• Главная
  • Inductively-coupled plasma (icp) resonant source element

Inductively-coupled plasma (icp) resonant source element

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US20240162004A1. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US11935725B2. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Impedance matching circuit for inductive coupled plasma source

Номер патента: KR100444189B1. Автор: 김정식,이승원,고부진,권기청,변홍식,김홍습,한순석. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2004-08-18.

Inductively coupled plasma generating electrode and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: JP2012517074A. Автор: イ、ギョンホ. Владелец: Tera Semicon Corp. Дата публикации: 2012-07-26.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR100731734B1. Автор: 김상진,김도근,정민재. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2007-06-22.

Antenna electrode for inductively coupled plasma generation apparatus

Номер патента: US20030095072A1. Автор: Gi-Chung Kwon,Jeong-Beom Lee,Hong-Sik Byun. Владелец: Jusung Engineering Co Ltd. Дата публикации: 2003-05-22.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20200111641A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-09.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20210142981A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US10541114B2. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2020-01-21.

Inductively coupled plasma processing device

Номер патента: KR101019818B1. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2011-03-04.

Antenna for inductively coupled plasma

Номер патента: KR101848906B1. Автор: 최정수,박우종,한대호. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2018-05-15.

Antenna for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101666933B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2016-10-17.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101454700B1. Автор: 이경석. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-11-03.

Antenna structure for generating inductively coupled plasma

Номер патента: KR102407388B1. Автор: 최주현,인정환,김선훈. Владелец: 한국광기술원. Дата публикации: 2022-06-10.

Adjusting current ratios in inductively coupled plasma processing systems

Номер патента: US9305750B2. Автор: Maolin Long,Seyed Jafar Jafarian-Tehrani. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-04-05.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20140086338A. Автор: 이경석. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-07-08.

Inductively coupled plasma processing apparatus and control method thereof

Номер патента: KR20140059422A. Автор: 임정환. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-05-16.

Inductively coupled plasma processing apparatus and control method thereof

Номер патента: KR20140137964A. Автор: 임정환. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-12-03.

Multi inductively coupled plasma inductor

Номер патента: KR100464808B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2005-01-05.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101547189B1. Автор: 김정태. Владелец: 엘아이지인베니아 주식회사. Дата публикации: 2015-08-25.

Adjusting current ratios in inductively coupled plasma processing systems

Номер патента: TW201127224A. Автор: Seyed Jafar Jafarian-Tehrani,mao-lin Long. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2011-08-01.

Apparatus and method for generating inductively coupled plasma

Номер патента: TW201250822A. Автор: Soo-Hyun Lee. Владелец: Smatek Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-16.

Inductively coupled plasma apparatus for exhaust gas treatment and impedance matching method thereof

Номер патента: US20230377842A1. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Sang Don CHOI. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20180122619A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-03.

Inductively coupled plasma antenna and Plasma processing apparatus using the same

Номер патента: KR101253297B1. Автор: 강찬호,이영종,손형규. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2013-04-10.

Inductive coupled plasma source with plasma discharging tube covered with magnetic core block

Номер патента: KR100803794B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2008-02-14.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101446378B1. Автор: 히토시 사이토,료 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2014-10-01.

Inductively coupled plasma reactor having a built-in radio frequency antenna

Номер патента: KR101283645B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-09.

Inductively coupled plasma generating apparatus with double layer coil antenna

Номер патента: KR100486712B1. Автор: 오재준. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-05-03.

Antenna Structure for Inductively Coupled Plasma

Номер патента: KR101473371B1. Автор: 김대웅,김정형,신용현,성대진,유신재. Владелец: 한국표준과학연구원. Дата публикации: 2014-12-16.

Antenna device for generating inductively coupled plasma

Номер патента: KR100338057B1. Автор: 김성식,이용관,이평우,윤남식. Владелец: 황 철 주. Дата публикации: 2002-05-24.

Antenna for treating device of inductively coupled plasma using ferrite

Номер патента: KR100882450B1. Автор: 정진욱,이관재,조국형,김영렬. Владелец: 참앤씨(주). Дата публикации: 2009-02-06.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR100556983B1. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2006-03-03.

Inductively-coupled plasma device

Номер патента: US8222822B2. Автор: James A. Gilbert. Владелец: TYCO HEALTHCARE GROUP LP. Дата публикации: 2012-07-17.

Inductively coupled plasma reactor having multi rf antenna

Номер патента: KR100980287B1. Автор: 최대규. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2010-09-06.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: CN101064986A. Автор: 崔大圭. Владелец: New Power Plasma Co Ltd. Дата публикации: 2007-10-31.

Inductively coupled plasma source

Номер патента: KR100481313B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2005-04-07.

Inductive coupled plasma source

Номер патента: KR100731998B1. Автор: 최대규. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2007-06-27.

Inductively coupled plasma processing equipment

Номер патента: JP3880864B2. Автор: 務 里吉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-02-14.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101124754B1. Автор: 히토시 사이토,료 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-03-23.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20030066452A. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2003-08-09.

Method for lighting an inductively coupled plasma at low pressure

Номер патента: US20020067133A1. Автор: Jeffrey Brown,John Keller,Waldemar Kocon. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2002-06-06.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100737750B1. Автор: 정영철,김형준,김인준. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2007-07-10.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101765233B1. Автор: 홍보한. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2017-08-16.

Inductive coupling plasma processing device

Номер патента: JP2003229410A. Автор: 務 里吉,Tsutomu Satoyoshi. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-08-15.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: TWI247050B. Автор: Osamu Tsuji,Hirohiko Nakano,Michihiro Hiramoto. Владелец: Samco Inc. Дата публикации: 2006-01-11.

Inductive Coil And Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101812743B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2018-01-30.

Induction coil structure and device for generating inductively coupled plasma

Номер патента: WO2018084508A1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2018-05-11.

Inductance coil structure and inductively coupled plasma body generate system

Номер патента: CN109417011A. Автор: 李润星,严世勋. Владелец: Yuanduoke Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-01.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: CN109417011B. Автор: 李润星,严世勋. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2021-09-14.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102020622B1. Автор: 오수호. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2019-09-10.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101253295B1. Автор: 강찬호,이영종,손형규. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2013-04-10.

Inductively coupled plasma antenna

Номер патента: KR101017100B1. Автор: 이정인,이창환,오현택,노일호,공병윤. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2011-02-25.

Hybrid impedance matching for inductively coupled plasma system

Номер патента: US9918376B2. Автор: George Thomas,Panya Wongsenakhum,Francisco J. Juarez. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Inductively coupled plasma source with phase control

Номер патента: US8933628B2. Автор: Zhigang Chen,Samer Banna,Valentin Todorow. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-01-13.

A printed circuit board type antenna for inductively coupled plasma generating device

Номер патента: KR100734954B1. Автор: 김재현,이상원,이용관. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2007-07-03.

Etching Apparatus Using Inductively Coupled Plasma

Номер патента: US20150359079A1. Автор: Jong-Woo Sun. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2015-12-10.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus and Method having an Internal Cleaning Function

Номер патента: KR101649315B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2016-08-18.

Inductively coupled plasma processing apparatus controlled faraday shield independently

Номер патента: KR100849396B1. Автор: 이승호,김문주. Владелец: (주)아이씨디. Дата публикации: 2008-07-31.

Spatially tunable inductively coupled plasma antenna

Номер патента: WO2023204995A1. Автор: David French,Jozef Kudela. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2023-10-26.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US09818581B1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Inductively coupled coil and inductively coupled plasma device using the same

Номер патента: US20170092466A1. Автор: Jianhui Nan,Qiaoli Song. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-30.

Inductively coupled coil and inductively coupled plasma device using the same

Номер патента: US09552965B2. Автор: Jianhui Nan,Qiaoli Song. Владелец: Beijing NMC Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US09543121B2. Автор: Kazuo Sasaki,Toshihiro Tojo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Inductively coupled plasma source

Номер патента: WO2014110237A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Andrew Nguyen,Steven Lane. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US20170323770A1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-09.

Compact rf antenna for an inductively coupled plasma ion source

Номер патента: WO2012044977A2. Автор: Shouyin Zhang. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-04-05.

Inductively coupled plasma type ion implanter

Номер патента: US20240021409A1. Автор: Seung Jae MOON,Jong Jin HWANG,Sung Mook JUNG. Владелец: Industry University Cooperation Foundation IUCF HYU. Дата публикации: 2024-01-18.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: US6696663B2. Автор: Yuichi Tachino. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2004-02-24.

Method of multiple zone symmetric gas injection for inductively coupled plasma

Номер патента: US09472379B2. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Steven Lane,Lawrence Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Inductively coupled plasma treatment system

Номер патента: US11837439B2. Автор: NA Li,Haiyang Liu,Xuedong Li,Xiaobo Liu,Song Guo,Dongdong HU,Shiran CHENG,Kaidong Xu. Владелец: Jiangsu Leuven Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-05.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: WO2002019387A2. Автор: Marwan H. Khater,Lawrence J. Overzet. Владелец: Board of Regents. Дата публикации: 2002-03-07.

Apparatus and method for inductively-coupled-plasma-enhanced ionized physical-vapor deposition

Номер патента: WO1999027153A1. Автор: Mehrdad M. Moslehi. Владелец: Cvc, Inc.. Дата публикации: 1999-06-03.

Compact, distributed inductive element for large scale inductively-coupled plasma sources

Номер патента: WO2005074000A3. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron America Inc. Дата публикации: 2005-12-15.

Compact, distributed inductive element for large scale inductively-coupled plasma sources

Номер патента: WO2005074000A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron America, Inc.. Дата публикации: 2005-08-11.

Apparatus and methods for actively controlling rf peak-to-peak voltage in an inductively coupled plasma etching system

Номер патента: WO2001075930A3. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Shu Nakajima. Дата публикации: 2002-05-23.

Inductively coupled plasma etching apparatus

Номер патента: WO2001075931A3. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Shu Nakajima. Дата публикации: 2002-03-21.

Inductively coupled plasma etching apparatus

Номер патента: EP1269513A2. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2003-01-02.

Steered inductively coupled plasma

Номер патента: WO2024044840A1. Автор: Brian Chan,Joshua O. Oseh. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-03-07.

Steered inductively coupled plasma

Номер патента: US20240074024A1. Автор: Brian Chan,Joshua O. Oseh. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-02-29.

Devices and methods to generate an inductively coupled plasma

Номер патента: WO2024020286A1. Автор: Peter Morrisroe. Владелец: Perkinelmer U.S. Llc. Дата публикации: 2024-01-25.

Generating inductively coupled plasma

Номер патента: US20240032181A1. Автор: Peter Morrisroe. Владелец: Perkinelmer US LLC. Дата публикации: 2024-01-25.

Heat transfer system for an inductively coupled plasma device

Номер патента: US09820370B2. Автор: Yoshitomo Nakagawa,Yutaka Ikku. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-11-14.

Inductively coupled plasma alignment apparatus and method

Номер патента: US20070045247A1. Автор: Philip Marriott,Timothy Whitechurch,Jim Stringer,Jonathan Bradford. Владелец: Thermo Fisher Scientific Inc. Дата публикации: 2007-03-01.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: EP1815494A1. Автор: Reinhard Fendler,Pascal Colpo,François Rossi. Владелец: European Community EC Belgium. Дата публикации: 2007-08-08.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: CA2588505A1. Автор: Reinhard Fendler,Pascal Colpo,François Rossi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-06-01.

Method of multiple zone symmetric gas injection for inductively coupled plasma

Номер патента: US20150371824A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Steven Lane,Lawrence Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-12-24.

Heat management for inductively coupled plasma systems

Номер патента: US11917744B2. Автор: William Fisher,Hamid Badiei,Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-02-27.

