• Главная
  • Inductively-coupled plasma reactor for plasma uniformity and efficiency enhancement and method for manufacturing semiconductor substrate using the device

Inductively-coupled plasma reactor for plasma uniformity and efficiency enhancement and method for manufacturing semiconductor substrate using the device

Вам могут быть интересны следующие патенты

Рисунок 1. Взаимосвязь патентов (ближайшие 20).

Adaptively plasma source and method of processing semiconductor wafer using the same

Номер патента: EP1800333A1. Автор: Nam-Hun Kim. Владелец: Adaptive Plasma Technology Corp. Дата публикации: 2007-06-27.

Inductively coupled plasma processing apparatus controlled faraday shield independently

Номер патента: KR100849396B1. Автор: 이승호,김문주. Владелец: (주)아이씨디. Дата публикации: 2008-07-31.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: US6696663B2. Автор: Yuichi Tachino. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2004-02-24.

Apparatus and methods for actively controlling rf peak-to-peak voltage in an inductively coupled plasma etching system

Номер патента: WO2001075930A3. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Shu Nakajima. Дата публикации: 2002-05-23.

Inductively coupled plasma reactor with core cover

Номер патента: KR101349195B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2014-01-09.

Method for removing surface contamination on semiconductor substrates

Номер патента: US20020111023A1. Автор: Densen Cao,Becky Losee. Владелец: Fairchild Semiconductor Corp. Дата публикации: 2002-08-15.

Chamber filler kit for plasma etch chamber useful for fast gas switching

Номер патента: US09679751B2. Автор: Alex Paterson,Jon McChesney,Theo Panagopoulos,Craig Blair. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2017-06-13.

Chamber filler kit for plasma etch chamber useful for fast gas switching

Номер патента: WO2013138085A2. Автор: Alex Paterson,Jon McChesney,Theo Panagopoulos,Craig Blair. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2013-09-19.

Multi inductively coupled plasma reactor and method thereof

Номер патента: KR101200743B1. Автор: 남창우,박성민,최대규,김규동,허노현. Владелец: (주)젠. Дата публикации: 2012-11-13.

Apparatus and methods for actively controlling RF peak-to-peak voltage in an inductively coupled plasma etching system

Номер патента: TW534928B. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2003-06-01.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: TW561547B. Автор: Yuichi Tachino. Владелец: Fujitsu Ltd. Дата публикации: 2003-11-11.

Device and method for etching a substrate by means of an inductively coupled plasma

Номер патента: WO2001006539A1. Автор: Franz Laermer,Andrea Schilp,Volker Becker. Владелец: ROBERT BOSCH GMBH. Дата публикации: 2001-01-25.

Structure of chamber in etching apparatus of Inductive coupling plasma

Номер патента: KR100470999B1. Автор: 이동복. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-03-11.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR100897176B1. Автор: 김도근,김명수,이규성,김한기. Владелец: 삼성모바일디스플레이주식회사. Дата публикации: 2009-05-14.

Method for separating dies from a semiconductor substrate

Номер патента: US20240339361A1. Автор: Benjamin Bernard,Mario Stefenelli,Franz-Josef Pichler. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2024-10-10.

Plasma processing apparatus and method for carrying out plasma processing by using such plasma processing apparatus

Номер патента: US5567268A. Автор: Shingo Kadomura. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 1996-10-22.

Improved method for etching vias

Номер патента: EP1493177A2. Автор: David J. Johnson,Russell Westerman. Владелец: Unaxis USA Inc. Дата публикации: 2005-01-05.

Improved method for etching vias

Номер патента: EP1493177A4. Автор: Russell Westerman,David J Johnson. Владелец: Unaxis USA Inc. Дата публикации: 2009-03-11.

Improved method for etching vias

Номер патента: WO2003088313A2. Автор: David J. Johnson,Russell Westerman. Владелец: Unaxis Usa, Inc.. Дата публикации: 2003-10-23.

Enhanced inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR100311234B1. Автор: 오범환,김철호,정재성,박세근. Владелец: 학교법인 인하학원. Дата публикации: 2001-11-02.

Method for performing plasma process on particles

Номер патента: US6649076B2. Автор: Naoki Tamitani. Владелец: Sony Corp. Дата публикации: 2003-11-18.

Device for prducing inductively coupled plasma and method

Номер патента: KR100455350B1. Автор: 권광호,심재기. Владелец: 권광호. Дата публикации: 2004-11-06.

Device for producing inductively coupled plasma and method thereof

Номер патента: AU2003208033A1. Автор: Kwang-Ho Kwon,Jae-Ki Sim. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-09-02.

PLANARIZATION OF GaN BY PHOTORESIST TECHNIQUE USING AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20140061861A1. Автор: Williams Adrian D.,Moustakas Theodore D.. Владелец: . Дата публикации: 2014-03-06.

High speed metal etching method with no residues left by high frequency high power inductively coupled plasma

Номер патента: KR960012358A. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1996-04-20.

Planarization of GaN by photoresist technique using an inductively coupled plasma

Номер патента: US8257987B2. Автор: Theodore D. Moustakas,Adrian D. Williams. Владелец: Boston University. Дата публикации: 2012-09-04.

Recursive coils for inductively coupled plasmas

Номер патента: US20200219698A1. Автор: II Jay D. Pinson,Rupankar CHOUDHURY,Zheng John Ye,Luke Bonecutter,Abhijit Kangude. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2020-07-09.

Planarization of GaN by photoresist technique using an inductively coupled plasma

Номер патента: US9230818B2. Автор: Theordore D Moustakas,Adrian D Williams. Владелец: Boston University. Дата публикации: 2016-01-05.

OXYGEN-FREE PASSIVATION CLEANING PROCESS IN AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA REACTOR

Номер патента: FR2805185B1. Автор: Wolfgang Helle,Jean Francois Christaud. Владелец: STMICROELECTRONICS SA. Дата публикации: 2002-09-20.

Method for etching thin film using advanced inductively coupled plasma source

Номер патента: KR101383247B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2014-04-08.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US09605342B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2017-03-28.

Mode-Switching Plasma Systems and Methods of Operating Thereof

Номер патента: US20210151296A1. Автор: Alok Ranjan,Peter Ventzek,Michael Hummel,Mitsunori Ohata. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2021-05-20.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and method of assembling the same

Номер патента: US12062528B2. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Geon Bo SIM,Tae Wook Yoo. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2024-08-13.

Inductively coupled plasma apparatus for exhaust gas treatment and impedance matching method thereof

Номер патента: US20230377842A1. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Sang Don CHOI. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2023-11-23.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and method of assembling the same

Номер патента: US20230134862A1. Автор: Min Jae Kim,Jin Ho Bae,Geon Bo SIM,Tae Wook Yoo. Владелец: Lot Ces Co Ltd. Дата публикации: 2023-05-04.

Steered inductively coupled plasma

Номер патента: WO2024044840A1. Автор: Brian Chan,Joshua O. Oseh. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-03-07.

Heat transfer system for an inductively coupled plasma device

Номер патента: US09820370B2. Автор: Yoshitomo Nakagawa,Yutaka Ikku. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-11-14.

Devices and methods to generate an inductively coupled plasma

Номер патента: WO2024020286A1. Автор: Peter Morrisroe. Владелец: Perkinelmer U.S. Llc. Дата публикации: 2024-01-25.

Generating inductively coupled plasma

Номер патента: US20240032181A1. Автор: Peter Morrisroe. Владелец: Perkinelmer US LLC. Дата публикации: 2024-01-25.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US09934979B2. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-04-03.

Inductively coupled plasma alignment apparatus and method

Номер патента: US20070045247A1. Автор: Philip Marriott,Timothy Whitechurch,Jim Stringer,Jonathan Bradford. Владелец: Thermo Fisher Scientific Inc. Дата публикации: 2007-03-01.

Steered inductively coupled plasma

Номер патента: US20240074024A1. Автор: Brian Chan,Joshua O. Oseh. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-02-29.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US11935725B2. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2024-03-19.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US20240162004A1. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2024-05-16.

Inductively Coupled Plasma For Hydrogenation of Type II Superlattices

Номер патента: US20190131486A1. Автор: Paul Boieriu,Christoph H Grein. Владелец: Sivananthan Laboratories Inc. Дата публикации: 2019-05-02.

Air-cooled interface for inductively coupled plasma mass spectrometer (icp-ms)

Номер патента: CA3139598A1. Автор: Gholamreza Javahery,Javad Mostaghimi,Kaveh Kahen,Sina Alavi. Владелец: Kimia Analytics Inc. Дата публикации: 2022-05-18.

