting method

Номер патента: US09441791B2. Автор: Kenetsu Mizusawa,Keiki Ito,Masahide Itoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-13.

Substrate processing apparatus and plasma processing apparatus

Номер патента: US20220068658A1. Автор: Yasutaka HAMA,Shu Kino,Motoki NORO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-03-03.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20200144052A1. Автор: Gentaro Goshi,Keisuke Egashira. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-07.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US09607867B2. Автор: Yuji Kajihara. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2017-03-28.

Fuel and process for powering a compression ignition engine

Номер патента: US09447724B2. Автор: Greg Morris,Michael John Brear,Ronald Andrew Slocombe. Владелец: Gane Energy and Resources Pty Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Substrate processing apparatus, processing gas concentrating apparatus, and substrate processing method

Номер патента: US20220372623A1. Автор: Muneo Harada,Tsuneyuki Okabe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-11-24.

Discharge method, discharge system and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20230052781A1. Автор: Daesoo Kim,Jimin CHOI. Владелец: Samsung Display Co Ltd. Дата публикации: 2023-02-16.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220285166A1. Автор: Takumi Honda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-09-08.

Heating plate with heating zones for substrate processing and method of use thereof

Номер патента: US09646861B2. Автор: Harmeet Singh,Neil Benjamin,Keith Comendant,Keith Gaff. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-05-09.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing semiconductor device

Номер патента: US09818600B2. Автор: Takayuki Sato. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240014011A1. Автор: Hyun Kim,Kang Hee KIM,Yong Taek Eom. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-11.

Substrate processing apparatus and maintenance method thereof

Номер патента: US09613837B2. Автор: Ken Horiuchi,Koji Ando,Shigeru Senzaki,Michishige Saito,Shingo Koiwa,Daiki Satoh. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-04-04.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240234183A1. Автор: Naofumi Ohashi,Teruo Yoshino,Tadashi Takasaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240234093A1. Автор: Sejin Oh,Dougyong Sung. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-07-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240249956A1. Автор: Yohei Midorikawa,Ryo Kuwajima,Yohei NAKAGOMI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Substrate transport method and substrate processing system

Номер патента: US20230230862A1. Автор: Kiyoshi Suzuki,Koichi Miyashita,Hiroshi Hirose,Ryota Goto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-07-20.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11967513B2. Автор: Naofumi Ohashi,Teruo Yoshino,Tadashi Takasaki. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2024-04-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230253221A1. Автор: Kaoru Sato,Hiromi Nitadori,Kiyohiko Gokon,Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230253230A1. Автор: Kaoru Sato,Hiromi Nitadori,Kiyohiko Gokon,Masato Kadobe. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Workpiece processing system and processing method

Номер патента: US20160266575A1. Автор: Seiichi Asahara. Владелец: Toyota Motor Corp. Дата публикации: 2016-09-15.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220310361A1. Автор: Tsukasa Hirayama,Taku GOHIRA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-09-29.

Methods for low temperature conditioning of process chambers

Номер патента: US20110306186A1. Автор: David K. Carlson,Zhiyuan Ye,Errol Antonio C. Sanchez,Yi-Chiau Huang. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2011-12-15.

Compostions for use in the prophylactic treatment of hypocalcemia in a ruminant animal

Номер патента: WO2024125758A1. Автор: Per THEILGAARD. Владелец: Vilofoss A/S. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US11915947B2. Автор: Koji Yamashita,Takumi Honda,Hironobu Hyakutake,Shinji Tahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-27.

Magnetic annealing tool heat exchange system and processes

Номер патента: US20070125767A1. Автор: John Billingham,Richard Jibb. Владелец: Praxair Technology Inc. Дата публикации: 2007-06-07.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240173738A1. Автор: Junhee Choi,Yong Jun Kim,Tae-keun KIM,Kyeong Min Lee,Kang Sul KIM. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Gas flow and heat transfer apparatus

Номер патента: WO2021148792A1. Автор: Giacomo GORINI. Владелец: OXFORD UNIVERSITY INNOVATION LIMITED. Дата публикации: 2021-07-29.

Gas flow and heat transfer apparatus

Номер патента: EP4093547A1. Автор: Giacomo GORINI. Владелец: Oxford University Innovation Ltd. Дата публикации: 2022-11-30.

A thermal processing chamber and conveyor belt for use therein and method of processing product

Номер патента: CA2533223C. Автор: David K.Y. Auyoung. Владелец: AEROFREEZE SYSTEMS Inc. Дата публикации: 2009-07-07.

Baffle Plate Used In A Disposable For A Spray Drying System

Номер патента: US20240159462A1. Автор: Clair Strohl,Herman E. Snyder,Robert R. Andrews,William J. Merritt,Evan P. Ordway. Владелец: ZymeQuest Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Solution processible materials and their use in electronic devices

Номер патента: WO2007136619A2. Автор: Frank P. Uckert,Charles D. MacPherson. Владелец: Uckert Frank P. Дата публикации: 2007-11-29.

Thermal gas-flow measuring instrument

Номер патента: US20070220968A1. Автор: Noboru Tokuyasu,Jun Kubo,Katsuaki Fukatsu,Kaori Kashio,Hiroshi Onuki,Daisuke Terada,Toshiki Otsuki. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 2007-09-27.

Device for measuring a gas flow, and method for using the device

Номер патента: CA2104577C. Автор: Lennart Gustavsson,Anders Johansson. Владелец: ABB Flaekt AB. Дата публикации: 2001-10-23.

Throttle valve for substrate processing systems

Номер патента: WO2023229936A1. Автор: Andrew BORTH. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2023-11-30.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240128101A1. Автор: Shinichi Umeno,Atsushi Anamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Object graph traversal and processing

Номер патента: US20200050438A1. Автор: Grigoriy KESLER. Владелец: Intuit Inc. Дата публикации: 2020-02-13.

Object graph traversal and processing background

Номер патента: WO2018140591A1. Автор: Grigoriy KESLER. Владелец: INTUIT INC.. Дата публикации: 2018-08-02.

Methods for Semiconductor Process Chamber

Номер патента: US20240266149A1. Автор: Qi Wang,Akiteru Ko,Sergey Voronin,Hamed Hajibabaeinajafabadi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-08.

Methods for semiconductor process chamber

Номер патента: WO2024163137A1. Автор: Qi Wang,Akiteru Ko,Sergey Voronin,Hamed Hajibabaeinajafabadi. Владелец: Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.. Дата публикации: 2024-08-08.

A calculating device for use in photographic printing operations

Номер патента: GB538696A. Автор: . Владелец: Sangamo Weston Ltd. Дата публикации: 1941-08-13.

Substrate processing apparatus and method for determining deterioration degree of conductive pipe

Номер патента: US11938500B2. Автор: Tadashi Iino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-26.

Gas flow control assembly for a gas-saving oxy/fuel cutting torch

Номер патента: US5383650A. Автор: Claude Bissonnette. Владелец: Individual. Дата публикации: 1995-01-24.