Heat management for inductively coupled plasma systems

Номер патента: EP4360119A1. Автор: William Fisher,Hamid Badiei,Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-05-01.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and method of assembling the same

Номер патента: US12062528B2. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Geon Bo SIM,Tae Wook Yoo. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and method of assembling the same

Номер патента: US20230134862A1. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Geon Bo SIM,Tae Wook Yoo. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Air-cooled interface for inductively coupled plasma mass spectrometer (icp-ms)

Номер патента: CA3139598A1. Автор: Gholamreza Javahery,Javad Mostaghimi,Kaveh Kahen,Sina Alavi. Владелец: Kimia Analytics Inc. Дата публикации: 2022-05-18.

Air-cooled interface for inductively coupled plasma mass spectrometer (ICP-MS)

Номер патента: US11864303B2. Автор: Gholamreza Javahery,Javad Mostaghimi,Kaveh Kahen,Sina Alavi. Владелец: Kimia Analytics Inc.. Дата публикации: 2024-01-02.

Inductively coupled plasma generator

Номер патента: US20200022244A1. Автор: Hidemiki Hayashi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2020-01-16.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR

Номер патента: US20200022244A1. Автор: HAYASHI Hidemiki. Владелец: SHIMADZU CORPORATION. Дата публикации: 2020-01-16.

Inductively coupled plasma source for plasma processing

Номер патента: US09653264B2. Автор: Dongsoo Lee,Andreas Kadavanich,Vladimir Nagorny. Владелец: Mattson Technology Inc. Дата публикации: 2017-05-16.

Inductive coupled coil and inductive coupled plasma device using the same

Номер патента: TW200908816A. Автор: qiao-li Song,jian-hui Nan. Владелец: Beijing NMC Co Ltd. Дата публикации: 2009-02-16.

Inductively coupled plasma antenna unit and inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: JP5894785B2. Автор: 利洋 東条. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-03-30.

INDUCTIVELY COUPLED COIL AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA DEVICE USING THE SAME

Номер патента: US20170092466A1. Автор: Nan Jianhui,SONG Qiaoli. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-30.

Inductively coupled plasma source with parallel helical rf coils

Номер патента: WO2024137370A1. Автор: Wei Yi Luo,Himanshu CHOKSHI,Abhinav Prakash,Norman MERTKE. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-06-27.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: TW561547B. Автор: Yuichi Tachino. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2003-11-11.

Window and mounting arrangement for twist-and-lock gas injector assembly of inductively coupled plasma chamber

Номер патента: SG10201603198RA. Автор: David Schaefer,Rish Chhatre. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2016-05-30.

Window and mounting arrangement for twist-and-lock gas injector assembly of inductively coupled plasma chamber

Номер патента: SG11201401748VA. Автор: David Schaefer,Rish Chhatre. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2014-05-29.

Compact rf antenna for an inductively coupled plasma ion source

Номер патента: EP2622625A4. Автор: Shouyin Zhang. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2015-02-25.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20200105502A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-02.

Inductively Coupled Plasma Source for Plasma Processing

Номер патента: US20170243721A1. Автор: LEE Dongsoo,Nagorny Vladimir,Kadavanich Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-24.

SWITCHABLE MATCHING NETWORK AND AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS HAVING SUCH NETWORK

Номер патента: US20200090908A1. Автор: Ni Tuqiang,Iizuka Hiroshi,Zhao Kui,Pang Xiaobei. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-19.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20220310359A1. Автор: Savas Stephen E.,Ma Shawming. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

Poly-phased Inductively Coupled Plasma Source

Номер патента: US20170243720A1. Автор: Brcka Jozef. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-24.

GAS SUPPLY STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170316922A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-02.

RF ANTENNA STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323766A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US20170323767A1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-09.

DIELECTRIC WINDOW SUPPORTING STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323769A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

DIELECTRIC WINDOW SUPPORTING STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323770A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

LOW-TEMPERATURE IONIZATION OF METASTABLE ATOMS EMITTED BY AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ION SOURCE

Номер патента: US20200350142A1. Автор: KNUFFMAN Brenton J.,STEELE Adam V.. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-05.

Inductive coupled plasma reactor with improved vertical etching efficiency

Номер патента: KR100777841B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2007-11-21.

Inductively coupled plasma reactor having multi rf antenna

Номер патента: KR100772452B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2007-11-02.

Inductively coupled plasma generator using grid-type gas injection

Номер патента: KR970063436A. Автор: 장홍영,서상훈,손명호. Владелец: 손명호. Дата публикации: 1997-09-12.

Inductively coupled plasma reactor with multi laser scanning line

Номер патента: KR101434145B1. Автор: 위순임. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2014-08-26.

Inductively Coupled Plasma Apparatus for Large Area Processing Using Dual Frequency

Номер патента: KR100748392B1. Автор: 김경남,염근영. Владелец: 성균관대학교산학협력단. Дата публикации: 2007-08-10.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100785401B1. Автор: 김형준,이기영,이승배,김인준. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2007-12-13.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20220164294A. Автор: 박준수,김태민,김우현,김대일,유광종,유도형. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2022-12-13.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN104821269A. Автор: 崔大圭. Владелец: Jin Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-05.

Apparatus for processing inductively coupled plasma

Номер патента: KR102195981B1. Автор: 이창근. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2020-12-29.

Method for etching thin film using advanced inductively coupled plasma source

Номер патента: KR101383247B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2014-04-08.

Apparatus for processing inductively coupled plasma

Номер патента: KR20190136311A. Автор: 홍성준,최정수,신영식. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2019-12-10.

Inductively coupled plasma device

Номер патента: CN105931940A. Автор: 刘军,魏钰. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-07.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102180640B1. Автор: 이창근,박우종. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2020-11-19.

Inductively coupled plasma processing system

Номер патента: CN110416053B. Автор: 李娜,刘海洋,郭颂,刘小波,胡冬冬,程实然,许开东,李雪冬. Владелец: Jiangsu Leuven Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-16.

Modulated gap segmented antenna for inductively-coupled plasma processing system

Номер патента: US7854213B2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-12-21.

inductive coupled plasma generation source

Номер патента: KR100415944B1. Автор: 이승원,전재홍,권기청,최성혁,한순석. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2004-01-24.

Multi Magnetized Inductively Coupled Plasmas Structure

Номер патента: KR100719804B1. Автор: 박용준,엄용택,윤대근. Владелец: 주식회사 아이피에스. Дата публикации: 2007-05-18.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102543128B1. Автор: 김태영,홍성재,노일호,양호식,김신평. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2023-06-13.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: CN211295030U. Автор: 李昌根,朴宇钟. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-18.

Multi inductively coupled plasma reactor and method thereof

Номер патента: US20110204023A1. Автор: Dae-Kyu Choi,Sung-Min Park,No-Hyun Huh,Gyoo-Dong Kim,Chang-Woo Nam. Владелец: Gen Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-25.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN104821269B. Автор: 崔大圭. Владелец: Jin Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-10.

Improvements to an inductively coupled plasma source

Номер патента: KR20220031766A. Автор: 제임스 로저스,존 폴로스. Владелец: 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드. Дата публикации: 2022-03-11.

Inductively coupled plasma processing device

Номер патента: TWI611455B. Автор: Kazuo Sasaki,Tsutomu Satoyoshi,Toshihiro Tojo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-11.

A kind of inductively coupled plasma body processing system

Номер патента: CN110416053A. Автор: 李娜,刘海洋,郭颂,刘小波,胡冬冬,程实然,许开东,李雪冬. Владелец: Jiangsu Leuven Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2019-11-05.

Poly-phased inductively coupled plasma source

Номер патента: US10431425B2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2019-10-01.

Oscillator generators and methods of using them

Номер патента: US09635750B2. Автор: Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: US20180220520A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-08-02.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: WO2019144220A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Sina Alavi. Дата публикации: 2019-08-01.

Dual frequency matching circuit for inductively coupled plasma (ICP) loads

Номер патента: US12040159B2. Автор: Maolin Long. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Dual Frequency Matching Circuit for Inductively Coupled Plasma (ICP) Loads

Номер патента: US20240339298A1. Автор: Maolin Long. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Apparatus for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1166324A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-01-02.

Inductively coupled plasma light source

Номер патента: EP4420488A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology Inc. Дата публикации: 2024-08-28.

Low inductance large area coil for an inductively coupled plasma source

Номер патента: AU6289296A. Автор: Duane Charles Gates. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 1997-02-05.

Multiple coil antenna for inductively-coupled plasma generation systems

Номер патента: EP1092229A1. Автор: Jian J. Chen,Robert G. Veltrop,Thomas E. Wicker. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2001-04-18.

DYNAMIC ION RADICAL SIEVE AND ION RADICAL APERTURE FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) REACTOR

Номер патента: US20160181067A1. Автор: Kumar Ajay,Singh Saravjeet,SCOTT Graeme Jamieson. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-23.

Apparatus for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1166324B1. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-03-03.

An inductively-coupled plasma etch apparatus and a feedback control method thereof

Номер патента: TW200636853A. Автор: Cheng-Hung Chang,Chaung Lin,Keh-Chyang Leou,Kai-Mu Shiao. Владелец: Univ Nat Tsing Hua. Дата публикации: 2006-10-16.

Inductive coupling plasma igniting method

Номер патента: TWI272879B. Автор: Atsushi Matsushita. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2007-02-01.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: TW536437B. Автор: Marwan H Khater,Lawrence J Overzet. Владелец: Univ Texas. Дата публикации: 2003-06-11.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: AU2001286661A1. Автор: Marwan H. Khater,Lawrence J. Overzet. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2002-03-13.

Method of manufacturing optical waveguide device using inductively coupled plasma system

Номер патента: GB9821310D0. Автор: . Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 1998-11-25.

Apparatus and methods for actively controlling RF peak-to-peak voltage in an inductively coupled plasma etching system

Номер патента: TW534928B. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2003-06-01.

Substrate cooling apparatus for plasma etching device using inductively coupled plasma chamber

Номер патента: KR100468793B1. Автор: 송형승. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-03-16.

Apparatus and method for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: US6474258B2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-11-05.

Inductively coupled plasma using an internal inductive element

Номер патента: WO2002019364A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Arizona, Inc.. Дата публикации: 2002-03-07.

Plasma producing method and apparatus including an inductively-coupled plasma source

Номер патента: GB9820829D0. Автор: . Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 1998-11-18.

Plasma producing method and apparatus including an inductively-coupled plasma source

Номер патента: GB2326974B. Автор: Kaihan Ashtiani. Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 2000-11-15.

Apparatus and method for improving plasma distribution and performance in inductively coupled plasmas

Номер патента: JP4037760B2. Автор: ジョゼフ・ブルッカ. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-01-23.

Process apparatus and method for improving plasma production of an inductively coupled plasma

Номер патента: US7255774B2. Автор: Mirko Vukovic,Edward L. Sill. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-08-14.

Low inductance large area coil for an inductively coupled plasma source

Номер патента: EP0835518B1. Автор: Duane Charles Gates. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-02-27.

Inductance coupling plasma processing equipment and plasma processing method

Номер патента: TW200939898A. Автор: Hitoshi Saito,Ryo Sato,Kohji Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-09-16.

INTERNAL SPLIT FARADAY SHIELD FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20150008213A1. Автор: Zhang Shouyin,Miller Thomas G.. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2015-01-08.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA CHAMBER HAVING A MULTI-ZONE SHOWERHEAD

Номер патента: US20180047542A1. Автор: NGUYEN ANDREW,CHANG Xue. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-15.

METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC TUNNEL JUNCTION ELEMENT, AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20190088865A1. Автор: YAMADA Masaki. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20190108974A1. Автор: Rogers James,POULOSE John. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-11.