Air-cooled interface for inductively coupled plasma mass spectrometer (ICP-MS)

Номер патента: US11864303B2. Автор: Gholamreza Javahery,Javad Mostaghimi,Kaveh Kahen,Sina Alavi. Владелец: Kimia Analytics Inc.. Дата публикации: 2024-01-02.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR100731734B1. Автор: 김상진,김도근,정민재. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2007-06-22.

Inductively coupled plasma generating electrode and substrate processing apparatus including the same

Номер патента: JP2012517074A. Автор: イ、ギョンホ. Владелец: Tera Semicon Corp. Дата публикации: 2012-07-26.

Heat management for inductively coupled plasma systems

Номер патента: US11917744B2. Автор: William Fisher,Hamid Badiei,Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-02-27.

Heat management for inductively coupled plasma systems

Номер патента: EP4360119A1. Автор: William Fisher,Hamid Badiei,Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Scientific Canada ULC. Дата публикации: 2024-05-01.

Electronic component embedded connector, and method and device for manufacturing the same

Номер патента: US20110189893A1. Автор: Shinji Yamaguchi,Kenichi Abe,Tetsu Hirose. Владелец: Union Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-04.

Method for minimizing defects in a semiconductor substrate due to ion implantation

Номер патента: WO2012044361A1. Автор: Toshifumi Mori,Ken-ichi Okabe,Toshiki Miyake,Pushkar Ranade. Владелец: SUVOLTA, INC.. Дата публикации: 2012-04-05.

Systems and methods for manipulating liquid films on semiconductor substrates

Номер патента: US20090068848A1. Автор: Hiroyuki Mori,Paul D. Shirley. Владелец: Micron Technology Inc. Дата публикации: 2009-03-12.

Systems and methods for manipulating liquid films on semiconductor substrates

Номер патента: US20070197050A1. Автор: Hiroyuki Mori,Paul Shirley. Владелец: Individual. Дата публикации: 2007-08-23.

Surface treatment method for imparting alcohol repellency to semiconductor substrate

Номер патента: EP3633711A1. Автор: Kenji Shimada,Priangga Perdana Putra. Владелец: Mitsubishi Gas Chemical Co Inc. Дата публикации: 2020-04-08.

Method for Stress Reduced Manufacturing Semiconductor Devices

Номер патента: US20140141592A1. Автор: Hans-Joachim Schulze,Peter Irsigler. Владелец: INFINEON TECHNOLOGIES AG. Дата публикации: 2014-05-22.

Method for minimizing defects in a semiconductor substrate due to ion implantation

Номер патента: US20120083132A1. Автор: Toshifumi Mori,Ken-ichi Okabe,Toshiki Miyake,Pushkar Ranade. Владелец: Suvolta Inc. Дата публикации: 2012-04-05.

Method for manufacturing gallium nitride single crystalline substrate using self-split

Номер патента: EP2077345A1. Автор: Yong-Jin Kim,Ho-Jun Lee,Doo-Soo Kim,Dong-Kun Lee. Владелец: Siltron Inc. Дата публикации: 2009-07-08.

Methods for fabricating integrated circuits with semiconductor substrate protection

Номер патента: US20140273375A1. Автор: Ralf Richter,Jan Hoentschel,Peter Javorka. Владелец: Globalfoundries Inc. Дата публикации: 2014-09-18.

Method for forming narrow images on semiconductor substrates

Номер патента: US4546066A. Автор: Russell C. Lange,Cheryl B. Field. Владелец: International Business Machines Corp. Дата публикации: 1985-10-08.

Electronic component embedded connector, and method and device for manufacturing the same

Номер патента: US8458901B2. Автор: Shinji Yamaguchi,Kenichi Abe,Tetsu Hirose. Владелец: Union Machinery Co Ltd. Дата публикации: 2013-06-11.

Methods for fabricating strained layers on semiconductor substrates

Номер патента: US20030215990A1. Автор: Eugene Fitzgerald,Matthew Currie. Владелец: Amber Wave Systems Inc. Дата публикации: 2003-11-20.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: US20180220520A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-08-02.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: WO2019144220A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Sina Alavi. Дата публикации: 2019-08-01.

Inductively coupled plasma generator

Номер патента: US20200022244A1. Автор: Hidemiki Hayashi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2020-01-16.

Electronic interface apparatus and method and system for manufacturing same

Номер патента: WO2009060425A3. Автор: Oded Bashan,Guy Shafran. Владелец: ON TRACK INNOVATIONS LTD.. Дата публикации: 2010-03-11.

Electronic interface apparatus and method and system for manufacturing same

Номер патента: US09773201B2. Автор: Oded Bashan,Guy Shafran. Владелец: Smartrac IP BV. Дата публикации: 2017-09-26.

Method for producing el display device and transfer substrate used in producing el display device

Номер патента: US20150214509A1. Автор: Yoichi Shintani,Atsushi Tsuno. Владелец: Joled Inc. Дата публикации: 2015-07-30.

Method for evaluating defect region of semiconductor substrate

Номер патента: US09958493B2. Автор: Takashi Aratani. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Light emitting device, and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: EP2257999A2. Автор: Hideo Tamura,Reiji Ono,Kuniaki Konno,Tetsuro Komatsu,Hiroaki Oshio. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 2010-12-08.

Electronic interface apparatus and method and system for manufacturing same

Номер патента: US20100200661A1. Автор: Oded Bashan,Guy Shafran. Владелец: Smartrac IP BV. Дата публикации: 2010-08-12.

Inductively coupled coil and inductively coupled plasma device using the same

Номер патента: US20170092466A1. Автор: Jianhui Nan,Qiaoli Song. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2017-03-30.

Inductively coupled coil and inductively coupled plasma device using the same

Номер патента: US09552965B2. Автор: Jianhui Nan,Qiaoli Song. Владелец: Beijing NMC Co Ltd. Дата публикации: 2017-01-24.

Apparatus and method for inductively-coupled-plasma-enhanced ionized physical-vapor deposition

Номер патента: WO1999027153A1. Автор: Mehrdad M. Moslehi. Владелец: Cvc, Inc.. Дата публикации: 1999-06-03.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US09543121B2. Автор: Kazuo Sasaki,Toshihiro Tojo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2017-01-10.

Connector assembly for an inductively coupled plasma source

Номер патента: US09450330B2. Автор: Craig PETERS. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2016-09-20.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: WO2002019387A2. Автор: Marwan H. Khater,Lawrence J. Overzet. Владелец: Board of Regents. Дата публикации: 2002-03-07.

Compact rf antenna for an inductively coupled plasma ion source

Номер патента: WO2012044977A2. Автор: Shouyin Zhang. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-04-05.

Inductively coupled plasma source

Номер патента: WO2014110237A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Andrew Nguyen,Steven Lane. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US09865443B2. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2018-01-09.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US09818581B1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-14.

Inductively coupled plasma type ion implanter

Номер патента: US20240021409A1. Автор: Seung Jae MOON,Jong Jin HWANG,Sung Mook JUNG. Владелец: Industry University Cooperation Foundation IUCF HYU. Дата публикации: 2024-01-18.

Inductively coupled plasma MS/MS mass analyzer

Номер патента: US8610053B2. Автор: Takeo Kuwabara,Noriyuki Yamada,Jun Kitamoto. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2013-12-17.

Spatially tunable inductively coupled plasma antenna

Номер патента: WO2023204995A1. Автор: David French,Jozef Kudela. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2023-10-26.

Compact, distributed inductive element for large scale inductively-coupled plasma sources

Номер патента: WO2005074000A3. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron America Inc. Дата публикации: 2005-12-15.

Compact, distributed inductive element for large scale inductively-coupled plasma sources

Номер патента: WO2005074000A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron America, Inc.. Дата публикации: 2005-08-11.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: EP4435426A1. Автор: Junichi Taniguchi,Ryo Fujita,Tomoyoshi Matsushita. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2024-09-25.

Method of multiple zone symmetric gas injection for inductively coupled plasma

Номер патента: US09472379B2. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Steven Lane,Lawrence Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2016-10-18.

Inductively coupled plasma treatment system

Номер патента: US11837439B2. Автор: NA Li,Haiyang Liu,Xuedong Li,Xiaobo Liu,Song Guo,Dongdong HU,Shiran CHENG,Kaidong Xu. Владелец: Jiangsu Leuven Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-05.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: EP1815494A1. Автор: Reinhard Fendler,Pascal Colpo,François Rossi. Владелец: European Community EC Belgium. Дата публикации: 2007-08-08.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: CA2588505A1. Автор: Reinhard Fendler,Pascal Colpo,François Rossi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-06-01.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20170256388A1. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2017-09-07.

