Cleaning method for thin-film processing applications and apparatus for use therein
Номер патента: WO2015007858A1
Опубликовано: 22-01-2015
Автор(ы): Florian Ries, NEIL Morrison, Stefan Hein, Stefan Lorenz, Tobias Stolley
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 22-01-2015
Автор(ы): Florian Ries, NEIL Morrison, Stefan Hein, Stefan Lorenz, Tobias Stolley
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Cleaning method for thin-film processing applications and apparatus for use therein
Номер патента: US09534294B2. Автор: NEIL Morrison,Florian Ries,Stefan Lorenz,Tobias Stolley,Stefan Hein. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-01-03.