SINGLE-TURN AND LAMINATED-WALL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCES

Номер патента: US20220277929A1. Автор: Polak Scott,Lee Yong Jiun,Shabalin Andrew,Madsen David W.. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

Inductively Coupled Plasma Wafer Bevel Strip Apparatus

Номер патента: US20190131112A1. Автор: Desai Dixit V.,Ma Shawming,Pakulski Ryan M.. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA DEVICE

Номер патента: US20180174799A1. Автор: Liu Jun,Wei Yu. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA APPARATUS

Номер патента: US20160196953A1. Автор: Agarwal Ankur,BANNA SAMER,NGUYEN ANDREW,Chen Zhigang,Rauf Shahid,TODOROW Valentin N.,Salinas Martin Jeff,WANG TSE-CHIANG. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-07.

SINGLE-TURN AND LAMINATED-WALL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCES

Номер патента: US20200286712A1. Автор: Polak Scott,Lee Yong Jiun,Shabalin Andrew,Madsen David W.. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-10.

Generator of inductively coupled plasma

Номер патента: KR100297887B1. Автор: 김홍습. Владелец: 아남반도체 주식회사. Дата публикации: 2001-10-19.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: KR100318690B1. Автор: 염근영. Владелец: 우형철. Дата публикации: 2001-12-28.

Structure of chamber in etching apparatus of Inductive coupling plasma

Номер патента: KR100470999B1. Автор: 이동복. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-03-11.

Device for prducing inductively coupled plasma and method

Номер патента: KR100455350B1. Автор: 권광호,심재기. Владелец: 권광호. Дата публикации: 2004-11-06.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR100806522B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2008-02-21.

Inductive coupling plasma processing apparatus

Номер патента: KR100745942B1. Автор: 사토요시츠토무,아마노겐지. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2007-08-02.

Inductive coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20060094409A. Автор: 이창근,김형수,최준영,이영종,이정빈. Владелец: 주식회사 에이디피엔지니어링. Дата публикации: 2006-08-29.

Inductively coupled plasma reactor capable

Номер патента: KR101281191B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-02.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR101281188B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-02.

Inductively coupled plasma processing equipment

Номер патента: JP4672113B2. Автор: 務 里吉,健次 天野. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-04-20.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR100553757B1. Автор: 이강일,정지영. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2006-02-20.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: EP1850367B1. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: Gen Co Ltd. Дата публикации: 2015-10-21.

A temperature control device of dielectric lid for inductively-coupled plasma processing unit

Номер патента: KR100666445B1. Автор: 김재현,이상원,이용관. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2007-01-09.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100631479B1. Автор: 황창훈,안정수,송하진. Владелец: 두산디앤디 주식회사. Дата публикации: 2006-10-09.

Multi inductively coupled plasma reactor and method thereof

Номер патента: KR101200743B1. Автор: 남창우,박성민,최대규,김규동,허노현. Владелец: (주)젠. Дата публикации: 2012-11-13.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR100897176B1. Автор: 김도근,김명수,이규성,김한기. Владелец: 삼성모바일디스플레이주식회사. Дата публикации: 2009-05-14.

Single-tube interlaced inductively coupling plasma source

Номер патента: US6855225B1. Автор: Yuh-Jia Su,David Lee Chen,Vincent Bernard Decaux. Владелец: Novellus Systems Inc. Дата публикации: 2005-02-15.

Distributed inductively-coupled plasma source

Номер патента: US6273022B1. Автор: Hongching Shan,Claes Björkman,Mike Welch,Bryan Y. Pu,Kenny Doan,Richard Raymond Mett. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-08-14.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: US20090133840A1. Автор: Seung-Jae Jung,Kyong-Nam Kim,Geun-Young Yeom. Владелец: SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY. Дата публикации: 2009-05-28.

Device for producing inductively coupled plasma and method thereof

Номер патента: AU2003208033A1. Автор: Kwang-Ho Kwon,Jae-Ki Sim. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-09-02.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: EP1850367A1. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: New Power Plasma Co Ltd. Дата публикации: 2007-10-31.

Inductively coupled plasma source for improved process uniformity

Номер патента: US20030087488A1. Автор: Steven Fink,Janusz Sosnowski. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-05-08.

Device and method for etching a substrate by means of an inductively coupled plasma

Номер патента: WO2001006539A1. Автор: Franz Laermer,Andrea Schilp,Volker Becker. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2001-01-25.

Pulsed excitation of inductively coupled plasma sources

Номер патента: WO2005029527A3. Автор: Fernando Gustavo Tomasel,Juan Jose Gonzalez,Andrew Shabalin. Владелец: Advanced Energy Ind Inc. Дата публикации: 2005-05-12.

Internal split faraday shield for an inductively coupled plasma source

Номер патента: EP2584583A2. Автор: Tom Miller,Shouyin Zhang. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2013-04-24.

Inductively coupled plasma reactor having RF phase control and methods of use thereof

Номер патента: TW201103086A. Автор: Valentin N Todorow,Samer Banna. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2011-01-16.

Adjustable coil for inductively coupled plasma

Номер патента: WO2014099398A1. Автор: Teruo Sasagawa. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2014-06-26.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: US20020023899A1. Автор: Marwan Khater,Lawrence Overzet. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2002-02-28.

Method and apparatus for inductively coupled plasma treatment

Номер патента: US20030006130A1. Автор: Pascal Colpo,François Rossi. Владелец: EURPOEAN COMMUNITY. Дата публикации: 2003-01-09.

Apparatus, system and method for sustaining inductively coupled plasma

Номер патента: EP3965139B1. Автор: Alenka Vesel,Miran Mozetic,Rok ZAPLOTNIK,Gregor PRIMC. Владелец: INSTITUT JOZEF STEFAN. Дата публикации: 2024-03-27.

Multiple coil antenna for inductively-coupled plasma generation systems

Номер патента: AU4954499A. Автор: Jian J. Chen,Robert G. Veltrop,Thomas E. Wicker. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2000-01-17.

Apparatus, system and method for sustaining inductively coupled plasma

Номер патента: EP3965139C0. Автор: Alenka Vesel,Miran Mozetic,Rok ZAPLOTNIK,Gregor PRIMC. Владелец: INSTITUT JOZEF STEFAN. Дата публикации: 2024-03-27.

Inductively coupled plasma spectrometers and radio-frequency power supply therefor

Номер патента: US5383019A. Автор: Regis C. Farrell,James J. Hornsby. Владелец: Fisons Ltd. Дата публикации: 1995-01-17.

Inductively Coupled Plasma Light Source

Номер патента: US20230268167A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology Inc. Дата публикации: 2023-08-24.

Inductively coupled plasma light source

Номер патента: WO2023158909A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology, Inc.. Дата публикации: 2023-08-24.

Inductively coupled plasma generation device

Номер патента: TW201215252A. Автор: Seiji Nishikawa,Ryuichi Matsuda. Владелец: Mitsubishi Heavy Ind Ltd. Дата публикации: 2012-04-01.

Inductance coil and inductance coupling plasma processing device

Номер патента: CN104637767B. Автор: 倪图强,梁洁. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-02-15.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20210050213A1. Автор: Savas Stephen E.,Ma Shawming. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

Inductively Coupled Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Номер патента: US20160097118A1. Автор: Tanaka Samuel L.,Greenberg Thomas L.,Platt Christopher L.,Tong Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Inductively Coupled Plasma For Hydrogenation of Type II Superlattices

Номер патента: US20190131486A1. Автор: Boieriu Paul,Grein Christoph H. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

METHOD OF MULTIPLE ZONE SYMMETRIC GAS INJECTION FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20150371824A1. Автор: Ramaswamy Kartik,Lane Steven,Yang Yang,Wong Lawrence. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101848908B1. Автор: 최정수,정석철. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2018-05-15.

Inductive couple plasma processing device

Номер патента: CN107846768A. Автор: 崔正秀. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Inductively-coupled plasma source

Номер патента: US20080142729A1. Автор: XING Chen. Владелец: MKS Instruments Inc. Дата публикации: 2008-06-19.

High speed metal etching method with no residues left by high frequency high power inductively coupled plasma

Номер патента: KR960012358A. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1996-04-20.

RF antenna assembly for treatment of inner surfaces of tubes with inductively coupled plasma

Номер патента: US7967945B2. Автор: Yuri Glukhoy,Tatiana Kerzhner,Anna Ryaboy. Владелец: Anna Ryaboy. Дата публикации: 2011-06-28.

RF antenna structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101798384B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2017-11-17.

Radio frequency power source for generating an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1203441A1. Автор: Wayne L. Johnson,Leonard G. West. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-05-08.

For the remote inductively coupled plasma source of CVD chamber cleaning

Номер патента: CN104362066B. Автор: 卡尔A·索伦森,乔瑟夫·库德拉. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2017-06-20.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101468657B1. Автор: 이창근,최지숙. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-12-03.

Inductively coupled plasma system

Номер патента: CN110911262B. Автор: 李兴存,张受业. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2022-07-22.

Inductively coupled plasma system

Номер патента: TW202119465A. Автор: 李興存,張受業. Владелец: 大陸商北京北方華創微電子裝備有限公司. Дата публикации: 2021-05-16.

Field enhanced inductively coupled plasma (fe-icp) reactor

Номер патента: WO2010014433A2. Автор: Kartik Ramaswamy,Michael D. Willwerth,Valentin N. Todorow,Samer Banna. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2010-02-04.

Radio frequency power source for generating an inductively coupled plasma

Номер патента: TW494708B. Автор: Wayne L Johnson,Leonard G West. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-07-11.

Inductively coupled plasma generator

Номер патента: JP5595136B2. Автор: 竜一 松田,誠二 西川. Владелец: Mitsubishi Heavy Industries Ltd. Дата публикации: 2014-09-24.

Remote inductively coupled plasma source for CVD chamber cleaning

Номер патента: US8075734B2. Автор: Jozef Kudela,Carl A. Sorensen. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2011-12-13.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20140086342A. Автор: 이창근,최지숙. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-07-08.

Torch for inductively coupled plasma spectrometry

Номер патента: US5684581A. Автор: John Barry French,Raymond Jong,Bernard Etkin. Владелец: MDS Inc. Дата публикации: 1997-11-04.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US09605342B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-03-28.

Connector assembly for an inductively coupled plasma source

Номер патента: US09450330B2. Автор: Craig PETERS. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2016-09-20.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US09934979B2. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US09865443B2. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2018-01-09.

Inductively coupled plasma MS/MS mass analyzer

Номер патента: US8610053B2. Автор: Takeo Kuwabara,Noriyuki Yamada,Jun Kitamoto. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2013-12-17.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: EP4435426A1. Автор: Junichi Taniguchi,Ryo Fujita,Tomoyoshi Matsushita. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2024-09-25.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20170256388A1. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2017-09-07.

Inductively Coupled Plasma For Hydrogenation of Type II Superlattices

Номер патента: US20190131486A1. Автор: Paul Boieriu,Christoph H Grein. Владелец: Sivananthan Laboratories Inc. Дата публикации: 2019-05-02.

Inductively coupled plasma ms/ms mass analyzer

Номер патента: US20130175442A1. Автор: Takeo Kuwabara,Noriyuki Yamada,Jun Kitamoto. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2013-07-11.

Apparatus for introducing samples into an inductively coupled, plasma source mass spectrometer

Номер патента: CA1307360C. Автор: Hideki Matsunaga,Naoyuki Hirate. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1992-09-08.