Inductively coupled plasma etching apparatus

Номер патента: WO2001075931A3. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Shu Nakajima. Дата публикации: 2002-03-21.

Inductively coupled plasma etching apparatus

Номер патента: EP1269513A2. Автор: Shu Nakajima. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2003-01-02.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US20170323770A1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-09.

Inductively coupled plasma ms/ms mass analyzer

Номер патента: US20130175442A1. Автор: Takeo Kuwabara,Noriyuki Yamada,Jun Kitamoto. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2013-07-11.

Inductively coupled plasma mass spectroscopic apparatus

Номер патента: US5939718A. Автор: Kenichi Sakata,Noriyuki Yamada,Shigeru Nawa. Владелец: Hewlett Packard Co. Дата публикации: 1999-08-17.

Apparatus for introducing samples into an inductively coupled, plasma source mass spectrometer

Номер патента: CA1307360C. Автор: Hideki Matsunaga,Naoyuki Hirate. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1992-09-08.

Method of multiple zone symmetric gas injection for inductively coupled plasma

Номер патента: US20150371824A1. Автор: Yang Yang,Kartik Ramaswamy,Steven Lane,Lawrence Wong. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-12-24.

Inductively coupled high density plasma reactor for plasma assisted materials processing

Номер патента: US5540800A. Автор: Xueyu Qian. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 1996-07-30.

Apparatus for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1166324A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-01-02.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: US11848204B2. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-19.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: EP4000088A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-05-25.

Enhanced ignition in inductively coupled plasmas for workpiece processing

Номер патента: WO2021030342A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E-town Semiconductor Technology Co., Ltd.. Дата публикации: 2021-02-18.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20210050213A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2021-02-18.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20240071754A1. Автор: Shawming Ma,Stephen E. Savas. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-02-29.

Inductively coupled plasma reactor having RF phase control and methods of use thereof

Номер патента: TW201103086A. Автор: Valentin N Todorow,Samer Banna. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2011-01-16.

Inductively coupled plasma reactor with multi laser scanning line

Номер патента: KR101434145B1. Автор: 위순임. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2014-08-26.

Apparatus for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1166324B1. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2004-03-03.

Apparatus and method for improving plasma distribution and performance in an inductively coupled plasma

Номер патента: US6474258B2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-11-05.

Apparatus and method for improving plasma distribution and performance in inductively coupled plasmas

Номер патента: JP4037760B2. Автор: ジョゼフ・ブルッカ. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2008-01-23.

Adjustment of deposition uniformity in an inductively coupled plasma source

Номер патента: TW405162B. Автор: Praburam Gopalraja,Murali Narasimhan. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2000-09-11.

Substrate cooling apparatus for plasma etching device using inductively coupled plasma chamber

Номер патента: KR100468793B1. Автор: 송형승. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-03-16.

Ionized Physical Vapor Deposition (IPVD) Apparatus And Method For An Inductively Coupled Plasma Sweeping Source

Номер патента: US20170278686A1. Автор: Brcka Jozef. Владелец: . Дата публикации: 2017-09-28.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20210050213A1. Автор: Savas Stephen E.,Ma Shawming. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

Inductively Coupled Plasma Wafer Bevel Strip Apparatus

Номер патента: US20190131112A1. Автор: Desai Dixit V.,Ma Shawming,Pakulski Ryan M.. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US20150184291A1. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2015-07-02.

PROCESS GAS MANAGEMENT FOR AN INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA DEPOSITION REACTOR

Номер патента: US20170191164A1. Автор: Alokozai Fred,Milligan Robert Brennan. Владелец: . Дата публикации: 2017-07-06.

RF ANTENNA STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323766A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

Dielectric window supporting structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: US20170323767A1. Автор: Saeng Hyun Cho. Владелец: Vni Solution Co Ltd. Дата публикации: 2017-11-09.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: KR100318690B1. Автор: 염근영. Владелец: 우형철. Дата публикации: 2001-12-28.

Inductively Coupled Plasma Apparatus for Large Area Processing Using Dual Frequency

Номер патента: KR100748392B1. Автор: 김경남,염근영. Владелец: 성균관대학교산학협력단. Дата публикации: 2007-08-10.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US9021985B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2015-05-05.

Inductive coupling plasma processing apparatus

Номер патента: KR100745942B1. Автор: 사토요시츠토무,아마노겐지. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2007-08-02.

Inductive coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20060094409A. Автор: 이창근,김형수,최준영,이영종,이정빈. Владелец: 주식회사 에이디피엔지니어링. Дата публикации: 2006-08-29.

Inductively coupled plasma processing equipment

Номер патента: JP4672113B2. Автор: 務 里吉,健次 天野. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2011-04-20.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100631479B1. Автор: 황창훈,안정수,송하진. Владелец: 두산디앤디 주식회사. Дата публикации: 2006-10-09.

RF antenna structure for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101798384B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2017-11-17.

Process gas management for an inductively-coupled plasma deposition reactor

Номер патента: US10023960B2. Автор: Robert Brennan Milligan,Fred Alokozai. Владелец: ASM IP Holding BV. Дата публикации: 2018-07-17.

Method for fabricating semiconductor device

Номер патента: WO2023131742A1. Автор: Ville Vilokkinen,Riina Ulkuniemi,Petri Melanen. Владелец: Modulight Corporation. Дата публикации: 2023-07-13.

Method for forming silicon dots

Номер патента: US20100260944A1. Автор: Hirokazu Kaki,Eiji Takahashi,Atsushi Tomyo. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2010-10-14.

Symmetrical mask system and method for laser irradiation

Номер патента: US20030175599A1. Автор: Apostolos Voutsas,Mark A. Crowder,Yasuhiro Mitiani. Владелец: Sharp Laboratories of America Inc. Дата публикации: 2003-09-18.

Method of manufacturing nitride semiconductor substrate

Номер патента: US20090233423A1. Автор: Takayuki Suzuki,Takeshi Meguro,Ken Ikeda. Владелец: Individual. Дата публикации: 2009-09-17.

Nitride semiconductor substrate and method for producing same

Номер патента: EP4394093A1. Автор: Kazunori Hagimoto. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-03.

Nitride semiconductor substrate and method for producing same

Номер патента: EP4407657A1. Автор: Kazunori Hagimoto,Ippei Kubono. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-31.

Method for manufacturing nitride semiconductor substrate

Номер патента: EP4400636A1. Автор: Kazunori Hagimoto,Ippei Kubono. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-17.

Method for manufacturing nitride semiconductor substrate

Номер патента: US20240371628A1. Автор: Kazunori Hagimoto,Ippei Kubono. Владелец: Shin Etsu Handotai Co Ltd. Дата публикации: 2024-11-07.

Multiple coil antenna for inductively-coupled plasma generation systems

Номер патента: EP1092229A1. Автор: Jian J. Chen,Robert G. Veltrop,Thomas E. Wicker. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2001-04-18.

Inductively coupled plasma source for plasma processing

Номер патента: US09653264B2. Автор: Dongsoo Lee,Andreas Kadavanich,Vladimir Nagorny. Владелец: Mattson Technology Inc. Дата публикации: 2017-05-16.

Discharge lamp with a base and method and fixture for manufacturing the same

Номер патента: EP1439569A3. Автор: István Mudra,Pal Garamvolgyi,Szabolcs Bella. Владелец: General Electric Co. Дата публикации: 2007-08-29.

Stepped battery and method and device for manufacturing the same

Номер патента: US09882233B2. Автор: Young Hoon Kim,Ki Woong Kim,Dong Myung Kim,Sung Jin Kwon. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2018-01-30.

Battery, electric apparatus, and method and apparatus for manufacturing battery

Номер патента: US20240204317A1. Автор: Xing Li,HU XU,Haizu Jin,Shaojun Niu. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-06-20.

Crimp terminal, and method and apparatus for manufacturing a crimp terminal

Номер патента: US09548545B2. Автор: Yasushi Kihara,Yukihiro Kawamura,Saburo Yagi. Владелец: Furukawa Automotive Systems Inc. Дата публикации: 2017-01-17.

Battery, electric apparatus, and method and apparatus for manufacturing battery

Номер патента: US20230411761A1. Автор: HU XU. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Unit Cell and Method and Apparatus for Manufacturing A Unit Cell

Номер патента: US20230402640A1. Автор: Sang Wook Kim,Sung Chul Park,Dong Hyeuk PARK,Hyeon Jin LEE,Gi Yang. Владелец: LG Energy Solution Ltd. Дата публикации: 2023-12-14.