Seam sealing apparatus and process therefor

Номер патента: WO2003008181A3. Автор: Jay Thomas Fenton. Владелец: Gore Enterprise Holdings Inc. Дата публикации: 2003-09-18.

Seam sealing apparatus and process therefor

Номер патента: WO2003008181A2. Автор: Jay Thomas Fenton. Владелец: GORE ENTERPRISE HOLDINGS, INC.. Дата публикации: 2003-01-30.

Signal generating process for use in engine control

Номер патента: US3818877A. Автор: C Barrera,F Zeisler. Владелец: Ford Motor Co. Дата публикации: 1974-06-25.

Ore flotation and mineral flotation agents for use therein

Номер патента: CA1310145C. Автор: Gary D. Macdonell,Kenneth B. Kimble,Harold Wayne Mark. Владелец: Phillips Petroleum Co. Дата публикации: 1992-11-10.

Method for blocking gas flow in a coal seam

Номер патента: US4065927A. Автор: II J. Gilbert Davis. Владелец: Continental Oil Co. Дата публикации: 1978-01-03.

Seam sealing apparatus and process therefor

Номер патента: WO2003008181A8. Автор: Jay Thomas Fenton. Владелец: Gore Enterprise Holdings Inc. Дата публикации: 2003-04-10.

Method and mechanism for contact-free process chamber characterization

Номер патента: EP4367714A1. Автор: Chunlei Zhang,Vivek B. Shah. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-05-15.

Method and apparatus for centrifugal separation of particles from a gas flow

Номер патента: CA3183978A1. Автор: Claes Inge,Peter Franzen,Carl Petrus Häggmark. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-02-24.

Method and apparatus for centrifugal separation of particles from a gas flow

Номер патента: EP4200051A1. Автор: Claes Inge,Peter Franzen,Carl Petrus Häggmark. Владелец: Grimaldi Development Ab. Дата публикации: 2023-06-28.

Method and apparatus for centrifugal separation of particles from a gas flow

Номер патента: WO2022039644A1. Автор: Claes Inge,Peter Franzen,Carl Petrus Häggmark. Владелец: 3nine AB. Дата публикации: 2022-02-24.

Process gas compressor/gas turbine section

Номер патента: US09915161B2. Автор: Henk Blekkenhorst. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2018-03-13.

Accessory device for a dental articulator and method for use in fabricating dental prosthetics

Номер патента: US5795152A. Автор: Marc J. Glatt. Владелец: Individual. Дата публикации: 1998-08-18.

Apparatus for separating particles of cohesive material according to size and process

Номер патента: US6036126A. Автор: Michael L. Cappola. Владелец: Boehringer Ingelheim Pharmaceuticals Inc. Дата публикации: 2000-03-14.

Apparatus for delivering process gas for making semiconductors and method of using same

Номер патента: US5762086A. Автор: Louis A. Ollivier. Владелец: Veriflo Corp. Дата публикации: 1998-06-09.

Soil pitting and damming implement and process

Номер патента: CA1227683A. Автор: Thayne B. Wiser. Владелец: Individual. Дата публикации: 1987-10-06.

Developer container, developing apparatus and process cartridge

Номер патента: US20110076062A1. Автор: Tatsuya Suzuki,Hideki Kakuta. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-03-31.

Method and apparatus for humidification and temperature control of incoming fuel cell process gas

Номер патента: CA2315135C. Автор: Joe Cargnelli,Ravi Gopal. Владелец: Hydrogenics Corp. Дата публикации: 2008-11-04.

Audio cables with musically relevant mechanical resonances and process for making same

Номер патента: US20040003937A1. Автор: Claude Vans Evers. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-01-08.

Apparatus and process for cooling gas flow in a pressurized pipeline

Номер патента: US6141973A. Автор: Ward A. Whitmore. Владелец: Yukon Pacific Corp. Дата публикации: 2000-11-07.

Nanostructured titanium alloys for use as biomaterials in the manufacture of medical devices

Номер патента: EP1967218A3. Автор: Marina Ziche,Alessandro Facchini. Владелец: Lima LTO SpA. Дата публикации: 2008-12-03.

Process for creating an image on film used in screen printing

Номер патента: US5464729A. Автор: Christian M. Hoebener,William H. Hoebener. Владелец: Individual. Дата публикации: 1995-11-07.

Supporting apparatus for use in smokehouses and the like

Номер патента: US3594858A. Автор: Knud Simonsen. Владелец: Individual. Дата публикации: 1971-07-27.

Electrical contact pin carrying a charge of solder and process for producing it

Номер патента: US20060014443A1. Автор: Christophe Roshardt. Владелец: SM Contact. Дата публикации: 2006-01-19.

In-the-ear hearing aid with directional microphone system

Номер патента: US5757933A. Автор: Mark A. Bren,Timothy S. Peterson,David A. Preves. Владелец: Micro Ear Technology Inc. Дата публикации: 1998-05-26.

Universal arrangement for the exchange of data between the memories and the processing devices of a computer

Номер патента: US4330824A. Автор: Paul M. Girard. Владелец: Bull SA. Дата публикации: 1982-05-18.

In-the-ear hearing aid with directional microphone system

Номер патента: CA2223676C. Автор: Mark A. Bren,Timothy S. Peterson,David A. Preves. Владелец: Micro Ear Technology. Дата публикации: 2004-11-23.

METHODS FOR USING KUKHAREV REGIONS IN THE ATMOSPHERE, IN SPACE, AND AT THE LEVEL OF THE EARTH'S SURFACE TO OBTAIN ANTIMATTER

Номер патента: US20220139589A1. Автор: KUKHAREV Vadim. Владелец: . Дата публикации: 2022-05-05.

ILLUMINATION DEVICE AND METHOD FOR USING THE SAME IN THE PROJECTION LITHOGRAPHY MACHINE

Номер патента: US20160109806A1. Автор: Wang Ying,Chen Mingxing,ZENG Aijun,HUANG Huijie,ZHANG Yunbo. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-21.

Hydraulic device for using the difference in the levels of a liquid

Номер патента: FR68546E. Автор: . Владелец: Societe des Forges et Ateliers du Creusot. Дата публикации: 1958-05-02.

Hydraulic device for using the difference in the levels of a liquid

Номер патента: FR1125529A. Автор: . Владелец: Societe des Forges et Ateliers du Creusot. Дата публикации: 1956-10-31.

Hydraulic device for using the difference in the levels of a liquid

Номер патента: FR68848E. Автор: . Владелец: Societe des Forges et Ateliers du Creusot. Дата публикации: 1958-06-10.

System and process for applying an adhesive to a moving web

Номер патента: US11878322B2. Автор: Joseph J. SINA,Kyle M. BARRIGER,Daniel J. Grassl,Walter HAGY,James NIEDT. Владелец: Kimberly Clark Worldwide Inc. Дата публикации: 2024-01-23.

System and method for using an analogy in the management of personal finances

Номер патента: US20120246045A1. Автор: David Hirsch. Владелец: Fantasy Finance Ventures LLC. Дата публикации: 2012-09-27.