Inductively coupled plasma mass spectroscopic apparatus

Номер патента: US5939718A. Автор: Kenichi Sakata,Noriyuki Yamada,Shigeru Nawa. Владелец: Hewlett Packard Co. Дата публикации: 1999-08-17.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and assembling method of the same

Номер патента: KR102329032B1. Автор: 김민재,유태욱,배진호,심건보. Владелец: (주)엘오티씨이에스. Дата публикации: 2021-11-19.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and assembling method of the same

Номер патента: KR20210141910A. Автор: 김민재,유태욱,배진호,심건보. Владелец: (주)엘오티씨이에스. Дата публикации: 2021-11-23.

Inductively-Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: US20200227236A1. Автор: Hitoshi Saito,Kazuo Sasaki,Tsutomu Satoyoshi,Toshihiro Tojo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-07-16.

Antenna Structure of Inductively Coupled Plasma Generating Device

Номер патента: KR200253559Y1. Автор: 이상원,이용관,엄세훈. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2001-11-22.

Spectroscopy using inductively coupled plasma

Номер патента: DE69118264T2. Автор: Ian Lawrence Turner. Владелец: Varian Australia Pty Ltd. Дата публикации: 1996-08-29.

Inductively coupled plasma spectroscopy

Номер патента: CA2047571A1. Автор: Ian Lawrence Turner. Владелец: Varian Australia Pty, Ltd.. Дата публикации: 1992-01-25.

Inductively coupled plasma torch structure with flared outlet

Номер патента: TW202300893A. Автор: 丹尼爾 R 懷德林,蓋瑞 J 貝瑞特,凱文 懷德林. Владелец: 美商自然科學公司. Дата публикации: 2023-01-01.

Inductively coupled plasma torch with reverse vortex flow and method of operation

Номер патента: WO2020092236A9. Автор: Alexander Loboda,Adam CAREW. Владелец: Fluidigm Canada Inc.. Дата публикации: 2021-04-22.

Antenna unit and inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101351661B1. Автор: 히토시 사이토,료 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2014-01-14.

Inductively-coupled plasma torch

Номер патента: US20060024199A1. Автор: Kenichi Sakata,Hiroaki Tao,Tetsuya Nakazato. Владелец: National Institute of Advanced Industrial Science and Technology AIST. Дата публикации: 2006-02-02.

Plasma apparatus

Номер патента: EP3611752A1. Автор: Paul Bennett. Владелец: SPTS Technologies Ltd. Дата публикации: 2020-02-19.

Plasma apparatus

Номер патента: US20200058466A1. Автор: Paul Bennett. Владелец: SPTS Technologies Ltd. Дата публикации: 2020-02-20.

Inductively-coupled plasma ion source for use with a focused ion beam column with selectable ions

Номер патента: US20160027607A1. Автор: Anthony Graupera,Charles Otis. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2016-01-28.

Inductively coupled plasma source as an electron beam source for spectroscopic analysis

Номер патента: US8716673B2. Автор: Brian Roberts Routh, JR.. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2014-05-06.

Inductively-coupled plasma ion source for use with a focused ion beam column with selectable ions

Номер патента: US8822913B2. Автор: Anthony Graupera,Charles Otis. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2014-09-02.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: US20180220520A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-08-02.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101768744B1. Автор: 도시히로 도조,츠토무 사토요시,가즈오 사사키. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2017-08-17.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US8597463B2. Автор: Kazuo Sasaki. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2013-12-03.

Inductive couple plasma processing device

Номер патента: CN104299879B. Автор: 山田洋平,佐佐木和男,笠原稔大. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2018-01-09.

Inductive coupled plasma device

Номер патента: KR101104571B1. Автор: 차오리 송,지안회이 난. Владелец: 베이징 엔엠씨 씨오., 엘티디.. Дата публикации: 2012-01-11.

Film formation device for performing sputtering film formation with inductively coupled plasma

Номер патента: WO2021261484A1. Автор: 栄 田中. Владелец: 三国電子有限会社. Дата публикации: 2021-12-30.

Embedded multi-inductive large area plasma source

Номер патента: US20080308409A1. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-12-18.

Hybrid plasma reactor

Номер патента: US09451686B2. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-09-20.

A radio frequency inductively coupled plasma (rf-icp) torch

Номер патента: US20230345611A1. Автор: Javad Mostaghimi,Patrick Michael MIREK,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-10-26.

Inductively coupled plasma generation source electrode and substrate processing apparatus comprising the same

Номер патента: KR101117670B1. Автор: 이경호. Владелец: 주식회사 테라세미콘. Дата публикации: 2012-03-07.

Inductively coupled plasma-generating source electrode and substrate-processing apparatus comprising same

Номер патента: WO2010087648A2. Автор: 이경호. Владелец: 주식회사 테라세미콘. Дата публикации: 2010-08-05.

Inductively coupled plasma reactor with core cover

Номер патента: KR101349195B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2014-01-09.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE WITH SYMMETRICAL RF FEED

Номер патента: US20140020839A1. Автор: Collins Kenneth S.,Ramaswamy Kartik,FOVELL RICHARD,Rauf Shahid,Carducci James D.,KENNEY JASON A.. Владелец: . Дата публикации: 2014-01-23.

INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA ION SOURCE FOR USE WITH A FOCUSED ION BEAM COLUMN WITH SELECTABLE IONS

Номер патента: US20150129759A1. Автор: Graupera Anthony,Otis Charles. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2015-05-14.

Imtroduction of samples do inductively coupled plasma

Номер патента: GB9316742D0. Автор: . Владелец: UNIVERSITY OF WATERLOO. Дата публикации: 1993-09-29.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURE WITH PHASE CONTROL

Номер патента: US20130106286A1. Автор: BANNA SAMER,TODOROW VALENTIN,Chen Zhigang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-05-02.

System, Method and Apparatus for an Inductively Coupled Plasma Arc Whirl Filter Press

Номер патента: US20170135191A1. Автор: Foret Todd. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

HYBRID IMPEDANCE MATCHING FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SYSTEM

Номер патента: US20150313000A1. Автор: Thomas George,Wongsenakhum Panya,Juarez Francisco J.. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-29.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101715340B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2017-03-13.

System, method and apparatus for an inductively coupled plasma Arc Whirl filter press

Номер патента: US9560731B2. Автор: Todd Foret. Владелец: Foret Plasma Labs LLC. Дата публикации: 2017-01-31.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR102280380B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2021-07-22.

A kind of inductively coupled plasma processor

Номер патента: CN106937474A. Автор: 周旭升,黄智林. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-07-07.

Diagnostic and calibration system for inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP4822346B2. Автор: 健一 阪田,辰也 渋川. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2011-11-24.

Inductively coupled plasma processing device

Номер патента: TWI655882B. Автор: 黄允文,狄 吳,連增迪,劉季霖. Владелец: 中微半導體設備(上海)有限公司. Дата публикации: 2019-04-01.

Deposition of superconducting thick films by spray inductively coupled plasma method

Номер патента: US5032568A. Автор: Yuk-Chiu Lau,Emil Pfender. Владелец: University of Minnesota. Дата публикации: 1991-07-16.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: US11848204B2. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-19.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: EP4000088A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-05-25.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: WO2021030342A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E-town Semiconductor Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2021-02-18.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20210050213A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-02-18.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20240071754A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-29.

Adjustment of deposition uniformity in an inductively coupled plasma source

Номер патента: TW405162B. Автор: Praburam Gopalraja,Murali Narasimhan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-09-11.

Apparatus for producing sample vapour for transferral into an inductively coupled plasma

Номер патента: GB9200536D0. Автор: . Владелец: Bodenseewerk Perkin Elmer and Co GmbH. Дата публикации: 1992-02-26.

Apparatus for inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: GB202409404D0. Автор: . Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2024-08-14.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MS/MS MASS ANALYZER

Номер патента: US20130175442A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,KITAMOTO JUN,KUWABARA TAKEO. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2013-07-11.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US20140065827A1. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2014-03-06.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY (ICP-MS) WITH IMPROVED SIGNAL-TO-NOISE AND SIGNAL-TO-BACKGROUND RATIOS

Номер патента: US20210050199A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,Shimizu Erina. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

ION SOURCE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY

Номер патента: US20220181135A1. Автор: GUNTHER Detlef,HATTENDORF Bodo,VONDERACH Thomas. Владелец: ETH Zurich. Дата публикации: 2022-06-09.

Skimmer cone and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20210142995A1. Автор: Shinichi Asahi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2021-05-13.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER WITH MASS CORRECTION

Номер патента: US20200144046A1. Автор: SUGIYAMA Naoki,Liba Amir,Kelinske Mark Lee,Woods Glenn David. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2020-05-07.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US20150184291A1. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2015-07-02.

PROCESS GAS MANAGEMENT FOR AN INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA DEPOSITION REACTOR

Номер патента: US20170191164A1. Автор: Alokozai Fred,Milligan Robert Brennan. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

SYSTEMS AND METHODS FOR AUTOMATED OPTIMIZATION OF A MULTI-MODE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER

Номер патента: US20150235827A1. Автор: Badiei Hamid,Patel Pritesh,Bazargan Samad. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

Recursive coils for inductively coupled plasmas

Номер патента: US20200219698A1. Автор: II Jay D. Pinson,Rupankar CHOUDHURY,Zheng John Ye,Luke Bonecutter,Abhijit Kangude. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-07-09.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20170256388A1. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2017-09-07.

Ionized Physical Vapor Deposition (IPVD) Apparatus And Method For An Inductively Coupled Plasma Sweeping Source

Номер патента: US20170278686A1. Автор: Brcka Jozef. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-28.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY (ICP-MS) WITH IMPROVED SIGNAL-TO-NOISE AND SIGNAL-TO-BACKGROUND RATIOS

Номер патента: US20190287776A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,Shimizu Erina. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-19.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US20150318147A1. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2015-11-05.

OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPE WITH A PIVOTABLY MOUNTED INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20170343478A1. Автор: BERGSCH Manfred A.. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-30.

CONNECTOR ASSEMBLY FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20150380864A1. Автор: Peters Craig. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-31.

Inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: JP2904507B2. Автор: 秀樹 松永. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1999-06-14.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US9021985B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2015-05-05.

Inductively coupled plasma mass spectrometer with mass correction

Номер патента: CN111146071A. Автор: 杉山尚树,A·利巴,M·L·克林斯克,G·D·伍兹. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2020-05-12.

Inductively Coupled Plasma Apparatus of Module Type for Large Area Processing

Номер патента: KR100599816B1. Автор: 김경남,정승재,염근영. Владелец: 학교법인 성균관대학. Дата публикации: 2006-07-13.

Enhanced inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR100311234B1. Автор: 오범환,김철호,정재성,박세근. Владелец: 학교법인 인하학원. Дата публикации: 2001-11-02.

Inductively coupled plasma chemical vapor deposition apparatus

Номер патента: GB2311298B. Автор: Jin Jang,Se-Il Cho,Jae-Gak Kim. Владелец: Hyundai Electronics Industries Co Ltd. Дата публикации: 1999-09-29.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP4903515B2. Автор: 健一 阪田,憲幸 山田. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2012-03-28.

Inductively coupled plasma chemical vapor deposition system

Номер патента: JP4713903B2. Автор: 漢 基 金,明 洙 許,明 洙 金,奎 成 李,錫 憲 鄭. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-29.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US8562785B2. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2013-10-22.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: TW201300570A. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J Kenworthy. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2013-01-01.

Connection arrangement for an inductively coupled plasma source

Номер патента: DE102015211095A1. Автор: Craig PETERS. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2015-12-31.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: TWI563121B. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J Kenworthy. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2016-12-21.

Connector assembly for inductively coupled plasma source

Номер патента: JP6670487B2. Автор: ピーターズ クレイグ. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2020-03-25.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US10023960B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-07-17.

Connector component and inductively coupled plasma spectrum appearance

Номер патента: CN205319466U. Автор: C·彼得斯. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2016-06-15.