Unit cell, and method and device for manufacturing same

Номер патента: EP4270568A2. Автор: Sang Wook Kim,Sung Chul Park,Dong Hyeuk PARK,Hyeon Jin LEE,Gi Yang. Владелец: LG Energy Solution Ltd. Дата публикации: 2023-11-01.

Battery, electric device, and method and device for manufacturing battery

Номер патента: US20230411756A1. Автор: HU XU. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-12-21.

Battery cell, battery, electrical device, and method and equipment for manufacturing battery cell

Номер патента: US20240154281A1. Автор: Huasheng Su. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Battery cell, battery, electric device, and method and device for manufacturing battery cell

Номер патента: EP4369510A1. Автор: Wenqi ZHU. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-15.

Battery cell, battery, electrical device, and method and equipment for manufacturing battery cell

Номер патента: US20240178531A1. Автор: Wenqi ZHU. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-05-30.

Battery, electric device, and method and device for manufacturing battery

Номер патента: EP4096009A1. Автор: HU XU,Chengdu Liang,Haizu Jin,Yuqun Zeng. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2022-11-30.

Battery, electrical device, and method and device for manufacturing battery

Номер патента: EP4258457A1. Автор: Junrong Li. Владелец: Contemporary Amperex Technology Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-11.

Hybrid plasma reactor

Номер патента: US09451686B2. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2016-09-20.

Methods for Forming Microlenses

Номер патента: US20130323933A1. Автор: Rao V. Annapragada,Tinghao Frank Wang,Cecilia Laura Quinteros,Linda Nancy Marquez,Steven M. Kennedy. Владелец: Mattson Technology Inc. Дата публикации: 2013-12-05.

Oscillator generators and methods of using them

Номер патента: US09635750B2. Автор: Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2017-04-25.

Oscillator generators and methods of using them

Номер патента: US20160360602A1. Автор: Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2016-12-08.

Inductively coupled plasma spectrometers and radio-frequency power supply therefor

Номер патента: US5383019A. Автор: Regis C. Farrell,James J. Hornsby. Владелец: Fisons Ltd. Дата публикации: 1995-01-17.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and assembling method of the same

Номер патента: KR102329032B1. Автор: 김민재,유태욱,배진호,심건보. Владелец: (주)엘오티씨이에스. Дата публикации: 2021-11-19.

Plasma reactor for inductively coupled plasma and assembling method of the same

Номер патента: KR20210141910A. Автор: 김민재,유태욱,배진호,심건보. Владелец: (주)엘오티씨이에스. Дата публикации: 2021-11-23.

Inductively coupled plasma reactor and method

Номер патента: JP3959145B2. Автор: マイケル・ジェイ・ハーティング,ジョン・シー・アーノルド. Владелец: NXP USA Inc. Дата публикации: 2007-08-15.

Inductively coupled plasma reactor having a built-in radio frequency antenna

Номер патента: KR101283645B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-09.

Inductively coupled plasma reactor having multi rf antenna

Номер патента: KR100980287B1. Автор: 최대규. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2010-09-06.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: CN101064986A. Автор: 崔大圭. Владелец: New Power Plasma Co Ltd. Дата публикации: 2007-10-31.

Inductively coupled plasma antenna and Plasma processing apparatus using the same

Номер патента: KR101253297B1. Автор: 강찬호,이영종,손형규. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2013-04-10.

METHOD FOR MANUFACTURING MAGNETIC TUNNEL JUNCTION ELEMENT, AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20190088865A1. Автор: YAMADA Masaki. Владелец: . Дата публикации: 2019-03-21.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: TWI247050B. Автор: Osamu Tsuji,Hirohiko Nakano,Michihiro Hiramoto. Владелец: Samco Inc. Дата публикации: 2006-01-11.

Inductively coupled plasma generation device

Номер патента: TW201215252A. Автор: Seiji Nishikawa,Ryuichi Matsuda. Владелец: Mitsubishi Heavy Ind Ltd. Дата публикации: 2012-04-01.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20200111641A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-09.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20210142981A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2021-05-13.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20180122619A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2018-05-03.

Inductive Coil And Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101812743B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2018-01-30.

Inductive coupled plasma source with plasma discharging tube covered with magnetic core block

Номер патента: KR100803794B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2008-02-14.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: US10541114B2. Автор: Sae Hoon Uhm,Yun Seong Lee. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2020-01-21.

Induction coil structure and device for generating inductively coupled plasma

Номер патента: WO2018084508A1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2018-05-11.

Inductance coil structure and inductively coupled plasma body generate system

Номер патента: CN109417011A. Автор: 李润星,严世勋. Владелец: Yuanduoke Technology Co Ltd. Дата публикации: 2019-03-01.

Inductive coil structure and inductively coupled plasma generation system

Номер патента: CN109417011B. Автор: 李润星,严世勋. Владелец: En2Core Technology Inc. Дата публикации: 2021-09-14.

Inductively coupled plasma torch with reverse vortex flow and method of operation

Номер патента: WO2020092236A9. Автор: Alexander Loboda,Adam CAREW. Владелец: Fluidigm Canada Inc.. Дата публикации: 2021-04-22.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus and Method having an Internal Cleaning Function

Номер патента: KR101649315B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2016-08-18.

Apparatus and method for generating inductively coupled plasma

Номер патента: TW201250822A. Автор: Soo-Hyun Lee. Владелец: Smatek Co Ltd. Дата публикации: 2012-12-16.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US20140065827A1. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2014-03-06.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR

Номер патента: US20200022244A1. Автор: HAYASHI Hidemiki. Владелец: SHIMADZU CORPORATION. Дата публикации: 2020-01-16.

Inductively Coupled Plasma For Hydrogenation of Type II Superlattices

Номер патента: US20190131486A1. Автор: Boieriu Paul,Grein Christoph H. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-02.

Inductively-Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: US20200227236A1. Автор: Hitoshi Saito,Kazuo Sasaki,Tsutomu Satoyoshi,Toshihiro Tojo. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2020-07-16.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US20150318147A1. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2015-11-05.

Etching Apparatus Using Inductively Coupled Plasma

Номер патента: US20150359079A1. Автор: Jong-Woo Sun. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2015-12-10.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102020622B1. Автор: 오수호. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2019-09-10.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101253295B1. Автор: 강찬호,이영종,손형규. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2013-04-10.

Antenna Structure of Inductively Coupled Plasma Generating Device

Номер патента: KR200253559Y1. Автор: 이상원,이용관,엄세훈. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2001-11-22.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101848908B1. Автор: 최정수,정석철. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2018-05-15.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101446378B1. Автор: 히토시 사이토,료 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2014-10-01.

Inductively coupled plasma processing device

Номер патента: KR101019818B1. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2011-03-04.

Impedance matching circuit for inductive coupled plasma source

Номер патента: KR100444189B1. Автор: 김정식,이승원,고부진,권기청,변홍식,김홍습,한순석. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2004-08-18.

Antenna for inductively coupled plasma

Номер патента: KR101848906B1. Автор: 최정수,박우종,한대호. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2018-05-15.

Inductive couple plasma processing device

Номер патента: CN107846768A. Автор: 崔正秀. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2018-03-27.

Antenna for inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101666933B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2016-10-17.

Spectroscopy using inductively coupled plasma

Номер патента: DE69118264T2. Автор: Ian Lawrence Turner. Владелец: Varian Australia Pty Ltd. Дата публикации: 1996-08-29.

Inductively-coupled plasma source

Номер патента: US20080142729A1. Автор: XING Chen. Владелец: MKS Instruments Inc. Дата публикации: 2008-06-19.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101454700B1. Автор: 이경석. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-11-03.

Antenna structure for generating inductively coupled plasma

Номер патента: KR102407388B1. Автор: 최주현,인정환,김선훈. Владелец: 한국광기술원. Дата публикации: 2022-06-10.

Inductively coupled plasma generating apparatus with double layer coil antenna

Номер патента: KR100486712B1. Автор: 오재준. Владелец: 삼성전자주식회사. Дата публикации: 2005-05-03.

Antenna Structure for Inductively Coupled Plasma

Номер патента: KR101473371B1. Автор: 김대웅,김정형,신용현,성대진,유신재. Владелец: 한국표준과학연구원. Дата публикации: 2014-12-16.

Inductively coupled plasma antenna

Номер патента: KR101017100B1. Автор: 이정인,이창환,오현택,노일호,공병윤. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2011-02-25.

