Multiple electrode plasma reactor power distribution system
Номер патента: KR970002282B1
Опубликовано: 27-02-1997
Автор(ы): 제이. 커크우드 에이취 러프, 피터 더블유 로제
Принадлежит: 스테펜 엘. 카플랜, 플라스마 사이언스 인코포레이티드
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Опубликовано: 27-02-1997
Автор(ы): 제이. 커크우드 에이취 러프, 피터 더블유 로제
Принадлежит: 스테펜 엘. 카플랜, 플라스마 사이언스 인코포레이티드
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Plasma reactors and method of cleaning a plasma reactor
Номер патента: US5779849A. Автор: Guy Blalock. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 1998-07-14.