Mass-spectrometer for inductively coupled plasma

Номер патента: JPH1097838A. Автор: Kenichi Sakata,健一 阪田,Noriyuki Yamada,憲幸 山田,Shigeru Nawa,繁 縄. Владелец: Yokogawa Analytical Systems Inc. Дата публикации: 1998-04-14.

Inductively coupled plasma reactor and method

Номер патента: JP3959145B2. Автор: マイケル・ジェイ・ハーティング,ジョン・シー・アーノルド. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2007-08-15.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: CN103597113B. Автор: 亚历克斯·帕特森,迈克·康,伊恩·J·肯沃西. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-08-17.

OXYGEN-FREE PASSIVATION CLEANING PROCESS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTOR

Номер патента: FR2805185B1. Автор: Wolfgang Helle,Jean Francois Christaud. Владелец: STMICROELECTRONICS SA. Дата публикации: 2002-09-20.

Device for chemical vapor deposition with inductively coupled plasma

Номер патента: DE19711267A1. Автор: Jin Jang,Se-Il Cho,Jae-Gak Kim. Владелец: Hyundai Electronics Industries Co Ltd. Дата публикации: 1997-10-30.

Inductively coupled plasma cvd

Номер патента: WO1998028465A1. Автор: Brian McMillin,Huong Nguyen,Paul Kevin Shufflebotham,Butch Berney,Alex T. Demos,Monique Ben-Dor. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 1998-07-02.

Recursive coils for inductively coupled plasmas

Номер патента: WO2020146034A1. Автор: Jay D. II PINSON,Rupankar CHOUDHURY,Zheng John Ye,Luke Bonecutter,Abhijit Kangude. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2020-07-16.

Skimmer cone and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JPWO2019202719A1. Автор: 伸一 朝日. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2021-02-12.

Method for analyzing metal fine particles, and inductive coupling plasma mass spectrometry method

Номер патента: EP3739329C0. Автор: Katsuhiko Kawabata,Tatsuya Ichinose,Kohei Nishiguchi. Владелец: IAS Inc. Дата публикации: 2023-10-04.

Method for analyzing metal fine particles, and inductive coupling plasma mass spectrometry method

Номер патента: EP3739329B1. Автор: Katsuhiko Kawabata,Tatsuya Ichinose,Kohei Nishiguchi. Владелец: IAS Inc. Дата публикации: 2023-10-04.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: EP4000088A4. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-09-28.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ARC DEVICE

Номер патента: US20150103860A1. Автор: Foret Todd. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-16.

Inductively coupled plasma source

Номер патента: DE69301952D1. Автор: Peter H Gagne. Владелец: Perkin Elmer Corp. Дата публикации: 1996-05-02.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION DEVICE

Номер патента: US20130088146A1. Автор: Matsuda Ryuichi,Nishikawa Seiji. Владелец: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2013-04-11.

SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ARC WHIRL FILTER PRESS

Номер патента: US20140209573A1. Автор: Foret Todd. Владелец: FORET PLASMA LABS, LLC. Дата публикации: 2014-07-31.

Method for judging thermal balance of inductively coupled plasma

Номер патента: CN111753474A. Автор: 李小平,刘彦明,刘东林,包为民,牛越. Владелец: Xidian University. Дата публикации: 2020-10-09.

PLANARIZATION OF GaN BY PHOTORESIST TECHNIQUE USING AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20140061861A1. Автор: Williams Adrian D.,Moustakas Theodore D.. Владелец: . Дата публикации: 2014-03-06.

Methods of Using Inductively Coupled Plasma Mass Spectroscopy Systems for Analyzing a Cellular Sample

Номер патента: US20160097089A1. Автор: Ornatsky Olga. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Methods of Using Inductively Coupled Plasma Mass Spectroscopy Systems for Analyzing a Cellular Sample

Номер патента: US20190161790A1. Автор: Ornatsky Olga. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-30.

Planarization of GaN by photoresist technique using an inductively coupled plasma

Номер патента: US9230818B2. Автор: Theordore D Moustakas,Adrian D Williams. Владелец: Boston University. Дата публикации: 2016-01-05.

Planarization of GaN by photoresist technique using an inductively coupled plasma

Номер патента: US8257987B2. Автор: Theodore D. Moustakas,Adrian D. Williams. Владелец: Boston University. Дата публикации: 2012-09-04.

Methods of using inductively coupled plasma mass spectroscopy systems for analyzing a cellular sample

Номер патента: US10577648B2. Автор: Olga Ornatsky. Владелец: Fluidigm Canada Inc. Дата публикации: 2020-03-03.

Cold cathode electron source element and method for making

Номер патента: US5860844A. Автор: Katsuto Nagano,Masato Susukida,Jun Hagiwara. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 1999-01-19.

Inductively coupled plasma arc device

Номер патента: US8904749B2. Автор: Todd Foret. Владелец: Foret Plasma Labs LLC. Дата публикации: 2014-12-09.

A radio frequency inductively coupled plasma (rf-icp) torch

Номер патента: CA3193637A1. Автор: Javad Mostaghimi,Patrick Michael MIREK,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-04-14.

LED illumination system having a plurality of alterable light source elements

Номер патента: US09557042B2. Автор: Tatsuya Motoike. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 2017-01-31.

Semiconductor light source element for beam forming

Номер патента: EP2127483A1. Автор: Ronald Gregory Hare,Ronald Owen Woodward,James Mcfadden. Владелец: Magna International Inc. Дата публикации: 2009-12-02.

Induction-coupled plasma synthesis of boron nitride nanotubes

Номер патента: US20180029885A1. Автор: Michael W. Smith,Kevin C. Jordan,Jonathan C. Stevens. Владелец: BNNT LLC. Дата публикации: 2018-02-01.

A boron nitride coating method with inductively coupled plasma

Номер патента: WO2023172227A2. Автор: Bilgin KAFTANOGLU,Tugce HACALOGLU,Berkay Dogan. Владелец: Atilim Universitesi. Дата публикации: 2023-09-14.

A boron nitride coating method with inductively coupled plasma

Номер патента: WO2023172227A3. Автор: Bilgin KAFTANOGLU,Tugce HACALOGLU,Berkay Dogan. Владелец: Atilim Universitesi. Дата публикации: 2023-10-12.

Induction-coupled plasma synthesis of boron nitride nanotubes

Номер патента: US09776865B2. Автор: Michael W. Smith,Kevin C. Jordan,Jonathan C. Stevens. Владелец: BNNT LLC. Дата публикации: 2017-10-03.

Torch glassware for use with inductively coupled plasma-optical emission spectrometer

Номер патента: US20020089666A1. Автор: Michael Erath. Владелец: PerkinElmer Instruments LLC. Дата публикации: 2002-07-11.

Ion source element, ion implanter having the same and method of modifying thereof

Номер патента: KR100688573B1. Автор: 윤수한,김성구,배도인,양종현. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2007-03-02.

MICROWAVE ICP RESONATOR

Номер патента: US20130328483A1. Автор: Gesche Roland,Porteanu Horia-Eugen,Kühn Silvio. Владелец: FORSCHUNGSVERBUND BERLIN E.V.. Дата публикации: 2013-12-12.

Sublimation getter pump employing a consumable getter source element heated by radiation

Номер патента: US3367564A. Автор: William A Lloyd. Владелец: Varian Associates Inc. Дата публикации: 1968-02-06.

Cold-cathode electron source element and method for producing the same

Номер патента: WO1995015002A1. Автор: Katsuto Nagano,Masato Susukida,Jun Hagiwara. Владелец: TDK Corporation. Дата публикации: 1995-06-01.

POWER SOURCE ELEMENT REPLACEMENT DURING VEHICLE OPERATION

Номер патента: US20170210355A1. Автор: Musial John G.,Hoareau Guillaume,Liebenberg Johannes J.,Whitman Todd R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-27.

POWER SOURCE ELEMENT REPLACEMENT DURING VEHICLE OPERATION

Номер патента: US20170274875A1. Автор: Musial John G.,Hoareau Guillaume,Liebenberg Johannes J.,Whitman Todd R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-28.

Method and apparatus for driving light source element

Номер патента: JP3159866B2. Автор: 朴鍾浩. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2001-04-23.

Single-photon light source element and manufacturing method thereof

Номер патента: CN104425659B. Автор: 黄世晟,凃博闵,林雅雯,邱镜学. Владелец: Zhanjing Technology Shenzhen Co Ltd. Дата публикации: 2017-04-26.

Integrated induction coil and microwave antenna as an all-planar source

Номер патента: US09530621B2. Автор: Lee Chen,Peter L. G. Ventzek. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-12-27.

Integrated induction coil & microwave antenna as an all-planar source

Номер патента: WO2015184053A1. Автор: Lee Chen,Peter L. G. Ventzek. Владелец: Tokyo Electron U.S. Holdings, Inc.. Дата публикации: 2015-12-03.

Power delivery to a plasma via inductive coupling

Номер патента: US12106937B2. Автор: Randy Heckman. Владелец: Advanced Energy Industries Inc. Дата публикации: 2024-10-01.

Transformer coupled capacitive tuning circuit with fast impedance switching for plasma etch chambers

Номер патента: US09515633B1. Автор: Alex Paterson,Maolin Long. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-12-06.

Plasma source enhanced with booster chamber and low cost plasma strength sensor

Номер патента: US09997335B2. Автор: Ximan Jiang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-06-12.

Plasma source enhanced with booster chamber and low cost plasma strength sensor

Номер патента: US09691592B2. Автор: Ximan Jiang. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-06-27.

플라즈마 내부식성 평가 장치 및 방법

Номер патента: KR20240152585A. Автор: 최은미,박광수,김기봉,이동진,서정필. Владелец: 에스케이하이닉스 주식회사. Дата публикации: 2024-10-22.

Apparatus for producing silicon nanoparticle using inductive coupled plasma

Номер патента: US09802826B2. Автор: Joon-Soo Kim,Bo-Yun JANG,Hee-Eun SONG. Владелец: Korea Institute of Energy Research KIER. Дата публикации: 2017-10-31.

Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy

Номер патента: GB2291184B. Автор: Mark Cave. Владелец: Natural Environment Research Council. Дата публикации: 1998-04-29.

Aerosol production in inductively coupled plasma emission spectroscopy

Номер патента: US4673656A. Автор: Hans Pink. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1987-06-16.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRIDE NANOTUBES

Номер патента: US20180029885A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: BNNT, LLC. Дата публикации: 2018-02-01.

ADJUSTABLE COIL FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20140175055A1. Автор: Sasagawa Teruo. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2014-06-26.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20140196849A1. Автор: NGUYEN ANDREW,Ramaswamy Kartik,Lane Steven,Yang Yang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRIDE NANOTUBES

Номер патента: US20150125374A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-07.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRADE NANOTUBES

Номер патента: US20160272496A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: BNNT, LLC. Дата публикации: 2016-09-22.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRADE NANOTUBES

Номер патента: US20190322529A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

APPARATUS FOR PRODUCING SILICON NANOPARTICLE USING INDUCTIVE COUPLED PLASMA

Номер патента: US20160362302A1. Автор: SONG Hee-eun,JANG Bo-Yun,KIM Joon-Soo. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-15.

Inductive coupling plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100625319B1. Автор: 정영철,김형준,이기영,이승배. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2006-09-20.

Antenna for inductive coupled plasma generating apparatus

Номер патента: KR100817290B1. Автор: 정진욱,전형탁,이원기,최익진. Владелец: 한양대학교 산학협력단. Дата публикации: 2008-03-31.

