Stable ground anode aperture for thin film processing
Номер патента: US20240191341A1
Опубликовано: 13-06-2024
Автор(ы): Jae Ha Choi, Jim Sullivan, Mike Anthony, Samuel D. Harkness, IV, Stephen M. Daly, Thomas P. Nolan, Todd Morimoto, Zachary Lyons
Принадлежит: Intevac Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 13-06-2024
Автор(ы): Jae Ha Choi, Jim Sullivan, Mike Anthony, Samuel D. Harkness, IV, Stephen M. Daly, Thomas P. Nolan, Todd Morimoto, Zachary Lyons
Принадлежит: Intevac Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Stable ground anode aperture for thin film processing
Номер патента: WO2024129773A1. Автор: Thomas P. Nolan,Jim Sullivan,Jae Ha Choi,Iv Samuel D. Harkness,Stephen M. Daly,Zachary Lyons,Mike Anthony,Todd Morimoto. Владелец: INTEVAC, INC.. Дата публикации: 2024-06-20.