Antenna device for generating inductively coupled plasma

Номер патента: KR100338057B1. Автор: 김성식,이용관,이평우,윤남식. Владелец: 황 철 주. Дата публикации: 2002-05-24.

Antenna for treating device of inductively coupled plasma using ferrite

Номер патента: KR100882450B1. Автор: 정진욱,이관재,조국형,김영렬. Владелец: 참앤씨(주). Дата публикации: 2009-02-06.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR100556983B1. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2006-03-03.

Adjusting current ratios in inductively coupled plasma processing systems

Номер патента: US9305750B2. Автор: Maolin Long,Seyed Jafar Jafarian-Tehrani. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-04-05.

Inductively coupled plasma chemical vapor deposition apparatus

Номер патента: GB2311298B. Автор: Jin Jang,Se-Il Cho,Jae-Gak Kim. Владелец: Hyundai Electronics Industries Co Ltd. Дата публикации: 1999-09-29.

Inductively coupled plasma spectroscopy

Номер патента: CA2047571A1. Автор: Ian Lawrence Turner. Владелец: Varian Australia Pty, Ltd.. Дата публикации: 1992-01-25.

Inductively-coupled plasma device

Номер патента: US8222822B2. Автор: James A. Gilbert. Владелец: TYCO HEALTHCARE GROUP LP. Дата публикации: 2012-07-17.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20140086338A. Автор: 이경석. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-07-08.

Inductively coupled plasma processing apparatus and control method thereof

Номер патента: KR20140059422A. Автор: 임정환. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-05-16.

Hybrid impedance matching for inductively coupled plasma system

Номер патента: US9918376B2. Автор: George Thomas,Panya Wongsenakhum,Francisco J. Juarez. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2018-03-13.

Radio frequency power source for generating an inductively coupled plasma

Номер патента: EP1203441A1. Автор: Wayne L. Johnson,Leonard G. West. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2002-05-08.

Inductively coupled plasma processing apparatus and control method thereof

Номер патента: KR20140137964A. Автор: 임정환. Владелец: 엘아이지에이디피 주식회사. Дата публикации: 2014-12-03.

Inductively coupled plasma source with phase control

Номер патента: US8933628B2. Автор: Zhigang Chen,Samer Banna,Valentin Todorow. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2015-01-13.

Inductively coupled plasma source

Номер патента: KR100481313B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2005-04-07.

Inductive coupled plasma source

Номер патента: KR100731998B1. Автор: 최대규. Владелец: 주식회사 뉴파워 프라즈마. Дата публикации: 2007-06-27.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: US8562785B2. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J. Kenworthy. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2013-10-22.

A printed circuit board type antenna for inductively coupled plasma generating device

Номер патента: KR100734954B1. Автор: 김재현,이상원,이용관. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2007-07-03.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: TW201300570A. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J Kenworthy. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2013-01-01.

Inductively coupled plasma processing equipment

Номер патента: JP3880864B2. Автор: 務 里吉. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-02-14.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101124754B1. Автор: 히토시 사이토,료 사토. Владелец: 도쿄엘렉트론가부시키가이샤. Дата публикации: 2012-03-23.

Inductively-coupled plasma (icp) resonant source element

Номер патента: WO2011041087A3. Автор: John M. White,Jonghoon Baek,Tsutomu Tanaka (Tom). Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2011-09-29.

Multi inductively coupled plasma inductor

Номер патента: KR100464808B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2005-01-05.

Gas distribution showerhead for inductively coupled plasma etch reactor

Номер патента: TWI563121B. Автор: Alex Paterson,Michael Kang,Ian J Kenworthy. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2016-12-21.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101547189B1. Автор: 김정태. Владелец: 엘아이지인베니아 주식회사. Дата публикации: 2015-08-25.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20030066452A. Автор: 사토요시츠토무. Владелец: 동경 엘렉트론 주식회사. Дата публикации: 2003-08-09.

Stabilized ICP emission spectrometer and method of using

Номер патента: US09726611B2. Автор: Yoshitomo Nakagawa. Владелец: Hitachi High Tech Science Corp. Дата публикации: 2017-08-08.

Manufacturing method for high-voltage led chip

Номер патента: US20240222546A1. Автор: Zhen Zhang,Hongfeng Wang,Xiaoxiong Lin,Wenguang HUANG,Yufei Cao. Владелец: Focus Lightings Tech Co ltd. Дата публикации: 2024-07-04.

Method for analyzing silicon substrate

Номер патента: US20210118751A1. Автор: Jiahong Wu,Katsuhiko Kawabata,Mitsumasa IKEUCHI,Sungjae Lee. Владелец: Kioxia Corp. Дата публикации: 2021-04-22.

Anti-reflection optical substrates and methods of manufacture

Номер патента: WO2019170357A1. Автор: Parag Vinayak KELKAR. Владелец: ASML Holding N.V.. Дата публикации: 2019-09-12.

Torch for inductively coupled plasma

Номер патента: US20180220520A1. Автор: Javad Mostaghimi,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2018-08-02.

Torch for inductively coupled plasma spectrometry

Номер патента: US5684581A. Автор: John Barry French,Raymond Jong,Bernard Etkin. Владелец: MDS Inc. Дата публикации: 1997-11-04.

A radio frequency inductively coupled plasma (rf-icp) torch

Номер патента: US20230345611A1. Автор: Javad Mostaghimi,Patrick Michael MIREK,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2023-10-26.

Inductively coupled plasma light source

Номер патента: EP4420488A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology Inc. Дата публикации: 2024-08-28.

Low inductance large area coil for an inductively coupled plasma source

Номер патента: AU6289296A. Автор: Duane Charles Gates. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 1997-02-05.

Antenna for plasma generation and plasma processing device having the same

Номер патента: US09947511B2. Автор: Yasunori Ando,Dongwei Li. Владелец: Nissin Electric Co Ltd. Дата публикации: 2018-04-17.

Inductive coupled coil and inductive coupled plasma device using the same

Номер патента: TW200908816A. Автор: qiao-li Song,jian-hui Nan. Владелец: Beijing NMC Co Ltd. Дата публикации: 2009-02-16.

Transformer coupled capacitive tuning circuit with fast impedance switching for plasma etch chambers

Номер патента: US09515633B1. Автор: Alex Paterson,Maolin Long. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2016-12-06.

Dual frequency matching circuit for inductively coupled plasma (ICP) loads

Номер патента: US12040159B2. Автор: Maolin Long. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-16.

Dual Frequency Matching Circuit for Inductively Coupled Plasma (ICP) Loads

Номер патента: US20240339298A1. Автор: Maolin Long. Владелец: Beijing E Town Semiconductor Technology Co Ltd. Дата публикации: 2024-10-10.

Inductively Coupled Plasma Light Source

Номер патента: US20230268167A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology Inc. Дата публикации: 2023-08-24.

Inductively coupled plasma light source

Номер патента: WO2023158909A1. Автор: Kosuke Saito,Stephen F. Horne,Wolfram Neff,Robert M. Grzybinski,Michael J. Roderick. Владелец: Energetiq Technology, Inc.. Дата публикации: 2023-08-24.

High resolution imaging apparatus and method

Номер патента: CA3104126A1. Автор: Alexander Loboda,Paul Corkum. Владелец: Fluidigm Canada Inc. Дата публикации: 2019-12-26.

High resolution imaging apparatus and method

Номер патента: US20240371622A1. Автор: Paul Corkum,Alexander V. Loboda. Владелец: Standard Biotools Canada Inc. Дата публикации: 2024-11-07.

Systems and methods for detection and quantification of selenium and silicon in samples

Номер патента: US09922810B2. Автор: Hamid Badiei,Kenneth Neubauer. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2018-03-20.

Multi inductively coupled plasma reactor and method thereof

Номер патента: US20110204023A1. Автор: Dae-Kyu Choi,Sung-Min Park,No-Hyun Huh,Gyoo-Dong Kim,Chang-Woo Nam. Владелец: Gen Co Ltd. Дата публикации: 2011-08-25.

Inductive coupled plasma reactor with improved vertical etching efficiency

Номер патента: KR100777841B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2007-11-21.

Inductively coupled plasma reactor having multi rf antenna

Номер патента: KR100772452B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2007-11-02.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR100806522B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2008-02-21.

Inductively coupled plasma reactor capable

Номер патента: KR101281191B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-02.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN104821269A. Автор: 崔大圭. Владелец: Jin Co Ltd. Дата публикации: 2015-08-05.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: KR101281188B1. Автор: 최대규. Владелец: 최대규. Дата публикации: 2013-07-02.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: EP1850367B1. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: Gen Co Ltd. Дата публикации: 2015-10-21.