Low-Frequency Type Inductively Coupled Plasma Generating Device

Номер патента: KR100488362B1. Автор: 이상원,이용관,엄세훈. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2005-05-11.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: KR101255720B1. Автор: 이승헌,송명곤,이정락,도재철,전부일,최승대. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2013-04-17.

Inductively coupled plasma atomic emission spectrometer

Номер патента: DE19532213A1. Автор: Winfried Dipl Phys Quillfeldt. Владелец: Carl Zeiss Jena GmbH. Дата публикации: 1997-03-06.

Fire-polishing-assisted inductive coupling plasma processing method

Номер патента: CN104950355A. Автор: 张鹏,王波,辛强,王骏,苏星. Владелец: Harbin Institute of Technology. Дата публикации: 2015-09-30.

Inductively coupled plasma assisted chemical vapor deposition device

Номер патента: KR100952533B1. Автор: 윤기준. Владелец: 주식회사 동부하이텍. Дата публикации: 2010-04-12.

Power supply apparatus for inductive coupling plasma light source

Номер патента: JPS58169051A. Автор: Koji Okada,秀雄 服部,Hideo Hattori,幸治 岡田. Владелец: Shimazu Seisakusho KK. Дата публикации: 1983-10-05.

Laser probe induction coupled plasma emission analyzing apparatus

Номер патента: JPS54162597A. Автор: Yuzuru Komiyama,Yutaka Hiratsuka. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1979-12-24.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR100721572B1. Автор: 김상진,김도근,정민재,정석헌. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2007-05-23.

ICP-MS (Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry) analysis method

Номер патента: CN105628782A. Автор: 郑毅,刘立鹏,韩双来,俞晓峰,梁炎. Владелец: Focused Photonics Hangzhou Inc. Дата публикации: 2016-06-01.

Automatic ignition control method of ICP (Inductively Coupled Plasma) ion source

Номер патента: CN104597785A. Автор: 金星,张晶晶,方健. Владелец: China University of Geosciences. Дата публикации: 2015-05-06.

Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy

Номер патента: GB9413381D0. Автор: . Владелец: Natural Environmental Research Council. Дата публикации: 1994-08-24.

Activated species generator for rapid cycle deposition processes

Номер патента: US20060035025A1. Автор: Ashok Sinha,Donald Verplancken. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2006-02-16.

Vibration-proof device for optic source element of upper transparency adapter

Номер патента: US20020089730A1. Автор: Chun-I Hsiao,Chi-Chih Tseng. Владелец: Umax Data System Inc. Дата публикации: 2002-07-11.

DIELECTRIC RESONATOR SOURCE IN GALLERY MODE

Номер патента: FR2750816A1. Автор: Marc Trier,Aline Bazil. Владелец: Matra Marconi Space France SA. Дата публикации: 1998-01-09.

DIELECTRIC RESONATOR SOURCE IN GALLERY MODE

Номер патента: FR2750816B1. Автор: Marc Trier,Aline Bazil. Владелец: Matra Marconi Space France SA. Дата публикации: 1998-10-23.

Control device for controlling light source element and image forming apparatus with control device built therein

Номер патента: US8582159B2. Автор: Masaya Tashiro. Владелец: Kyocera Mita Corp. Дата публикации: 2013-11-12.

Power source element detection and monitoring

Номер патента: US09764703B2. Автор: Guillaume Hoareau,Johannes J. Liebenberg,John G. Musial,Todd R. Whitman. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 2017-09-19.

Method and system for pneumatic control for vibrator source element

Номер патента: US09891329B2. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,John Sallas,Thierry AMEIL. Владелец: CGG SERVICES SAS. Дата публикации: 2018-02-13.

Method and system for pneumatic control for vibrator source element

Номер патента: US09535180B2. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,John Sallas,Thierry AMEIL. Владелец: CGG SERVICES SAS. Дата публикации: 2017-01-03.

Surface light source element

Номер патента: CA2068422A1. Автор: Issei Chiba,Makoto Ohe. Владелец: Individual. Дата публикации: 1992-03-13.

Surface light source element and image display device provided with the surface light source element

Номер патента: EP2239491A1. Автор: Seiji Kinoshita. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-13.

Continuous downhole resonance source

Номер патента: RU2330309C2. Автор: Питер С. АРОНСТАМ. Владелец: Бейкер Хьюз Инкорпорейтед. Дата публикации: 2008-07-27.

Method for marine acoustic projector piston for vibrator source element

Номер патента: EP2959320A1. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,Benoit Teyssandier. Владелец: CGG SERVICES SAS. Дата публикации: 2015-12-30.

X-ray holography light source element and x-ray holography system

Номер патента: US20120288055A1. Автор: Kohei Okamoto,Hirokatsu Miyata,Atsushi Komoto. Владелец: Canon Inc. Дата публикации: 2012-11-15.

Cooling plate for ICP-MS

Номер патента: AU2019261698A1. Автор: Joachim Hinrichs. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2020-07-02.

Cooling plate for ICP-MS

Номер патента: AU2019261698B2. Автор: Joachim Hinrichs. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2021-06-24.

Cooling plate for ICP-MS

Номер патента: GB2585327A. Автор: Hinrichs Joachim. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2021-01-13.

Generator for spectrometry

Номер патента: US12022603B2. Автор: Frank CLAUS,Andreas Bielert. Владелец: Analytik Jena Gmbh+co Kg. Дата публикации: 2024-06-25.

Closed-loop downhole resonant source

Номер патента: CA2535887A1. Автор: Peter S. Aronstam,Roger Fincher,Larry Watkins,James E. Goodson, Jr.,Michael Carmody. Владелец: Individual. Дата публикации: 2005-03-24.

Closed-loop downhole resonant source

Номер патента: CA2535887C. Автор: Peter S. Aronstam,Roger Fincher,Larry Watkins,James E. Goodson, Jr.,Michael Carmody. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2015-06-16.

Surface light source element and lighting device including the same

Номер патента: TW201221858A. Автор: Yoshimi Ohta,Ikuo Onishi. Владелец: Kuraray Co. Дата публикации: 2012-06-01.

Downhole Sensor System Using Resonant Source

Номер патента: US20190024481A1. Автор: Shanfield Stanley,Greenbaum Adam J.,Prestero Mark. Владелец: . Дата публикации: 2019-01-24.

Permanent downhole resonant source

Номер патента: WO2004074869A3. Автор: Peter S Aronstam. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2005-01-20.

Permanent downhole resonant source

Номер патента: CA2514640C. Автор: Peter S. Aronstam. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2014-10-28.

Permanent downhole resonant source

Номер патента: EP1595164A2. Автор: Peter S. Aronstam. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2005-11-16.

Closed-loop downhole resonant source

Номер патента: WO2005026775A1. Автор: Peter S. Aronstam,Roger Fincher,Larry Watkins,James E. Goodson, Jr.,Michael Carmody. Владелец: BAKER HUGHES INCORPORATED. Дата публикации: 2005-03-24.

Closed-loop downhole resonant source

Номер патента: US7823689B2. Автор: Peter S. Aronstam,Roger Fincher,Larry Watkins,James E. Goodson, Jr.,Michael Carmody. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2010-11-02.

Permanent downhole resonant source

Номер патента: CA2514640A1. Автор: Peter S. Aronstam. Владелец: Individual. Дата публикации: 2004-09-02.

Closed-loop downhole resonant source

Номер патента: GB2420178B. Автор: Roger Fincher,Larry Watkins,Peter S Aronstam,Michael Carmody,James E Goodson Jr. Владелец: Baker Hughes Inc. Дата публикации: 2007-04-11.

Atypical multi resonant source formula frequency viewer

Номер патента: CN106898208A. Автор: 蒋丹,杨远敏. Владелец: Chongqing Zunlai Technology Co Ltd. Дата публикации: 2017-06-27.

SYSTEM AND METHOD FOR RETRIEVING A SOURCE ELEMENT FROM A LOGGING TOOL LOCATED IN A WELL

Номер патента: US20220074300A1. Автор: Al Daif Mohammed Y.. Владелец: Saudi Arabian Oil Company. Дата публикации: 2022-03-10.

METHOD AND SYSTEM FOR PNEUMATIC CONTROL FOR VIBRATOR SOURCE ELEMENT

Номер патента: US20170068005A1. Автор: DOWLE Robert,SALLAS John,THOMAS Dominique,AMEIL Thierry. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-09.

DIAGNOSTICS OF DECLARATIVE SOURCE ELEMENTS

Номер патента: US20140181592A1. Автор: Fanning Michael C.,ANDREW Felix Gerard Torquil Ifor,AHMAD Ahmad Khalifa Eesa. Владелец: MICROSOFT CORPORATION. Дата публикации: 2014-06-26.

Marine acoustic projector piston for vibrator source element and method

Номер патента: US20140238771A1. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,Benoit Teyssandier. Владелец: CGG SERVICES SAS. Дата публикации: 2014-08-28.

METHOD AND SYSTEM FOR PNEUMATIC CONTROL FOR VIBRATOR SOURCE ELEMENT

Номер патента: US20140238773A1. Автор: DOWLE Robert,SALLAS John,THOMAS Dominique,AMEIL Thierry. Владелец: CGG SERVICES SA. Дата публикации: 2014-08-28.

POWER SOURCE ELEMENT DETECTION AND MONITORING

Номер патента: US20170210313A1. Автор: Musial John G.,Hoareau Guillaume,Liebenberg Johannes J.,Whitman Todd R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-27.

POWER SOURCE ELEMENT DETECTION AND MONITORING

Номер патента: US20170313272A1. Автор: Musial John G.,Hoareau Guillaume,Liebenberg Johannes J.,Whitman Todd R.. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-02.

MECHANISM AND METHOD FOR REDUCED AIR CONSUMPTION IN A MARINE VIBRATORY SOURCE ELEMENT

Номер патента: US20170343688A1. Автор: DOWLE Robert,SALLAS John. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-30.

Processor and method for executing masked source element store with propagation instructions

Номер патента: CN106030514B. Автор: M.普罗特尼科夫. Владелец: Intel Corp. Дата публикации: 2022-09-13.

Light Source Element with Lateral, Oblique Light Infeed

Номер патента: US20070263411A1. Автор: Gunter Waitl,Herbert Brunner,Franz Schellhorn,Bernhard Bachl,Günter KIRCHBERGER. Владелец: OSRAM GMBH. Дата публикации: 2007-11-15.

Surface light source element and image display device having the same

Номер патента: JP5486504B2. Автор: 誠二 木下. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2014-05-07.

Display device using electron source elements and method of driving same

Номер патента: US20050093801A1. Автор: Jun Koyama. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2005-05-05.

Surface light source element array and image display device

Номер патента: JPWO2009047891A1. Автор: 浩司 安部,龍男 内田,内田 龍男,安部 浩司. Владелец: Tohoku University NUC. Дата публикации: 2011-02-17.

Digital regulation control system for electrical power source element array

Номер патента: US3487229A. Автор: Alfred Krausz. Владелец: TRW Inc. Дата публикации: 1969-12-30.

Light diffusion film and planar light source element and liquid crystal display device utilizing the same

Номер патента: US7967492B2. Автор: Atsushi Nagasawa,Yasuyuki Sanai. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-28.

Light-source element with inclined light-coupling in side

Номер патента: TW454100B. Автор: Gunter Waitl,Franz Schellhorn,Bernhard Bachl,Guenther Kirchberger. Владелец: OSRAM Opto Semiconductors GmbH. Дата публикации: 2001-09-11.

Method and system for pneumatic control for vibrator source element

Номер патента: WO2014128219A3. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,John Sallas,Thierry AMEIL. Владелец: CGG SERVICES SA. Дата публикации: 2015-01-08.

Display device using electron source elements and method of driving same

Номер патента: US20110134098A1. Автор: Jun Koyama. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-09.