REINFORCEMENT FOR USEFUL PROFILES, ESPECIALLY IN THE AUTOMOTIVE INDUSTRY.

Номер патента: FR2661972A1. Автор: Frappier Alain. Владелец: HUTCHINSON SA. Дата публикации: 1991-11-15.

TEMPORARY IMPLANT FOR USE AS ANCHOR IN THE MOUTH

Номер патента: FR2735013A1. Автор: Chaman Lal Sachdeva Rohit,Farzin Nia Farrokh. Владелец: Ormco Corp. Дата публикации: 1996-12-13.

Inflatable thermal blanket with surgical access for use with patients in the lithotomy position

Номер патента: US6176870B1. Автор: Scott D. Augustine. Владелец: Augustine Medical Inc. Дата публикации: 2001-01-23.

Process for joining ralls with aluminothermic welds and a casting mould for use in carrying out the process

Номер патента: GB2022489B. Автор: . Владелец: Elektro Thermit GmbH. Дата публикации: 1982-03-17.

A method and apparatus for using an enzyme in the manufacture and bleaching of pulp

Номер патента: FI108800B. Автор: Brian Foody,Jeffrey Tolan. Владелец: Iogen Corp. Дата публикации: 2002-03-28.

Methods for making injection molded plastic products and plastic materials for use in carrying out the process

Номер патента: SE519104C2. Автор: Peter Aakesson. Владелец: Polykemi Ab. Дата публикации: 2003-01-14.

TEMPORARY IMPLANT FOR USE AS ANCHOR IN THE MOUTH

Номер патента: FR2735013B1. Автор: Chaman Lal Sachdeva Rohit,Farzin Nia Farrokh. Владелец: Ormco Corp. Дата публикации: 2000-04-21.

METHOD AND DEVICE FOR USING AUXILIARY DATA IN THE CONTEXT OF A SATELLITE POSITIONING DETERMINATION SYSTEM

Номер патента: DE60142334D1. Автор: Leonid Sheynblat. Владелец: Qualcomm Inc. Дата публикации: 2010-07-22.

Method And Apparatus For Using RFID's In The Investigation Of Motor Vehicle Accidents

Номер патента: US20060006982A1. Автор: Rodney Gunsauley. Владелец: Gunsauley Rodney M. Дата публикации: 2006-01-12.

Machine and Process for Identifying Component Effect on Performance of a Vehicle

Номер патента: US20230351819A1. Автор: Jeffrey J. Robles,Thomas S. Lowery. Владелец: Boeing Co. Дата публикации: 2023-11-02.

Executing diagnostic software to test the functionality of a component for use during a video conference

Номер патента: US12007882B2. Автор: Reed Hunter Allen. Владелец: Zoom Video Communications Inc. Дата публикации: 2024-06-11.

Processing chamber cleaning method, cleaning attachment and substrate processing system

Номер патента: US20240157410A1. Автор: Noritake SUMI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-16.

Substrate processing apparatus and process control method thereof

Номер патента: US20230163003A1. Автор: Young Hwan YANG. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-25.

Substrate processing apparatus, simulation apparatus, storage medium and simulation method

Номер патента: US09558304B2. Автор: Satoko Yamamoto,Kimitoshi MIURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-31.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20120160805A1. Автор: Mitsuo Suzuki,Kiyoshi Ehara. Владелец: Canon Anelva Corp. Дата публикации: 2012-06-28.

Process chamber gas flow improvements

Номер патента: US09779917B2. Автор: Brian T. West,Ronald Vern Schauer,Stanley Detmar. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160121373A1. Автор: Daisuke Aoki,Junya Minamida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180019145A1. Автор: Eiichi Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-18.

Upper electrode unit and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240297023A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Seong Min Nam. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-09-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09799542B2. Автор: Eiichi Sugawara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-10-24.

Processing gas diffusing and supplying unit and substrate processing apparatus

Номер патента: US09484213B2. Автор: Toshifumi Ishida. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-01.

Etching method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210005519A1. Автор: Gaku SHIMODA,Masayuki Sawataishi,Takanori Eto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-01-07.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20150303077A1. Автор: Masatoshi Kaneda,Ryo Shimada,Kazuki NAGAMOTO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2015-10-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US10998210B2. Автор: Kazuhito Saito,Tsukasa Yashima. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2021-05-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09490151B2. Автор: Hiroyuki Takahashi,Satoshi TODA,Yuji Asakawa,Yohei Midorikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-08.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20130340796A1. Автор: Itaru Kanno,Norihiro Ito,Yosuke Hachiya,Kotaro Ooishi,Hisashi Kawano,Jun Nogami. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09589819B1. Автор: Satoshi Takano. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-03-07.

Gas flow control to improve thickness uniformity

Номер патента: WO2024155794A1. Автор: Robin L. Tiner,Gaku Furuta,Allen K. Lau,Ranjit Indrajit Shinde. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2024-07-25.

Cooled pin lifter paddle for semiconductor substrate processing apparatus

Номер патента: US09859145B2. Автор: Andreas Fischer,Dean Larson. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-01-02.

Substrate processing apparatus and substrate support

Номер патента: US20240258083A1. Автор: Makoto Kato,Ryoma Muto,Kaisei SUGA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20180197748A1. Автор: Kazuaki Nishimura,Koji Takeya,Jun Lin. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-07-12.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20110065288A1. Автор: Toru Harada,Masayoshi Minami. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-03-17.

Substrate processing method and substrate processing device

Номер патента: EP4231785A1. Автор: Kiyoshi Maeda,Yasuhiko Saito,Atsutoshi Inokuchi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-23.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240203702A1. Автор: Seungpil Chung,Sungik Park,Yongsu Jang,Jungyoon Yang,Inseong Lim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Gas flow control in a substrate processing system

Номер патента: US6016611A. Автор: John M. White,Wendell T. Blonigan,Michael W. Richter. Владелец: Applied Komatsu Technology Inc. Дата публикации: 2000-01-25.

Method of improving line roughness in substrate processing

Номер патента: US09508557B2. Автор: Hoyoung Kang. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-11-29.

Substrate processing system, gas supply unit, method of substrate processing, computer program, and storage medium

Номер патента: US09466506B2. Автор: Noriiki Masuda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09330950B2. Автор: Shinji Wakabayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-03.

Substrate processing method

Номер патента: US10748779B2. Автор: Hiroaki Mochizuki,Shinobu Kinoshita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-08-18.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US12033864B2. Автор: Hiromi Miyashita,Rei Shoji. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-09.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230084826A1. Автор: Jung Hwan Lee,Young Jun Kim,Sung Ho ROH,Cheong Hwan Jeong,Tae Dong Kim. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-16.

Substrate processing method and plasma processing apparatus

Номер патента: EP4428898A2. Автор: Maju TOMURA,Ryutaro Suda. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-11.

Substrate processing method

Номер патента: US11875998B2. Автор: Sang Jun Park,Byung Chul Cho,Jin Sung Chun,Kwang Seon JIN,Jun Hyuck KWON. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-16.