Inductively coupled plasma antenna unit and inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: JP5894785B2. Автор: 利洋 東条. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2016-03-30.

Inductively coupled plasma reactor with multiple magnetic cores

Номер патента: EP1850367A1. Автор: Dae-Kyu Choi. Владелец: New Power Plasma Co Ltd. Дата публикации: 2007-10-31.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN104821269B. Автор: 崔大圭. Владелец: Jin Co Ltd. Дата публикации: 2017-05-10.

INDUCTIVELY COUPLED COIL AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA DEVICE USING THE SAME

Номер патента: US20170092466A1. Автор: Nan Jianhui,SONG Qiaoli. Владелец: . Дата публикации: 2017-03-30.

Method for adjusting voltage on a powered faraday shield

Номер патента: US20050194355A1. Автор: Andrew Bailey,Andras Kuthi,Shrikant Lohokare. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2005-09-08.

Process apparatus and method for improving plasma production of an inductively coupled plasma

Номер патента: US7255774B2. Автор: Mirko Vukovic,Edward L. Sill. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2007-08-14.

Inductively coupled plasma source with parallel helical rf coils

Номер патента: WO2024137370A1. Автор: Wei Yi Luo,Himanshu CHOKSHI,Abhinav Prakash,Norman MERTKE. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2024-06-27.

An inductively-coupled plasma etch apparatus and a feedback control method thereof

Номер патента: TW200636853A. Автор: Cheng-Hung Chang,Chaung Lin,Keh-Chyang Leou,Kai-Mu Shiao. Владелец: Univ Nat Tsing Hua. Дата публикации: 2006-10-16.

Inductive coupling plasma igniting method

Номер патента: TWI272879B. Автор: Atsushi Matsushita. Владелец: Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd. Дата публикации: 2007-02-01.

Apparatus for producing sample vapour for transferral into an inductively coupled plasma

Номер патента: GB9200536D0. Автор: . Владелец: Bodenseewerk Perkin Elmer and Co GmbH. Дата публикации: 1992-02-26.

Window and mounting arrangement for twist-and-lock gas injector assembly of inductively coupled plasma chamber

Номер патента: SG10201603198RA. Автор: David Schaefer,Rish Chhatre. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2016-05-30.

Window and mounting arrangement for twist-and-lock gas injector assembly of inductively coupled plasma chamber

Номер патента: SG11201401748VA. Автор: David Schaefer,Rish Chhatre. Владелец: Lam Res Corp. Дата публикации: 2014-05-29.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: TW536437B. Автор: Marwan H Khater,Lawrence J Overzet. Владелец: Univ Texas. Дата публикации: 2003-06-11.

Transmission line based inductively coupled plasma source with stable impedance

Номер патента: AU2001286661A1. Автор: Marwan H. Khater,Lawrence J. Overzet. Владелец: University of Texas System. Дата публикации: 2002-03-13.

Compact rf antenna for an inductively coupled plasma ion source

Номер патента: EP2622625A4. Автор: Shouyin Zhang. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2015-02-25.

Method of manufacturing optical waveguide device using inductively coupled plasma system

Номер патента: GB9821310D0. Автор: . Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 1998-11-25.

Method for ICPMS instrument stability control with strong acid resistant spray chamber

Номер патента: US12040172B1. Автор: Daniel R. Wiederin,Kevin Wiederin. Владелец: Elemental Scientific Inc. Дата публикации: 2024-07-16.

Apparatus for inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: GB202409404D0. Автор: . Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2024-08-14.

INDUCTIVE COIL STRUCTURE AND INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION SYSTEM

Номер патента: US20200105502A1. Автор: LEE Yun Seong,Uhm Sae Hoon. Владелец: . Дата публикации: 2020-04-02.

Inductively Coupled Plasma Source for Plasma Processing

Номер патента: US20170243721A1. Автор: LEE Dongsoo,Nagorny Vladimir,Kadavanich Andreas. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-24.

Inductively coupled plasma using an internal inductive element

Номер патента: WO2002019364A2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Arizona, Inc.. Дата публикации: 2002-03-07.

Plasma producing method and apparatus including an inductively-coupled plasma source

Номер патента: GB9820829D0. Автор: . Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 1998-11-18.

Plasma producing method and apparatus including an inductively-coupled plasma source

Номер патента: GB2326974B. Автор: Kaihan Ashtiani. Владелец: Materials Research Corp. Дата публикации: 2000-11-15.

System for introducing particle-containing samples to an analytical instrument and methods of use

Номер патента: CA3107338A1. Автор: Chady STEPHAN,Chung Ryu. Владелец: Perkin Elmer Yuhan Hoesa. Дата публикации: 2020-01-30.

Systems and methods for detection and quantification of selenium and silicon in samples

Номер патента: CA2941565C. Автор: Hamid Badiei,Kenneth Neubauer. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2021-01-26.

Systems and methods for detection and quantification of selenium and silicon in samples

Номер патента: CA2941565A1. Автор: Hamid Badiei,Kenneth Neubauer. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2015-11-05.

Low inductance large area coil for an inductively coupled plasma source

Номер патента: EP0835518B1. Автор: Duane Charles Gates. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-02-27.

Inductance coil and inductance coupling plasma processing device

Номер патента: CN104637767B. Автор: 倪图强,梁洁. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-02-15.

Universal transfer apparatus and method to use same

Номер патента: US20070104471A1. Автор: Robyn Hannigan,David Clarke. Владелец: Arkansas State University Research and Development Institute ASU RDI. Дата публикации: 2007-05-10.

High resolution imaging apparatus and method

Номер патента: US11967496B2. Автор: Paul Corkum,Alexander V. Loboda. Владелец: Standard Biotools Canada Inc. Дата публикации: 2024-04-23.

Inductance coupling plasma processing equipment and plasma processing method

Номер патента: TW200939898A. Автор: Hitoshi Saito,Ryo Sato,Kohji Yamamoto. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2009-09-16.

High resolution imaging apparatus and method

Номер патента: EP3807922A1. Автор: Alexander Loboda,Paul Corkum. Владелец: Fluidigm Canada Inc. Дата публикации: 2021-04-21.

High resolution imaging apparatus and method

Номер патента: US20220223398A1. Автор: Paul Corkum,Alexander V. Loboda. Владелец: Fluidigm Canada Inc. Дата публикации: 2022-07-14.

SYSTEMS AND METHODS FOR AUTOMATED OPTIMIZATION OF A MULTI-MODE INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER

Номер патента: US20150235827A1. Автор: Badiei Hamid,Patel Pritesh,Bazargan Samad. Владелец: . Дата публикации: 2015-08-20.

Method for phosphorus quantitation

Номер патента: CA2453556A1. Автор: Scott D. Tanner,Vladimir I. Baranov,Dmitry R. Bandura. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-01-30.

Apparatus, system and method for sustaining inductively coupled plasma

Номер патента: EP3965139B1. Автор: Alenka Vesel,Miran Mozetic,Rok ZAPLOTNIK,Gregor PRIMC. Владелец: INSTITUT JOZEF STEFAN. Дата публикации: 2024-03-27.

Apparatus, system and method for sustaining inductively coupled plasma

Номер патента: EP3965139C0. Автор: Alenka Vesel,Miran Mozetic,Rok ZAPLOTNIK,Gregor PRIMC. Владелец: INSTITUT JOZEF STEFAN. Дата публикации: 2024-03-27.

Systems and methods for single particle analysis

Номер патента: EP3983808A1. Автор: Yupeng Cheng. Владелец: Shanghai Polaris Biology Co Ltd. Дата публикации: 2022-04-20.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MS/MS MASS ANALYZER

Номер патента: US20130175442A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,KITAMOTO JUN,KUWABARA TAKEO. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2013-07-11.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE WITH SYMMETRICAL RF FEED

Номер патента: US20140020839A1. Автор: Collins Kenneth S.,Ramaswamy Kartik,FOVELL RICHARD,Rauf Shahid,Carducci James D.,KENNEY JASON A.. Владелец: . Дата публикации: 2014-01-23.

INTERNAL SPLIT FARADAY SHIELD FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20150008213A1. Автор: Zhang Shouyin,Miller Thomas G.. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2015-01-08.

Inductively-coupled plasma ion source for use with a focused ion beam column with selectable ions

Номер патента: US20160027607A1. Автор: Anthony Graupera,Charles Otis. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2016-01-28.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY (ICP-MS) WITH IMPROVED SIGNAL-TO-NOISE AND SIGNAL-TO-BACKGROUND RATIOS

Номер патента: US20210050199A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,Shimizu Erina. Владелец: . Дата публикации: 2021-02-18.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA CHAMBER HAVING A MULTI-ZONE SHOWERHEAD

Номер патента: US20180047542A1. Автор: NGUYEN ANDREW,CHANG Xue. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-15.