Display device using electron source elements and method of driving same

Номер патента: US7888878B2. Автор: Jun Koyama. Владелец: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd. Дата публикации: 2011-02-15.

Method and system for pneumatic control for vibrator source element

Номер патента: WO2014128219A2. Автор: Dominique Thomas,Robert Dowle,John Sallas,Thierry AMEIL. Владелец: CGG SERVICES SA. Дата публикации: 2014-08-28.

Surface light source element and image display apparatus including the same

Номер патента: US8159632B2. Автор: Seiji Kinoshita. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2012-04-17.

Method and apparatus for assessing sourced elements

Номер патента: US20080163173A1. Автор: Eric Jonathan Bauer,Paul Hampton Franklin,David A. Gatenby,Meenakshi Sharma. Владелец: Lucent Technologies Inc. Дата публикации: 2008-07-03.

method and system for pneumatic control for vibratory source element

Номер патента: BR112015020117A2. Автор: DOWLE Robert,SALLAS John,THOMAS Dominique,AMEIL Thierry. Владелец: CGG SERVICES SA. Дата публикации: 2017-07-18.

Light diffusive sheet and area light source element using the same

Номер патента: TWI282014B. Автор: Masashi Takai,Yasumaro Toshima,Hideharu Nagami. Владелец: Ktmoto Co Ltd. Дата публикации: 2007-06-01.

Analysis of samples for mass-cytometry

Номер патента: RU2637795C2. Автор: Александр ЛОБОДА. Владелец: Флуидигм Кэнада Инк.. Дата публикации: 2017-12-07.

화학기상증착장치

Номер патента: KR20100044518A. Автор: 전영수,신인철. Владелец: 주식회사 케이씨텍. Дата публикации: 2010-04-30.

Sample transferring apparatus for mass cytometry

Номер патента: US09431227B2. Автор: Raymond Jong. Владелец: Fluidigm Canada Inc. Дата публикации: 2016-08-30.

Methods for Forming Microlenses

Номер патента: US20130323933A1. Автор: Rao V. Annapragada,Tinghao Frank Wang,Cecilia Laura Quinteros,Linda Nancy Marquez,Steven M. Kennedy. Владелец: Mattson Technology Inc. Дата публикации: 2013-12-05.

Sample transport apparatus for mass spectrometry

Номер патента: US20220134343A1. Автор: Ran Wei,Shuangwu SUN,Yuchong WANG,Yupeng Cheng. Владелец: Shanghai Polaris Biology Co Ltd. Дата публикации: 2022-05-05.

Sample transport apparatus for mass spectrometry

Номер патента: US11986826B2. Автор: Ran Wei,Shuangwu SUN,Yuchong WANG,Yupeng Cheng. Владелец: Shanghai Polaris Biology Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-21.

Mirror clip

Номер патента: GB2586123A. Автор: Wohlers Dirk,Rathkamp Jan. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2021-02-10.

Method for forming silicon dots

Номер патента: US20100260944A1. Автор: Hirokazu Kaki,Eiji Takahashi,Atsushi Tomyo. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-14.

A sliding door assembly for an ICP torch box

Номер патента: GB2586047A. Автор: Wolf Tobias,Rathkamp Jan,Piero Yannik. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2021-02-03.

Analytical laser ablation of solid samples for ICP, ICP-MS and FAG-MS analysis

Номер патента: US09694447B1. Автор: Robert C. Fry,Steven K. Hughes. Владелец: Individual. Дата публикации: 2017-07-04.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160104882A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-09-06.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160089244A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-27.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160106331A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-09-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160106334A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-09-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160104881A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-09-06.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160092246A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-04.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160092249A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-04.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160093902A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-09.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160093903A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-09.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160095760A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160095761A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160095971A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160095970A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-12.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160085005A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-15.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160087718A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-22.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160086213A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-19.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160086212A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-19.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160086229A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-19.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160088027A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-25.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160088025A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-25.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160089055A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-27.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160089054A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-27.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160089243A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-27.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160091536A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

무촉매 기판 성장 그래핀의 제조방법 및 무촉매 기판 성장 그래핀

Номер патента: KR20160091537A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

Method of producing fluid exhaust head

Номер патента: RU2422289C1. Автор: Масатака КАТО,Казухиро ХАЯКАВА. Владелец: Кэнон Кабусики Кайся. Дата публикации: 2011-06-27.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160106459A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-09-12.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160092179A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-04.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160093240A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-08.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160094028A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-09.

Fabrication of a total internal reflection optical switch with vertical fluid fill-holes

Номер патента: US6324316B1. Автор: Julie E. Fouquet,Datong Chen. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2001-11-27.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160086726A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-07-20.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160099317A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-22.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160099328A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-22.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160100162A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-23.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160100466A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-24.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160094047A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-09.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160094045A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-09.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160100467A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-24.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160091575A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160091577A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160091560A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160091559A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

기판 성장 그래핀의 제조방법 및 기판 성장 그래핀 및 제조 장치

Номер патента: KR20160091555A. Автор: 이윤택. Владелец: 이윤택. Дата публикации: 2016-08-03.

Atomizing chamber of sampling system of inductively coupled plasma (ICP) spectrometer

Номер патента: CN201628684U. Автор: 张树龙,应刚. Владелец: Jiangsu Skyray Instrument Co Ltd. Дата публикации: 2010-11-10.

ANTENNA FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION, INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR, AND METHOD OF DRIVING THE SAME

Номер патента: US20120037491A1. Автор: Park Young June,Kim Il Wook. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-16.

Induction coupling coil and induction coupling plasma device

Номер патента: CN1925074B. Автор: 宋巧丽. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2010-08-11.

Induction coupling coil and induction coupling plasma device

Номер патента: CN1925074A. Автор: 宋巧丽. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2007-03-07.

Inductance coupling coil and inductance coupling plasma apparatus

Номер патента: CN101409126B. Автор: 刘宏,刘晓晗,袁洁静. Владелец: SUZHOU HANSHEN MICROELECTRONICS CO Ltd. Дата публикации: 2011-07-13.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: AU2002231067A1. Автор: Valery Godyak. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-07-08.

Inductive coupling plasma processing device and heating element thereof

Номер патента: TWI570768B. Автор: Lei Wan,Jun Wang,Xiao-Bing Xie. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-11.

Inductively coupled plasma control with external magnetic material

Номер патента: AU2002256073A1. Автор: Andrew Perry,Neil Benjamin,Takumasa Nishida,Shu Nakajima. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-10-28.

Antenna structure for inductively coupled plasma generator

Номер патента: AU2002313937A1. Автор: Young Kwan Lee,Sang Won Lee,Sae Hoon Uhm. Владелец: Plasmart Co Ltd. Дата публикации: 2003-02-17.

Fume extractor of inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: CN221983372U. Автор: 张蕊,张晓楠,林凤,郝凤平,闫玉春,林天宠. Владелец: Tianjin Yuxiang Jinzhun Technology Co ltd. Дата публикации: 2024-11-12.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE FOR PLASMA PROCESSING

Номер патента: US20120152901A1. Автор: LEE Dongsoo,Nagorny Vladimir,Kadavanich Andreas. Владелец: MATTSON TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2012-06-21.

PLASMA REACTOR HAVING DUAL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20130052830A1. Автор: CHOI Dae-Kyu,KIM Gyoo-Dong. Владелец: . Дата публикации: 2013-02-28.

FIELD ENHANCED INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA FORMING METHOD

Номер патента: US20140102641A1. Автор: Lee Soo-Hyun. Владелец: SMATEK CO., LTD. Дата публикации: 2014-04-17.

Inductive coupling plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN103165383A. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2013-06-19.

Inductively coupled plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN103165383B. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2016-05-11.

Inductively coupled plasma processing apparatus and self-inducting coil thereof and method thereof for manufacturing semiconductor substrate

Номер патента: TWI615063B. Автор: Jun Wang. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-11.

Inductively coupled plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN202352478U. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2012-07-25.

Compact RF Antenna for an Inductively Coupled Plasma Ion Source

Номер патента: US20120080148A1. Автор: Zhang Shouyin. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-04-05.

Inductively Coupled Plasma Arc Device

Номер патента: US20120097648A1. Автор: . Владелец: FORET PLASMA LABS, LLC. Дата публикации: 2012-04-26.

ANALYZER CONSTITUTED BY GAS CHROMATOGRAPH COMBINED WITH INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER

Номер патента: US20120126113A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-05-24.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120267051A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-10-25.

Inductively-Coupled Plasma Device

Номер патента: US20120268010A1. Автор: . Владелец: TYCO HEALTHCARE GROUP LP. Дата публикации: 2012-10-25.

GAS DISTRIBUTION SHOWERHEAD FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCH REACTOR

Номер патента: US20120309204A1. Автор: Paterson Alex,Kang Michael,Kenworthy Ian J.. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-06.

MAGNETICALLY ENHANCED, INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE FOR A FOCUSED ION BEAM SYSTEM

Номер патента: US20120319000A1. Автор: . Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-12-20.

Internal Split Faraday Shield for an Inductively Coupled Plasma Source

Номер патента: US20130098871A1. Автор: Zhang Shouyin,Miller Tom. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-04-25.

Inductively Coupled Plasma Source as an Electron Beam Source for Spectroscopic Analysis

Номер патента: US20130134307A1. Автор: Routh,JR. Brian Roberts. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-05-30.

Inductively-Coupled Plasma Ion Source for Use with a Focused Ion Beam Column with Selectable Ions

Номер патента: US20130140450A1. Автор: Graupera Anthony,Otis Charles. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-06-06.

Process Gas Management for an Inductively-Coupled Plasma Deposition Reactor

Номер патента: US20140073143A1. Автор: Alokozai Fred,Milligan Robert Brennan. Владелец: ASM IP HOLDINGS B.V.. Дата публикации: 2014-03-13.

HYBRID IMPEDANCE MATCHING FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SYSTEM

Номер патента: US20140097751A1. Автор: Thomas George,Wongsenakhum Panya,Juarez Francisco J.. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-10.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR101695380B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2017-01-11.

Preparation method of radio frequency glow discharge inductively coupled plasmas of nano powder material

Номер патента: CN101733405B. Автор: 梁奕清. Владелец: GUANGDONG XINGFA ALUMINIUM CO Ltd. Дата публикации: 2012-01-11.

Inductive coupled plasma cvd device

Номер патента: JPH1022279A. Автор: Satoshi Fukuyama,聡 福山,Yutaka Asanome,裕 浅野目. Владелец: Toshiba Machine Co Ltd. Дата публикации: 1998-01-23.

High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP2591822B2. Автор: 紀一郎 大塚. Владелец: NIPPON ELECTRON OPTICS LAB. Дата публикации: 1997-03-19.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP3154831B2. Автор: 昌三 小野. Владелец: 横河アナリティカルシステムズ株式会社. Дата публикации: 2001-04-09.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101634603B1. Автор: 김진홍,이향주. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2016-06-29.

Inductive coupling plasma device

Номер патента: JPH11251088A. Автор: Yasushi Sakakibara,康史 ▲榊▼原. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 1999-09-17.

For producing the antenna of inductively coupled plasma

Номер патента: CN207303334U. Автор: 崔正秀,朴宇钟,韩垡昊. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Inductance coupling plasma equipment

Номер патента: CN2785310Y. Автор: 申浩南. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2006-05-31.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP3153337B2. Автор: 斉 佐川. Владелец: 横河アナリティカルシステムズ株式会社. Дата публикации: 2001-04-09.

Sample introduction device for inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: JP2598073B2. Автор: 秀樹 松永,直之 平手. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1997-04-09.

A kind of inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN105810545B. Автор: 倪图强,张辉. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-09-29.

