Plasma reactors and method of cleaning a plasma reactor
Номер патента: US5779849A
Опубликовано: 14-07-1998
Автор(ы): Guy Blalock
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-07-1998
Автор(ы): Guy Blalock
Принадлежит: Micron Technology Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Plasma reactors and method of cleaning a plasma reactor
Номер патента: US5514246A. Автор: Guy Blalock. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 1996-05-07.