Inductively Coupled Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition

Номер патента: US20160097118A1. Автор: Tanaka Samuel L.,Greenberg Thomas L.,Platt Christopher L.,Tong Joseph. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

SWITCHABLE MATCHING NETWORK AND AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS HAVING SUCH NETWORK

Номер патента: US20200090908A1. Автор: Ni Tuqiang,Iizuka Hiroshi,Zhao Kui,Pang Xiaobei. Владелец: . Дата публикации: 2020-03-19.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20190108974A1. Автор: Rogers James,POULOSE John. Владелец: . Дата публикации: 2019-04-11.

ION SOURCE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY

Номер патента: US20220181135A1. Автор: GUNTHER Detlef,HATTENDORF Bodo,VONDERACH Thomas. Владелец: ETH Zurich. Дата публикации: 2022-06-09.

Skimmer cone and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20210142995A1. Автор: Shinichi Asahi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2021-05-13.

INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA ION SOURCE FOR USE WITH A FOCUSED ION BEAM COLUMN WITH SELECTABLE IONS

Номер патента: US20150129759A1. Автор: Graupera Anthony,Otis Charles. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2015-05-14.

SINGLE-TURN AND LAMINATED-WALL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCES

Номер патента: US20220277929A1. Автор: Polak Scott,Lee Yong Jiun,Shabalin Andrew,Madsen David W.. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-01.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER WITH MASS CORRECTION

Номер патента: US20200144046A1. Автор: SUGIYAMA Naoki,Liba Amir,Kelinske Mark Lee,Woods Glenn David. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES, INC.. Дата публикации: 2020-05-07.

Enhanced Ignition in Inductively Coupled Plasmas For Workpiece Processing

Номер патента: US20220310359A1. Автор: Savas Stephen E.,Ma Shawming. Владелец: . Дата публикации: 2022-09-29.

DYNAMIC ION RADICAL SIEVE AND ION RADICAL APERTURE FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA (ICP) REACTOR

Номер патента: US20160181067A1. Автор: Kumar Ajay,Singh Saravjeet,SCOTT Graeme Jamieson. Владелец: . Дата публикации: 2016-06-23.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA DEVICE

Номер патента: US20180174799A1. Автор: Liu Jun,Wei Yu. Владелец: . Дата публикации: 2018-06-21.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA APPARATUS

Номер патента: US20160196953A1. Автор: Agarwal Ankur,BANNA SAMER,NGUYEN ANDREW,Chen Zhigang,Rauf Shahid,TODOROW Valentin N.,Salinas Martin Jeff,WANG TSE-CHIANG. Владелец: . Дата публикации: 2016-07-07.

Poly-phased Inductively Coupled Plasma Source

Номер патента: US20170243720A1. Автор: Brcka Jozef. Владелец: . Дата публикации: 2017-08-24.

Mass analysis method and inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: US20170256388A1. Автор: Tadashi Taniguchi. Владелец: Shimadzu Corp. Дата публикации: 2017-09-07.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETRY (ICP-MS) WITH IMPROVED SIGNAL-TO-NOISE AND SIGNAL-TO-BACKGROUND RATIOS

Номер патента: US20190287776A1. Автор: YAMADA NORIYUKI,Shimizu Erina. Владелец: . Дата публикации: 2019-09-19.

SINGLE-TURN AND LAMINATED-WALL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCES

Номер патента: US20200286712A1. Автор: Polak Scott,Lee Yong Jiun,Shabalin Andrew,Madsen David W.. Владелец: . Дата публикации: 2020-09-10.

GAS SUPPLY STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170316922A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-02.

DIELECTRIC WINDOW SUPPORTING STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323769A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

DIELECTRIC WINDOW SUPPORTING STRUCTURE FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20170323770A1. Автор: CHO Saeng Hyun. Владелец: VNI Solution Co., Ltd.. Дата публикации: 2017-11-09.

OPTICAL EMISSION SPECTROSCOPE WITH A PIVOTABLY MOUNTED INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20170343478A1. Автор: BERGSCH Manfred A.. Владелец: . Дата публикации: 2017-11-30.

METHOD OF MULTIPLE ZONE SYMMETRIC GAS INJECTION FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20150371824A1. Автор: Ramaswamy Kartik,Lane Steven,Yang Yang,Wong Lawrence. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-24.

LOW-TEMPERATURE IONIZATION OF METASTABLE ATOMS EMITTED BY AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ION SOURCE

Номер патента: US20200350142A1. Автор: KNUFFMAN Brenton J.,STEELE Adam V.. Владелец: . Дата публикации: 2020-11-05.

CONNECTOR ASSEMBLY FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20150380864A1. Автор: Peters Craig. Владелец: . Дата публикации: 2015-12-31.

Generator of inductively coupled plasma

Номер патента: KR100297887B1. Автор: 김홍습. Владелец: 아남반도체 주식회사. Дата публикации: 2001-10-19.

Inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: JP2904507B2. Автор: 秀樹 松永. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1999-06-14.

Inductively coupled plasma generator using grid-type gas injection

Номер патента: KR970063436A. Автор: 장홍영,서상훈,손명호. Владелец: 손명호. Дата публикации: 1997-09-12.

Inductively coupled plasma mass spectrometer with mass correction

Номер патента: CN111146071A. Автор: 杉山尚树,A·利巴,M·L·克林斯克,G·D·伍兹. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2020-05-12.

Inductively Coupled Plasma Apparatus of Module Type for Large Area Processing

Номер патента: KR100599816B1. Автор: 김경남,정승재,염근영. Владелец: 학교법인 성균관대학. Дата публикации: 2006-07-13.

Inductively coupled plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100785401B1. Автор: 김형준,이기영,이승배,김인준. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2007-12-13.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR20220164294A. Автор: 박준수,김태민,김우현,김대일,유광종,유도형. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2022-12-13.

Inductively coupled plasma source as an electron beam source for spectroscopic analysis

Номер патента: US8716673B2. Автор: Brian Roberts Routh, JR.. Владелец: FEI Co. Дата публикации: 2014-05-06.

Apparatus for processing inductively coupled plasma

Номер патента: KR102195981B1. Автор: 이창근. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2020-12-29.

Apparatus for processing inductively coupled plasma

Номер патента: KR20190136311A. Автор: 홍성준,최정수,신영식. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2019-12-10.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR100553757B1. Автор: 이강일,정지영. Владелец: 삼성에스디아이 주식회사. Дата публикации: 2006-02-20.

A temperature control device of dielectric lid for inductively-coupled plasma processing unit

Номер патента: KR100666445B1. Автор: 김재현,이상원,이용관. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2007-01-09.

Inductively coupled plasma device

Номер патента: CN105931940A. Автор: 刘军,魏钰. Владелец: Hefei Xinsheng Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2016-09-07.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102180640B1. Автор: 이창근,박우종. Владелец: 인베니아 주식회사. Дата публикации: 2020-11-19.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP4903515B2. Автор: 健一 阪田,憲幸 山田. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2012-03-28.

Inductively coupled plasma processing system

Номер патента: CN110416053B. Автор: 李娜,刘海洋,郭颂,刘小波,胡冬冬,程实然,许开东,李雪冬. Владелец: Jiangsu Leuven Instruments Co Ltd. Дата публикации: 2021-03-16.

RF antenna assembly for treatment of inner surfaces of tubes with inductively coupled plasma

Номер патента: US7967945B2. Автор: Yuri Glukhoy,Tatiana Kerzhner,Anna Ryaboy. Владелец: Anna Ryaboy. Дата публикации: 2011-06-28.

Modulated gap segmented antenna for inductively-coupled plasma processing system

Номер патента: US7854213B2. Автор: Jozef Brcka. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2010-12-21.

Inductively coupled plasma chemical vapor deposition system

Номер патента: JP4713903B2. Автор: 漢 基 金,明 洙 許,明 洙 金,奎 成 李,錫 憲 鄭. Владелец: Samsung Mobile Display Co Ltd. Дата публикации: 2011-06-29.

inductive coupled plasma generation source

Номер патента: KR100415944B1. Автор: 이승원,전재홍,권기청,최성혁,한순석. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2004-01-24.

