Inductively-coupled plasma (icp) resonant source element
Номер патента: WO2011041087A3
Опубликовано: 29-09-2011
Автор(ы): John M. White, Jonghoon Baek, Tsutomu Tanaka (Tom)
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 29-09-2011
Автор(ы): John M. White, Jonghoon Baek, Tsutomu Tanaka (Tom)
Принадлежит: Applied Materials, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system
Номер патента: US20240162004A1. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2024-05-16.