High-frequency inductive coupling plasma mass spectrometer

Номер патента: JPS646351A. Автор: Hideki Kawanako. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1989-01-10.

inductively coupled plasma processing system and processing method

Номер патента: CN106298418B. Автор: 倪图强,刘骁兵,罗伟义. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2018-10-16.

Exhaust equipment of inductively coupled plasma emission spectrometer

Номер патента: CN213209890U. Автор: 刘小冲. Владелец: Sichuan Zhonghuanbo Environmental Testing Co ltd. Дата публикации: 2021-05-14.

Inductively coupled plasma emission spectrophotometer

Номер патента: JPH11166896A. Автор: Yoichi Harada,洋一 原田. Владелец: Seiko Instruments Inc. Дата публикации: 1999-06-22.

Inductively coupled plasma device

Номер патента: JPH10162993A. Автор: Akio Shimizu,Genichi Katagiri,Yasushi Sakakibara,明夫 清水,源一 片桐,康史 榊原. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 1998-06-19.

Inductively coupled plasma processing apparatus and method

Номер патента: JP5500097B2. Автор: 智洋 奥村,一郎 中山. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2014-05-21.

High frequency induction coupling plasma mass analyzer

Номер патента: JPS62243233A. Автор: Hirotoshi Ishikawa,石川 宏俊. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1987-10-23.

A kind of inductively-coupled plasma spectrometer seal operation case

Номер патента: CN208580031U. Автор: 李峰峰,何辉,唐洪彬,常尚文,欧阳应根. Владелец: China Institute of Atomic of Energy. Дата публикации: 2019-03-05.

Inductively coupled plasma treatment device

Номер патента: TW201223341A. Автор: Wei-Yi Luo,song-lin Xu. Владелец: Advanced Micro Fab Equip Inc. Дата публикации: 2012-06-01.

An electrodeless RF induction coupled plasma dischargable atomic source

Номер патента: CN101060060A. Автор: 王东,侯洵,张景文. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2007-10-24.

Inductive coupling plasma device

Номер патента: CN102573258B. Автор: 彭东阳. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2014-11-05.

Cover fixture and cover fixing device of induction coupling plasma processing apparatus

Номер патента: CN103533739A. Автор: 佐藤亮,天野健次,齐藤均. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2014-01-22.

Inductive coupling plasma device

Номер патента: JPH10162991A. Автор: Akio Shimizu,Genichi Katagiri,Yasushi Sakakibara,明夫 清水,源一 片桐,康史 榊原. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 1998-06-19.

High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JPH0638372Y2. Автор: 正 内山,健一 阪田. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1994-10-05.

Inductively coupled plasma processing equipment

Номер патента: JP4997619B2. Автор: 秀夫 大槻,理 辻,博彦 中野. Владелец: Samco Inc. Дата публикации: 2012-08-08.

Analyzer of high frequency induction coupled plasma

Номер патента: JPH01117262A. Автор: 純 石川,Jun Ishikawa,Youtetsu Ri,容 哲 李. Владелец: NIPPON KAGAKU ENG KK. Дата публикации: 1989-05-10.

Introductions of samples to inductively coupled plasma

Номер патента: GB9317136D0. Автор: . Владелец: UNIVERSITY OF WATERLOO. Дата публикации: 1993-10-06.

An electrodeless RF induction coupled plasma dischargable atomic source

Номер патента: CN100530510C. Автор: 王东,侯洵,张景文. Владелец: Xian Jiaotong University. Дата публикации: 2009-08-19.

Inductive coupling plasma mass spectrograph

Номер патента: JPH11185695A. Автор: Atsushi Kitamoto,淳 北本. Владелец: Yokogawa Analytical Systems Inc. Дата публикации: 1999-07-09.

A kind of device for inductively coupled plasma processing

Номер патента: CN106686875B. Автор: 倪图强,左涛涛,吴狄. Владелец: Medium And Micro Semiconductor Equipment (shanghai) Co Ltd. Дата публикации: 2019-05-17.

Inductively coupled plasma torch for introduction of high boiling gaseous molecules

Номер патента: JP3118567B2. Автор: 博明 田尾,衛 冨永. Владелец: 工業技術院長. Дата публикации: 2000-12-18.

Large-area parallel connected high density inductively coupled plasma source

Номер патента: CN2907173Y. Автор: 辛煜,宁兆元. Владелец: SUZHOU UNIVERSITY. Дата публикации: 2007-05-30.

Inductively coupled plasma treatment device

Номер патента: TWI451815B. Автор: Songlin Xu,Weiyi Luo. Владелец: Advanced Micro Fab Equip Inc. Дата публикации: 2014-09-01.

Inductive coupled plasma reactor apparatus and driving method thereof

Номер патента: KR101720339B1. Автор: 문종원,김정대,이강인,서풍부,정완우. Владелец: 엘지디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2017-03-27.

High frequency inductively coupled plasma / mass spectrometer

Номер патента: JPH0736324B2. Автор: 英樹 川那子. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1995-04-19.

Inductively coupled plasma atomic emission spectrometer

Номер патента: JPS6263840A. Автор: Hideki Kawanako,川那子 英樹. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1987-03-20.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: JP2003234338A. Автор: Shinji Iino,伸治 飯野. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-08-22.

High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JPH0615392Y2. Автор: 健一 阪田,英樹 川那子,宏俊 石川. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1994-04-20.

Multiple coils structure for applying to inductively coupled plasma generator

Номер патента: TW201112883A. Автор: Shih-Sin Luo,Ying-Hung Bai. Владелец: ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2011-04-01.

Inductive coupling plasma system with single-turn RF flat coil

Номер патента: TW200518639A. Автор: Jin-Long Wu,Chen-Chung Hu. Владелец: ADVANCED SYSTEM TECHNOLOGY Co Ltd. Дата публикации: 2005-06-01.

Inductively coupled plasma torch

Номер патента: AUPR609901A0. Автор: . Владелец: Varian Australia Pty Ltd. Дата публикации: 2001-07-26.

Inductively coupled plasma torch

Номер патента: AUPR634701A0. Автор: . Владелец: Varian Australia Pty Ltd. Дата публикации: 2001-08-02.

Apparatus for inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: GB202310043D0. Автор: . Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2023-08-16.

Improved structure of light source element for lighting device

Номер патента: TWM281129U. Автор: Fu-Ching Yang. Владелец: Fu-Ching Yang. Дата публикации: 2005-11-21.

LED lamp with replaceable lighting source element

Номер патента: TWM375826U. Автор: zan-qi Chen. Владелец: zan-qi Chen. Дата публикации: 2010-03-11.

X-RAY HOLOGRAPHY LIGHT SOURCE ELEMENT AND X-RAY HOLOGRAPHY SYSTEM

Номер патента: US20120288055A1. Автор: . Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-11-15.

Surface light source element

Номер патента: JPH0727136B2. Автор: 誠 大江,一清 千葉. Владелец: Mitsubishi Rayon Co Ltd. Дата публикации: 1995-03-29.

Double-sided light emitting surface light source element and liquid crystal display device using the same

Номер патента: JP4866230B2. Автор: 敦 長澤. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2012-02-01.

Surface light source element for liquid crystal display device

Номер патента: JP3656967B2. Автор: 雅春 小田,一清 千葉,泰子 林. Владелец: Mitsubishi Rayon Co Ltd. Дата публикации: 2005-06-08.

Composite resin sheet and face light source element

Номер патента: JPH10175260A. Автор: Kazukiyo Chiba,Masaharu Oda,雅春 小田,Yasuko Hayashi,一清 千葉,泰子 林. Владелец: Mitsubishi Rayon Co Ltd. Дата публикации: 1998-06-30.

Surface light source element

Номер патента: JPH0727137B2. Автор: 誠 大江,一清 千葉. Владелец: Mitsubishi Rayon Co Ltd. Дата публикации: 1995-03-29.

Surface light source element and display device using the same

Номер патента: JP4443723B2. Автор: 伊久雄 大西. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2010-03-31.

Surface light source element

Номер патента: JP4046621B2. Автор: 雅春 小田,一清 千葉,泰子 林. Владелец: Mitsubishi Rayon Co Ltd. Дата публикации: 2008-02-13.

Two-wavelength light source element

Номер патента: JP2948645B2. Автор: 昭仁 大谷,雅也 名波. Владелец: Anritsu Corp. Дата публикации: 1999-09-13.

Surface light source element and display device using the same

Номер патента: JP4181927B2. Автор: 伊久雄 大西,徳夫 猪狩,功 浜島,達也 岡田,俊之 吉川. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2008-11-19.

Manufacturing method of cold cathode electron source element

Номер патента: JP3467347B2. Автор: 真人 薄田,萩原  淳,透 木練. Владелец: TDK Corp. Дата публикации: 2003-11-17.

Surface light source element and display device using the same

Номер патента: JP4181935B2. Автор: 伊久雄 大西,克也 藤澤. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2008-11-19.

Surface light source element and display device using the same

Номер патента: JP4184889B2. Автор: 伊久雄 大西. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2008-11-19.

Surface light source element and display device including the same

Номер патента: JP5685099B2. Автор: 誠二 木下. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2015-03-18.

Surface light source element, light control member used therefor, and image display device using the same

Номер патента: JP5199780B2. Автор: 伊久雄 大西,佳実 大田. Владелец: Kuraray Co Ltd. Дата публикации: 2013-05-15.

Semiconductor Device and Manufacturing Method Thereof

Номер патента: US20120001332A1. Автор: TANAKA Tetsuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

PLASMA TREATMENT APPARATUS AND PLASMA TREATMENT METHOD

Номер патента: US20120000887A1. Автор: Saito Makoto,SUZUKI Keiji,ETO Hideo,Nishiyama Nobuyasu. Владелец: KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA. Дата публикации: 2012-01-05.

Large Area Nitride Crystal and Method for Making It

Номер патента: US20120000415A1. Автор: Speck James S.,"DEvelyn Mark P.". Владелец: Soraa, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD OF FABRICATING AN ELECTROCHEMICAL DEVICE USING ULTRAFAST PULSED LASER DEPOSITION

Номер патента: US20120003395A1. Автор: CHE Yong,HU Zhendong. Владелец: IMRA AMERICA, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.

ENERGY STORAGE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120003535A1. Автор: Yamazaki Shunpei. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

Semiconductor Device and Manufacturing Method Thereof

Номер патента: US20120001335A1. Автор: ENDO Yuta,TANAKA Tetsuhiro. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Method for Preparing Small Volume Reaction Containers

Номер патента: US20120003675A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MANUFACTURING METHOD OF ENERGY STORAGE DEVICE

Номер патента: US20120003383A1. Автор: . Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

SOLID-STATE IMAGING DEVICE AND SEMICONDUCTOR DISPLAY DEVICE

Номер патента: US20120002090A1. Автор: . Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

SEMICONDUCTOR DEVICE, METHOD OF MANUFACTURING THE SAME, AND SOLID-STATE IMAGE SENSOR

Номер патента: US20120001291A1. Автор: Kokumai Kazuo. Владелец: CANON KABUSHIKI KAISHA. Дата публикации: 2012-01-05.

BARRIER ASSEMBLY

Номер патента: US20120003451A1. Автор: Kidane Samuel,Roehrig Mark A.,Nachtigal Alan K.,HENDERSON ANDREW J.,Weigel Mark D.. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE

Номер патента: US20120000484A1. Автор: . Владелец: Denso Corporation. Дата публикации: 2012-01-05.

Platinum Enhanced Alloy and Intravascular or Implantable Medical Devices Manufactured Therefrom

Номер патента: US20120004718A1. Автор: . Владелец: BOSTON SCIENTIFIC SCIMED, INC.. Дата публикации: 2012-01-05.