Substrate processing apparatus, simulation apparatus, storage medium and simulation method

Номер патента: US20140236556A1. Автор: Satoko Yamamoto,Kimitoshi MIURA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-08-21.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11978654B2. Автор: Yoon Jong JU,Min Sung HAN,Wan Jae Park,Jaehoo Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-07.

Substrate processing method

Номер патента: US20210193472A1. Автор: Sang Jun Park,Byung Chul Cho,Jin Sung Chun,Kwang Seon JIN,Jun Hyuck KWON. Владелец: Wonik Ips Co Ltd. Дата публикации: 2021-06-24.

Method for cleaning chamber or component, substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: EP4383314A1. Автор: Sho Kumakura,Yuta NAKANE. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-06-12.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US10867817B2. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-12-15.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20180218929A1. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-08-02.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US20200168487A1. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-05-28.

Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium

Номер патента: US10615062B2. Автор: Yuichi Yoshida,Yuzo Ohishi,Takaya Kikai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-04-07.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20150243536A1. Автор: Yoshifumi Okada. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-27.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US10186418B2. Автор: Yoshifumi Okada. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2019-01-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20190103291A1. Автор: Tooru Nakamura,Kouji Kimoto,Hiroaki Inadomi,Yoshihisa Aoyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-04-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing system

Номер патента: US20240253093A1. Автор: Koji Ando,Noritake SUMI,Tomohiro Motono. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240274450A1. Автор: Masanobu Sato,Hiroshi Horiguchi,Saki Miyagawa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Method of cleaning substrate processing apparatus

Номер патента: US09925571B2. Автор: Akihiro Kikuchi,Mitsuhiro Tomura. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Electromagnetic dipole for plasma density tuning in a substrate processing chamber

Номер патента: US09779953B2. Автор: Joseph F. Aubuchon,Tza-Jing Gung,Samer Banna. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-10-03.

Substrate processing apparatus and substrate conveying apparatus for use in the same

Номер патента: US09624046B2. Автор: Ichiro Mitsuyoshi,Ryo Muramoto. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-18.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09566598B2. Автор: Yukihiko Inagaki. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-14.

Plasma shutter and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: US20240096606A1. Автор: Hyungsik KO. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-03-21.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20200083064A1. Автор: Nobuhiko MOURI,Kento Kurusu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-03-12.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US11482428B2. Автор: Nobuhiko MOURI,Kento Kurusu. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-10-25.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20090192652A1. Автор: Tomoyuki Yamada. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2009-07-30.

Upper electrode unit and substrate processing apparatus comprising same

Номер патента: EP4428897A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Seong Min Nam. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-09-11.

Substrate processing device and substrate processing method for carrying out chemical treatment for substrate

Номер патента: US09786527B2. Автор: Nobuyuki Shibayama. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-10-10.

Substrate processing method

Номер патента: US09558962B2. Автор: Kandabara N. Tapily,Fumitaka Amano. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-31.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09455125B2. Автор: Makoto Kobayashi,Jun Tamura,Tetsuji Sato,Akihiro Yoshimura,Hiroshi Tsujimoto,Nobuhiro Wada,Masato Horiguchi,Mamoru NAOI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-27.

Etching method and substrate processing apparatus

Номер патента: US11810792B2. Автор: Masatsugu Makabe,Takanori Eto,Sho SAITOH. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-11-07.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: EP4415033A1. Автор: Kazuki Nakamura,Yoshifumi Okada,Nobuaki Okita. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-14.

Substrate processing apparatus and substrate processing method using the same

Номер патента: US20240282557A1. Автор: Jinuk Park,Euijin Park,Dongyup Choo. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-08-22.

L-motion slit door for substrate processing chamber

Номер патента: US12125688B2. Автор: Hamid Noorbakhsh,James Hugh Rogers. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-10-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09698037B2. Автор: Yuichi Matsuda,Tomoyuki Yamada,Takashi Nogami,Shinobu Sugiura,Seiyo Nakashima. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-07-04.

Method of processing substrate and substrate processing apparatus

Номер патента: US09530657B2. Автор: Masahiro Ogasawara,Rui Takahashi,Masafumi Urakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240194497A1. Автор: Takao Matsumoto,Hajime NISHIDE,Kwichang KANG. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-13.

Method of reclaiming and storing a valuable process gas

Номер патента: WO2009117693A3. Автор: Allen J. Bartlett,Doreen J. Ball- Difazio. Владелец: Brooks Automation, Inc.. Дата публикации: 2010-01-07.

Substrate processing device and processing method

Номер патента: US20040040655A1. Автор: Mitsuhiro Yuasa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-03-04.

Apparatus for uniform pumping within a substrate process chamber

Номер патента: US09464732B2. Автор: Jared Ahmad Lee,Martin Jeffrey Salinas,Imad Yousif,Paul Benjamin Reuter. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-11.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240006166A1. Автор: Minyoung Kim,Hanglim Lee. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20220157567A1. Автор: Takashi Aramaki,Hiroshi Tsujimoto,Lifu Li,Junya Kuramoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-05-19.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230317418A1. Автор: Jungmin Ko,Dougyong Sung,Byeongsang KIM,Sangki NAM,Yunhwan Kim,Kuihyun YOON,Namkyun Kim,Suyoung YOO. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-10-05.

Method of reclaiming and storing a valuable process gas

Номер патента: WO2009117693A8. Автор: Allen J. Bartlett,Doreen J. Ball- Difazio. Владелец: Brooks Automation, Inc.. Дата публикации: 2009-11-19.

Chiller make-break connector for substrate processing systems

Номер патента: US12074039B2. Автор: Alexander Charles Marcacci. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2024-08-27.

Substrate processing using a member comprising an oxide of a group IIIB metal

Номер патента: US20020100554A1. Автор: Jie Yuan,Hong Shih,Diana Ma,Nianci Han,Danny Lu. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2002-08-01.

Substrate processing method

Номер патента: US20070004057A1. Автор: Toshio Kaneko,Toru Nishiwaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-01-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240329547A1. Автор: Shinichi Machidori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-03.

Gas flow controller for use in gas fired apparatus

Номер патента: US09618205B2. Автор: Mark H. Stark,Donald L. Blessing. Владелец: EMERSON ELECTRIC CO. Дата публикации: 2017-04-11.

Method of processing substrate and method of manufacturing substrate for use in liquid ejection head

Номер патента: US20110070667A1. Автор: Hiroyuki Morimoto,Masahiko Kubota. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2011-03-24.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240304452A1. Автор: Hiroshi Marumoto,Tsunemoto OGATA,Suguen Lee. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-12.

Method of processing substrate and method of manufacturing substrate for use in liquid ejection head

Номер патента: US8211719B2. Автор: Hiroyuki Morimoto,Masahiko Kubota. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-07-03.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09449807B2. Автор: Toshimitsu Namba. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Substrate processing system with load-lock chamber

Номер патента: US6805748B1. Автор: Ryo Edo. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2004-10-19.

