Inductively-coupled plasma reactor for plasma uniformity and efficiency enhancement and method for manufacturing semiconductor substrate using the device
Номер патента: KR101488243B1
Опубликовано: 30-01-2015
Автор(ы): 강 스, 송린 쉬, 투치앙 니
Принадлежит: 어드밴스드 마이크로 패브리케이션 이큅먼트 인코퍼레이티드, 상하이
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Опубликовано: 30-01-2015
Автор(ы): 강 스, 송린 쉬, 투치앙 니
Принадлежит: 어드밴스드 마이크로 패브리케이션 이큅먼트 인코퍼레이티드, 상하이
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Insulated dielectric window assembly of an inductively coupled plasma processing apparatus
Номер патента: US09437400B2. Автор: Brett C. Richardson,David Setton,Gautam Bhattacharyya. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-09-06.