Device and method for controlling positioning of multiple adjustable mirror elements in a multi-mirror arrangement
Номер патента: JP6698068B2
Опубликовано: 27-05-2020
Автор(ы): イェルク シュペヒト, シュテファン クローネ, マルクス ホルツ, ヤン ホルン
Принадлежит: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-05-2020
Автор(ы): イェルク シュペヒト, シュテファン クローネ, マルクス ホルツ, ヤン ホルン
Принадлежит: カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device and method for controlling positioning of multiple adjustable mirror elements in a multi-mirror arrangement
Номер патента: US10018803B2. Автор: Jan Horn,Johannes Eisenmenger,Markus Holz,Stefan Krone,Joerg Specht. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2018-07-10.