Substrate processing apparatus, substrate processing method and storage medium

Номер патента: US9337070B2. Автор: Hideaki Sato. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-05-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US12057326B2. Автор: Hiroaki Inadomi,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-06.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20230207339A1. Автор: Kohei Sato,Hiroki Takahashi. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2023-06-29.

Method and devices for qualifying substrate-processing production processes

Номер патента: AU2002351691A1. Автор: Bernd Muller,Ulrich Wittreich,Hartmut Meier. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 2003-06-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240339339A1. Автор: Hiroaki Inadomi,Shota Umezaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US6053980A. Автор: Makoto Ozawa,Atsuhiko Suda,Kazuyuki Toyoda,Issei Makiguchi. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2000-04-25.

Substrate processing system and substrate transfer method

Номер патента: US20230282503A1. Автор: Takehiro Shindo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-07.

Substrate processing method

Номер патента: US20110237083A1. Автор: Akira Nakagawa,Yoshinobu Hayakawa,Yusuke Okazaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-09-29.

Interior antenna for substrate processing chamber

Номер патента: US20120211358A1. Автор: Genhua Xu,Keith A. Miller,Shengde Zhong,Mahendra Bhagwat Lokhande. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2012-08-23.

Pulsed voltage boost for substrate processing

Номер патента: US11776788B2. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Yue Guo. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-10-03.

Substrate processing apparatus and method of driving relay member

Номер патента: US20220037125A1. Автор: Shin Matsuura,Nobutaka Sasaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-02-03.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20240339334A1. Автор: Kuntack Lee,Jihoon Jeong,Sangjine Park,Seohyun Kim,Sukhoon KIM,Younghoo KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-10-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09964358B2. Автор: Takashi Miyamoto,Osamu Yamazaki,Konosuke Hayashi,Jun Matsushita. Владелец: Shibaura Mechatronics Corp. Дата публикации: 2018-05-08.

Method and device for partial removal of contaminants from process gas flow

Номер патента: RU2698835C2. Автор: Нареш Дж. САЧЕК. Владелец: Линде Акциенгезелльшафт. Дата публикации: 2019-08-30.

Steam supply system for superposed turbine and process chamber, such as coal gasification

Номер патента: CA1260780A. Автор: William M. Menger. Владелец: Houston Industries Inc. Дата публикации: 1989-09-26.

Semiconductor substrate processing apparatus

Номер патента: US20230230865A1. Автор: Kyusang Lee,Hyunjoo Jeon,Jinhyuk CHOI,Beomsoo HWANG,Kongwoo Lee,Myungki Song,Duckjin KIM. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2023-07-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240234171A1. Автор: Mi So PARK,Do Hyeon YOON,Eun Seok Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Semiconductor processing chamber architecture for higher throughput and faster transition time

Номер патента: US12062526B2. Автор: Viren KALSEKAR. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-08-13.

Large area substrate processing system with between chamber platform

Номер патента: US20100158642A1. Автор: John A. Miller,Thomas L. Duer. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2010-06-24.

Substrate processing method and substrate processing system

Номер патента: US20240355647A1. Автор: Takashi Uno,Naoyuki Okamura,Keisuke Sakaguchi,Katsufumi Matsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-10-24.

Method of manufacturing semiconductor device, substrate processing apparatus and recording medium

Номер патента: US09974191B2. Автор: Yasutoshi Tsubota. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2018-05-15.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09524847B2. Автор: Makoto Kobayashi,Jun Tamura,Hiroshi Tsujimoto,Nobuhiro Wada,Jun Oyabu,Mamoru NAOI. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-20.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20230317488A1. Автор: Hiromitsu Sakaue. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-10-05.

Substrate processing apparatus and shutter

Номер патента: US20240128058A1. Автор: Takashi Aramaki,Atsushi Ogata,Gyeong Min Park,Lifu Li,Kojiro MATSUZAKA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-04-18.

Substrate processing method and manufacturing method of semiconductor device

Номер патента: US20060289431A1. Автор: Shinichi Ito,Tsuyoshi Shibata,Kei Hayasaki,Koutarou Sho. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-12-28.

Substrate process apparatus

Номер патента: WO2020252476A3. Автор: Alexander Krupyshev,Robert May,Daniel Babbs,Leigh SHARROCK. Владелец: Brooks Automation, Inc.. Дата публикации: 2021-02-04.

Systems and methods for monitoring of a controlled environment in a substrate processing system

Номер патента: US20240304477A1. Автор: Bert Jongbloed,Gido Van Der Star. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2024-09-12.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09818630B2. Автор: Akira Takahashi,Kazuyuki Toyoda. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2017-11-14.

Substrate processing system and substrate transfer control method

Номер патента: US09646864B2. Автор: Daisuke Morisawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-05-09.

Substrate processing apparatus and substrate processing method using same

Номер патента: US09564287B2. Автор: Jun Abe,Takeshi Ohse,Norikazu Yamada,Shinji Himori. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-02-07.

Ambient laminar gas flow distribution in laser processing systems

Номер патента: US09557111B2. Автор: Stephen Moffatt,Aaron Muir Hunter. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-31.

Device for producing and processing gas flow by means of liquid volume

Номер патента: RU2741950C2. Автор: М. Жауа ЗЕММУРИ. Владелец: Старклаб. Дата публикации: 2021-02-01.

Plasma ignition optimization in semiconductor processing chambers

Номер патента: US11894217B2. Автор: Kenneth D. Schatz,Soonwook JUNG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2024-02-06.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240021412A1. Автор: Jae Hoo Lee,Yoon Jong JU,Min Sung HAN,Seong Pyo Ahn,Hyun Min Lim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-18.

Plasma ignition optimization in semiconductor processing chambers

Номер патента: WO2022109049A1. Автор: Kenneth D. Schatz,Soonwook JUNG. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2022-05-27.

Processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20210335598A1. Автор: Shota Yoshimura,Shinya Morikita,Takahiro Tokuo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-10-28.

Substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20200365367A1. Автор: Teruo Yoshino,Takashi Yahata. Владелец: Kokusai Electric Corp. Дата публикации: 2020-11-19.

Plasma confinement ring assembly for plasma processing chambers

Номер патента: SG188600A1. Автор: David Carman,Harmeet Singh,La Llera Anthony De,Travis R Taylor,Saurabh J Ullal. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2013-04-30.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200027688A1. Автор: Shinji Kubota,Naohiko Okunishi,Shota Kaneko,Yosuke Tamuro. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-01-23.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: EP4428908A1. Автор: Kwang Sung Yoo,Tae Hwan YOUN,Geon Jong KIM. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-09-11.

Substrate processing apparatus and methods

Номер патента: US09972511B2. Автор: Takashi KURATOMI,Brent Biggs. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2018-05-15.

Etching method and substrate processing apparatus

Номер патента: US09419211B2. Автор: Takashi Sone,Eiichi Nishimura,Fumiko Yamashita,Masato Kushibiki,Nao Koizumi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-08-16.

Manufacturing method of semiconductor device and substrate processing apparatus

Номер патента: US8071446B2. Автор: Tadashi Terasaki. Владелец: HITACHI KOKUSAI ELECTRIC INC. Дата публикации: 2011-12-06.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US11923220B2. Автор: Naoyuki Okamura,Hirotaka Maruyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-03-05.

Substrate processing system and substrate transfer apparatus and method

Номер патента: US20230282492A1. Автор: Toshiaki Toyomaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-09-07.

Substrate processing method and plasma processing apparatus

Номер патента: US20230018151A1. Автор: Toru Hisamatsu,Shinya Ishikawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-01-19.

Plasma ignition optimization in semiconductor processing chambers

Номер патента: US20230197405A1. Автор: Kenneth D. Schatz,Soonwook JUNG. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2023-06-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20210043482A1. Автор: Naoyuki Okamura,Hirotaka Maruyama. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-02-11.

Substrate processing apparatus and method for correcting positional displacement

Номер патента: US20230253223A1. Автор: Tamihiro Kobayashi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2023-08-10.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US10186422B2. Автор: Keiji Osada,Daisuke Morisawa,Naohide Ito. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-01-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20230369018A1. Автор: Jaewon Shin,Sangjeong LEE,Jongwon Park,Yoonseok Choi,Kyunghun JANG,Youngun Bong,Hanlim Kang,Hyunwoo Jo. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-16.

Substrate processing system and substrate processing method

Номер патента: US20240242975A1. Автор: Kotaro Tsurusaki,Yoshihiro Kai,Keiji Onzuka,Kouzou Kanagawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-18.

Substrate holding method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240258082A1. Автор: Shinsuke Oka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

System and method for use in geo-spatial registration

Номер патента: US20220108460A1. Автор: Zvika ASHANI. Владелец: Agent Video Intelligence Ltd. Дата публикации: 2022-04-07.

Replacement end time determination method, substrate processing method, and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240255404A1. Автор: Noritake SUMI. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-01.

Substrate processing apparatus and processing liquid supply method

Номер патента: US20180090306A1. Автор: Jiro Higashijima,Yusuke Hashimoto,Nobuhiro Ogata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-03-29.

Substrate processing method

Номер патента: US20240234189A1. Автор: Tomohiro Takahashi. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-11.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: US20240142310A1. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: Veeco Instruments Inc. Дата публикации: 2024-05-02.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20240321650A1. Автор: Yuji Otsuki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: WO2024091827A3. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: VEECO INSTRUMENTS INC.. Дата публикации: 2024-07-04.

Lightpipe for high temperature substrate processing

Номер патента: WO2024091827A2. Автор: Ji-Dih Hu. Владелец: VEECO INSTRUMENTS INC.. Дата публикации: 2024-05-02.

Beverage capsule and process and system for making same

Номер патента: US09688465B2. Автор: Liberatore A. Trombetta,Yucheng Fu. Владелец: 2266170 Ontario Inc. Дата публикации: 2017-06-27.

Parallel single substrate processing system

Номер патента: US09449862B2. Автор: Arthur Keigler,Freeman Fisher,Daniel L. Goodman. Владелец: Tel Nexx Inc. Дата публикации: 2016-09-20.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09449857B2. Автор: Hiroaki Inadomi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-09-20.

Process chambers for substrate vacuum processing tool

Номер патента: WO2007101207A3. Автор: John M Smith,James Carter Hall,Jeffrey G Ellison. Владелец: Anaconda Semi Lp. Дата публикации: 2008-01-10.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240036476A1. Автор: Kuntack Lee,Jihwan Park,Sangjine Park. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2024-02-01.

Substrate processing method and plasma processing apparatus

Номер патента: US20240071728A1. Автор: Shota Yoshimura,Takanori BANSE,Hsinkai WANG. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-02-29.

Substrate mounting table and substrate processing apparatus

Номер патента: US20130342952A1. Автор: Tsutomu Nagai. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-26.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240184208A1. Автор: Hyun Min Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-06.

Substrate processing device and substrate processing method

Номер патента: US20240203696A1. Автор: Tae Sung Kim,Duk Hyun SON. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20230101475A1. Автор: Hiroki Tajiri,Masayuki ORISAKA,Takashi Izuta. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2023-03-30.

Substrate processing apparatus and method of detecting indentation formed in substrate

Номер патента: SG10201806154TA. Автор: Takahashi Nobuyuki,Wen Zhongxin,Sakugawa Suguru. Владелец: Ebara Corp. Дата публикации: 2019-02-27.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20130084709A1. Автор: Masahiro Miyagi,Kazunori Fujikawa. Владелец: Individual. Дата публикации: 2013-04-04.

Inner wall and substrate processing apparatus

Номер патента: US12040198B2. Автор: Atsushi Tanaka,Hiroyuki Ogawa,Yuji Asakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Apparatus for use in recycling paper material

Номер патента: EP1709238A1. Автор: Adebayo Oluyinka Ogunjimi. Владелец: 3T SYSTEMS Ltd. Дата публикации: 2006-10-11.

Apparatus for use in recycling paper material

Номер патента: US20070113994A1. Автор: Adebayo Ogunjimi. Владелец: 3T SYSTEMS Ltd. Дата публикации: 2007-05-24.

Prediction method and apparatus for substrate processing apparatus

Номер патента: US20070215574A1. Автор: Hideki Tanaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-09-20.

Photographic apparatus and process employing porous filter

Номер патента: US3659512A. Автор: Milton S Dietz,Walter G Lehamann. Владелец: Polaroid Corp. Дата публикации: 1972-05-02.

Substrate processing method

Номер патента: US20110200949A1. Автор: Hiroshi Nakamura,Tadatoshi Tomita,Takafumi Niwa,Yuhei Kuwahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-08-18.

Substrate processing apparatus control system and substrate processing apparatus control method

Номер патента: US20240149599A1. Автор: Beomjeong OH,Jong Nam NA. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240274451A1. Автор: Masanobu Sato,Hiroshi Horiguchi,Saki Miyagawa. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-15.

Substrate processing method

Номер патента: US20240250064A1. Автор: Yoshihisa Matsubara,Yoshihiro Tsutsumi,Yohei Yamashita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.

Etching method, plasma processing apparatus, and substrate processing system

Номер патента: US20240312771A1. Автор: Noboru Saito,Takahiro Yokoyama,Yusuke Takino. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-19.

Inner Wall and substrate Processing Apparatus

Номер патента: US20240321602A1. Автор: Atsushi Tanaka,Hiroyuki Ogawa,Yuji Asakawa. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-09-26.

Substrate processing method

Номер патента: US8367308B2. Автор: Hiroshi Nakamura,Tadatoshi Tomita,Takafumi Niwa,Yuhei Kuwahara. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-02-05.

Substrate processing apparatus

Номер патента: EP4451310A1. Автор: Jong Chan Lee,Kwang Sung Yoo,Hyen Woo Chu. Владелец: PSK Inc. Дата публикации: 2024-10-23.

Substrate processing apparatus having a middle electrode

Номер патента: US12106977B2. Автор: Jin HO KIM,Sang Hyun Sung,Sung Lae OH. Владелец: SK hynix Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09997382B2. Автор: Kenji Kobayashi,Kazuhide Saito,Kenji Izumoto,Akihisa Iwasaki,Takemitsu Miura. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2018-06-12.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09859136B2. Автор: Yoshifumi Amano,Yoichi Tokunaga,Hiromitsu Namba,. Fitrianto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-02.

Etch system and method for single substrate processing

Номер патента: US09852920B2. Автор: Ian J. Brown,Wallace P. Printz. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-12-26.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US09766617B2. Автор: Keiji Osada,Junichi Ogawa,Youichi Nakayama,Hiroaki DEWA. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-09-19.

Substrate processing apparatus, method of operating substrate processing apparatus, and storage medium

Номер патента: US09696262B2. Автор: Katsuhiro Morikawa,Ikuo Sunaka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-07-04.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09576808B2. Автор: Kenichiro Arai,Masahiro Miyagi,Toru Endo,Hirofumi MASUHARA. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2017-02-21.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US09465293B2. Автор: Koji Nishiyama,Masahito KASHIYAMA. Владелец: Screen Semiconductor Solutions Co Ltd. Дата публикации: 2016-10-11.

Automatic gap compensation using light source and sensor for substrate processing systems

Номер патента: WO2023211729A1. Автор: Jae Hyun Kim,Goon Heng WONG. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2023-11-02.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20160372340A1. Автор: Koji Ando,Tadashi Maegawa,Rei Takeaki,Yosuke YASUTAKE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2016-12-22.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20200286750A1. Автор: Koji Ando,Tadashi Maegawa,Rei Takeaki,Yosuke YASUTAKE. Владелец: Screen Holdings Co Ltd. Дата публикации: 2020-09-10.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US11887861B2. Автор: Jaewon WOO. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2024-01-30.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20220238348A1. Автор: Hiromi Miyashita,Rei Shoji. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2022-07-28.

Substrate processing apparatus and method of manufacturing thereof

Номер патента: US11869749B2. Автор: Ja Myung GU,Shant ARAKELYAN,Jong Hwan AN. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-01-09.

Substrate processing apparatus including edge ring

Номер патента: US20200303233A1. Автор: Ja Woo Lee. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2020-09-24.

Substrate processing apparatus

Номер патента: US20180218930A1. Автор: Chen Yuan,Yu Yang,Wei Zhou,Weigang PENG,Chengnan HSIEH,Giseub LIM. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-08-02.

Substrate processing method and substrate processing apparatus

Номер патента: US20170316947A1. Автор: Shuji Moriya,Masahiko Tomita. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-11-02.

Substrate processing apparatus and substrate processing method

Номер патента: US20240178031A1. Автор: Jaesung Lee,Sumi Kim. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

SUBSTRATE STAGE, SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM

Номер патента: US20120000612A1. Автор: Muraki Yusuke,ODAGIRI Masaya,FUJIHARA Jin. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120000629A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

MOVABLE GROUND RING FOR A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20120003836A1. Автор: . Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD

Номер патента: US20120000886A1. Автор: NISHINO Masaru,HONDA Masanobu,Kubota Kazuhiro,Ooya Yoshinobu. Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

C-SHAPED CONFINEMENT RING FOR A PLASMA PROCESSING CHAMBER

Номер патента: US20120000608A1. Автор: Dhindsa Rajinder,Kellogg Michael C.,Marakhtanov Alexei. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE TRANSFER METHOD ADOPTED IN SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120004753A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-01-05.

METHODS FOR ENHANCED PROCESSING CHAMBER CLEANING

Номер патента: US20120000490A1. Автор: . Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

ROTOR ASSEMBLY FOR USE IN GAS TURBINE ENGINES AND METHOD FOR ASSEMBLING THE SAME

Номер патента: US20120003091A1. Автор: Segovia Eugenio Yegro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Improvements in the Treatment of Sewage and other Polluted Liquids and in Apparatus for Use in connection therewith.

Номер патента: GB190100517A. Автор: Frank Candy. Владелец: Individual. Дата публикации: 1901-12-14.

Improvements in the Manufacture of the Haloid Compounds of Cyanogen.

Номер патента: GB190009710A. Автор: Hugh Fitzal Kirkpatrick-Picard. Владелец: Individual. Дата публикации: 1901-05-25.

Improvements in the Manufacture of Cellulose from Vegetable Fibres.

Номер патента: GB190508960A. Автор: William Mather. Владелец: Individual. Дата публикации: 1906-07-28.

Radiant heater suitable for use outdoors

Номер патента: AU201611089S. Автор: . Владелец: ALVER Pty Ltd. Дата публикации: 2016-05-04.

Radiant heater suitable for use outdoors

Номер патента: AU201611088S. Автор: . Владелец: ALVER Pty Ltd. Дата публикации: 2016-05-04.

Improvements in and relating to Incubators for use in connection with the process of the Determination of Opsonic Indices

Номер патента: GB190621637A. Автор: John Kiell. Владелец: Individual. Дата публикации: 1907-01-10.

Improvements in the Production of Armor and like Compound Plates and in Apparatus therefor.

Номер патента: GB189905501A. Автор: Owen Franklin Leibert. Владелец: Individual. Дата публикации: 1899-06-17.

Engraved printing rolls and process of making

Номер патента: CA1301540C. Автор: Sidney Puleston. Владелец: Borden Inc. Дата публикации: 1992-05-26.

SYSTEM AND METHOD FOR USING AN ANALOGY IN THE MANAGEMENT OF ASSETS

Номер патента: US20120246046A1. Автор: . Владелец: FANTASY FINANCE VENTURES, LLC. Дата публикации: 2012-09-27.

Security Architecture For Using Host Memory in the Design of A Secure Element

Номер патента: US20120297204A1. Автор: . Владелец: BROADCOM CORPORATION. Дата публикации: 2012-11-22.

APPARATUS AND METHODS FOR USING RECYCLED MATERIAL IN THE FABRICATION OF PRECAST ARCHITECTURAL PRODUCTS

Номер патента: US20130276406A1. Автор: Coate Mark. Владелец: PRESTIGE ARCHITECTURAL PRODUCTS. Дата публикации: 2013-10-24.

PANELS FOR USE WITH FORMWORKS IN THE CONSTRUCTION OF TABIQUES AND Slabs

Номер патента: AR107400A1. Автор: . Владелец: Gutierrez Eduardo Ramon. Дата публикации: 2018-04-25.

TRAY SUITABLE FOR CONTAINING MEAT, FOR USE IN PLANTS FOR THE PROCESSING OF MEAT.

Номер патента: IT224602Z2. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1996-05-29.

Improved Preparations for Use as Precipitants in the Treatment of Sewage and other Polluted Water.

Номер патента: GB189614124A. Автор: Frank Candy,Arthur Angell. Владелец: Individual. Дата публикации: 1897-05-15.

High capacity colloidal storage battery, electrolyte used in it, and the process them

Номер патента: MY110298A. Автор: Lianxiang Wang,Anchen Zheng,Shuo Zheng,Hang Zheng. Владелец: Hang Zheng. Дата публикации: 1998-04-30.

MASS FLOW CONTROLLER, MASS FLOW CONTROLLER SYSTEM, SUBSTRATE PROCESSING DEVICE, AND GAS FLOW RATE ADJUSTING METHOD

Номер патента: US20120000542A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE SUPPORT FOR USE WITH MULTI-ZONAL HEATING SOURCES

Номер патента: US20120003599A1. Автор: Sanchez Errol,PATALAY KAILASH. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

LOADLOCK DESIGNS AND METHODS FOR USING SAME

Номер патента: US20120003063A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SUBSTRATE PROCESSING INCLUDING A MASKING LAYER

Номер патента: US20120001320A1. Автор: Kumar Nitin,Duong Anh,Lang Chi-I,Chiang Tony P.,BOUSSIE Thomas R.,Malhotra Sandra G.,Fresco Zachary,Tong Jinhong. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR ON GLASS SUBSTRATE WITH STIFFENING LAYER AND PROCESS OF MAKING THE SAME

Номер патента: US20120001293A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Methods for Manufacturing a Vacuum Chamber and Components Thereof, and Improved Vacuum Chambers and Components Thereof

Номер патента: US20120000811A1. Автор: . Владелец: Kurt J. Lesker Company. Дата публикации: 2012-01-05.

VARIABLE ORIFICE GAS FLOW MODULATING VALVE

Номер патента: US20120001106A1. Автор: Gum Mike. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Tapentadol for use in the treatment of irritable bowel syndrome

Номер патента: US20120004317A1. Автор: . Владелец: GRUENENTHAL GmbH. Дата публикации: 2012-01-05.

Chamber cleaning for substrate processing systems

Номер патента: WO2024196580A1. Автор: Hu Kang,Ming Li,Dong Wang,Xin Meng,Defu LIANG,Rohit ODE,Huifeng Zheng,Joseph Lindsey Womack. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-09-26.

Information Distribution System for Use in an Elevator

Номер патента: US20120000734A1. Автор: . Владелец: GANNETT SATELLITE INFORMATION NETWORK, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

HYDRODEMETALLIZATION CATALYST AND PROCESS

Номер патента: US20120000828A1. Автор: Kuperman Alexander E.,Maesen Theodorus,Dillon Christopher J.. Владелец: Chevron U.S.A. INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

APPARATUS AND METHODS FOR USE IN FLASH DETECTION

Номер патента: US20120001071A1. Автор: SNIDER Robin Terry,MCGEE Jeffrey Dykes,PERRY Michael Dale. Владелец: General Atomics. Дата публикации: 2012-01-05.

SELF-DISPERSIBLE COATED METAL OXIDE POWDER, AND PROCESS FOR PRODUCTION AND USE

Номер патента: US20120003287A1. Автор: Schlossman David,Shao Yun,Orr Carl. Владелец: KOBO PRODUCTS, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

POROUS CERAMICS SHAPED BODY, AND PROCESS FOR PRODUCING SAME

Номер патента: US20120003464A1. Автор: Uoe Kousuke,Yoshino Hajime,Suzuki Keiichiro. Владелец: Sumitomo Chemical Company, Limited. Дата публикации: 2012-01-05.

IMAGING PARTICULATES, PAPER AND PROCESS, AND IMAGING OF PAPER USING DUAL WAVELENGTH LIGHT

Номер патента: US20120003592A1. Автор: . Владелец: INTERNATIONAL PAPER COMAPNY. Дата публикации: 2012-01-05.

TAGGED OLIGONUCLEOTIDES AND THEIR USE IN NUCLEIC ACID AMPLIFICATION METHODS

Номер патента: US20120003651A1. Автор: BECKER Michael M.,LIVEZEY Kristin W.,LAM Wai-Chung. Владелец: GEN-PROBE INCORPORATED. Дата публикации: 2012-01-05.

SYSTEM AND METHOD FOR USING ACCELEROMETER OUTPUTS TO CONTROL AN OBJECT ROTATING ON A DISPLAY

Номер патента: US20120004035A1. Автор: RABIN Steven. Владелец: NINTENDO CO., LTD. Дата публикации: 2012-01-05.

POLYARYLENE POLYMERS AND PROCESSES FOR PREPARING

Номер патента: US20120004387A1. Автор: Teasley Mark F.. Владелец: E. I. Du Pont De Nemours and Company. Дата публикации: 2012-01-05.

UZM-7 ALUMINOSILICATE ZEOLITE, METHOD OF PREPARATION AND PROCESSES USING UZM-7

Номер патента: US20120004484A1. Автор: . Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

UZM-45 ALUMINOSILICATE ZEOLITE, METHOD OF PREPARATION AND PROCESSES USING UZM-45

Номер патента: US20120004486A1. Автор: . Владелец: UOP LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

UZM-35 ZEOLITIC COMPOSITION, METHOD OF PREPARATION AND PROCESSES

Номер патента: US20120003147A1. Автор: . Владелец: UOP LLC.. Дата публикации: 2012-01-05.

ROBOT APPARATUS AND GRIPPING METHOD FOR USE IN ROBOT APPARATUS

Номер патента: US20120004774A1. Автор: . Владелец: KABUSHIKI KAISHA YASKAWA DENKI. Дата публикации: 2012-01-05.

ISOTOPICALLY LABELED CHEMICALLY STABLE REAGENTS AND PROCESS FOR THE SYNTHESIS THEREOF

Номер патента: US20120004413A1. Автор: . Владелец: PerkinElmer Health Sciences, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

Jet Injector Use In Oral Evaluation

Номер патента: US20120003601A1. Автор: CHEN Yi,HUNTER Ian W.,Hogan N. Catherine,Ruddy Bryan P.. Владелец: Massachusetts Institute of Technology. Дата публикации: 2012-01-05.

Apparatus and process for producing CO2 enriched medical foam

Номер патента: US20120004598A1. Автор: Levy Frank. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Lightweight Portable Moisture Traps For Use With Vacuum Pumps

Номер патента: US20120000283A1. Автор: Williams,Regimand Ali,Muse Peter D.,JR. Johnny Gordon,James Lawrence H.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

High-yield ICF containment chambers and power reactors

Номер патента: US20120002773A1. Автор: . Владелец: Innoven Energy Partners. Дата публикации: 2012-01-05.

TRIURANIUM DISILICIDE NUCLEAR FUEL COMPOSITION FOR USE IN LIGHT WATER REACTORS

Номер патента: US20120002777A1. Автор: . Владелец: WESTINGHOUSE ELECTRIC COMPANY LLC. Дата публикации: 2012-01-05.

TRIURANIUM DISILICIDE NUCLEAR FUEL COMPOSITION FOR USE IN LIGHT WATER REACTORS

Номер патента: US20120002778A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.