Single-tube interlaced inductively coupling plasma source

Номер патента: US6855225B1. Автор: Yuh-Jia Su,David Lee Chen,Vincent Bernard Decaux. Владелец: Novellus Systems Inc. Дата публикации: 2005-02-15.

Distributed inductively-coupled plasma source

Номер патента: US6273022B1. Автор: Hongching Shan,Claes Björkman,Mike Welch,Bryan Y. Pu,Kenny Doan,Richard Raymond Mett. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2001-08-14.

Multi Magnetized Inductively Coupled Plasmas Structure

Номер патента: KR100719804B1. Автор: 박용준,엄용택,윤대근. Владелец: 주식회사 아이피에스. Дата публикации: 2007-05-18.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: US20090133840A1. Автор: Seung-Jae Jung,Kyong-Nam Kim,Geun-Young Yeom. Владелец: SUNGKYUNKWAN UNIVERSITY. Дата публикации: 2009-05-28.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR102543128B1. Автор: 김태영,홍성재,노일호,양호식,김신평. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2023-06-13.

Connection arrangement for an inductively coupled plasma source

Номер патента: DE102015211095A1. Автор: Craig PETERS. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2015-12-31.

Connector assembly for inductively coupled plasma source

Номер патента: JP6670487B2. Автор: ピーターズ クレイグ. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2020-03-25.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: CN211295030U. Автор: 李昌根,朴宇钟. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2020-08-18.

Inductively coupled plasma source for improved process uniformity

Номер патента: US20030087488A1. Автор: Steven Fink,Janusz Sosnowski. Владелец: Tokyo Electron Ltd. Дата публикации: 2003-05-08.

Connector component and inductively coupled plasma spectrum appearance

Номер патента: CN205319466U. Автор: C·彼得斯. Владелец: AGILENT TECHNOLOGIES INC. Дата публикации: 2016-06-15.

Method for analysis of residual lithium compounds in positive electrode active material

Номер патента: EP4286843A1. Автор: Dong Wook Lee,Min Hwan Jung,Kyeongrak KIM,Youkyong SEO. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2023-12-06.

Cathode active materials for lithium-ion batteries and methods of manufacture

Номер патента: WO2024208774A1. Автор: Jacob HAAG,James A SIOSS,Bohang SONG. Владелец: BASF SE. Дата публикации: 2024-10-10.

Method for Analysis of Residual Lithium Compounds in Positive Electrode Active Material

Номер патента: US20240151697A1. Автор: Dong Wook Lee,Min Hwan Jung,Kyeongrak KIM,Youkyong SEO. Владелец: LG Chem Ltd. Дата публикации: 2024-05-09.

Methods of Using Inductively Coupled Plasma Mass Spectroscopy Systems for Analyzing a Cellular Sample

Номер патента: US20160097089A1. Автор: Ornatsky Olga. Владелец: . Дата публикации: 2016-04-07.

Methods of Using Inductively Coupled Plasma Mass Spectroscopy Systems for Analyzing a Cellular Sample

Номер патента: US20190161790A1. Автор: Ornatsky Olga. Владелец: . Дата публикации: 2019-05-30.

Deposition of superconducting thick films by spray inductively coupled plasma method

Номер патента: US5032568A. Автор: Yuk-Chiu Lau,Emil Pfender. Владелец: University of Minnesota. Дата публикации: 1991-07-16.

Method for rendering a non-platable semiconductor substrate platable

Номер патента: US4228201A. Автор: Nathan Feldstein. Владелец: Individual. Дата публикации: 1980-10-14.

MoSi2 ARC-SHAPED HEATER, AND METHOD AND DEVICE FOR MANUFACTURING THE HEATER

Номер патента: EP1383355B1. Автор: Hiroshi TAKAMURA,Daisuke TAKAGAKI. Владелец: Nippon Mining and Metals Co Ltd. Дата публикации: 2008-10-29.

Oscillator generators and methods of using them

Номер патента: AU2017257870A1. Автор: Tak Shun Cheung,Chui Ha Cindy WONG. Владелец: PerkinElmer Health Sciences Inc. Дата публикации: 2018-12-13.

Rf coil resonator systems and methods

Номер патента: WO2023244714A1. Автор: Alexander Loboda,Emil STRATULATIV,Maxim VORONOV. Владелец: Standard BioTools Inc.. Дата публикации: 2023-12-21.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION DEVICE

Номер патента: US20130088146A1. Автор: Matsuda Ryuichi,Nishikawa Seiji. Владелец: MITSUBISHI HEAVY INDUSTRIES, LTD.. Дата публикации: 2013-04-11.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURE WITH PHASE CONTROL

Номер патента: US20130106286A1. Автор: BANNA SAMER,TODOROW VALENTIN,Chen Zhigang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2013-05-02.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ARC DEVICE

Номер патента: US20150103860A1. Автор: Foret Todd. Владелец: . Дата публикации: 2015-04-16.

SYSTEM, METHOD AND APPARATUS FOR AN INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ARC WHIRL FILTER PRESS

Номер патента: US20140209573A1. Автор: Foret Todd. Владелец: FORET PLASMA LABS, LLC. Дата публикации: 2014-07-31.

System, Method and Apparatus for an Inductively Coupled Plasma Arc Whirl Filter Press

Номер патента: US20170135191A1. Автор: Foret Todd. Владелец: . Дата публикации: 2017-05-11.

HYBRID IMPEDANCE MATCHING FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SYSTEM

Номер патента: US20150313000A1. Автор: Thomas George,Wongsenakhum Panya,Juarez Francisco J.. Владелец: . Дата публикации: 2015-10-29.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR101715340B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2017-03-13.

Method for judging thermal balance of inductively coupled plasma

Номер патента: CN111753474A. Автор: 李小平,刘彦明,刘东林,包为民,牛越. Владелец: Xidian University. Дата публикации: 2020-10-09.

System, method and apparatus for an inductively coupled plasma Arc Whirl filter press

Номер патента: US9560731B2. Автор: Todd Foret. Владелец: Foret Plasma Labs LLC. Дата публикации: 2017-01-31.

Inductively coupled plasma generation source electrode and substrate processing apparatus comprising the same

Номер патента: KR101117670B1. Автор: 이경호. Владелец: 주식회사 테라세미콘. Дата публикации: 2012-03-07.

Inductively Coupled Plasma Apparatus

Номер патента: KR102280380B1. Автор: 이윤성,엄세훈. Владелец: 인투코어테크놀로지 주식회사. Дата публикации: 2021-07-22.

Imtroduction of samples do inductively coupled plasma

Номер патента: GB9316742D0. Автор: . Владелец: UNIVERSITY OF WATERLOO. Дата публикации: 1993-09-29.

A kind of inductively coupled plasma processor

Номер патента: CN106937474A. Автор: 周旭升,黄智林. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-07-07.

Inductively coupled plasma arc device

Номер патента: US8904749B2. Автор: Todd Foret. Владелец: Foret Plasma Labs LLC. Дата публикации: 2014-12-09.

A radio frequency inductively coupled plasma (rf-icp) torch

Номер патента: CA3193637A1. Автор: Javad Mostaghimi,Patrick Michael MIREK,Sina Alavi. Владелец: Individual. Дата публикации: 2022-04-14.

A boron nitride coating method with inductively coupled plasma

Номер патента: WO2023172227A2. Автор: Bilgin KAFTANOGLU,Tugce HACALOGLU,Berkay Dogan. Владелец: Atilim Universitesi. Дата публикации: 2023-09-14.

A boron nitride coating method with inductively coupled plasma

Номер патента: WO2023172227A3. Автор: Bilgin KAFTANOGLU,Tugce HACALOGLU,Berkay Dogan. Владелец: Atilim Universitesi. Дата публикации: 2023-10-12.

Induction-coupled plasma synthesis of boron nitride nanotubes

Номер патента: US20180029885A1. Автор: Michael W. Smith,Kevin C. Jordan,Jonathan C. Stevens. Владелец: BNNT LLC. Дата публикации: 2018-02-01.

Induction-coupled plasma synthesis of boron nitride nanotubes

Номер патента: US09776865B2. Автор: Michael W. Smith,Kevin C. Jordan,Jonathan C. Stevens. Владелец: BNNT LLC. Дата публикации: 2017-10-03.

Torch glassware for use with inductively coupled plasma-optical emission spectrometer

Номер патента: US20020089666A1. Автор: Michael Erath. Владелец: PerkinElmer Instruments LLC. Дата публикации: 2002-07-11.

Apparatus for producing silicon nanoparticle using inductive coupled plasma

Номер патента: US09802826B2. Автор: Joon-Soo Kim,Bo-Yun JANG,Hee-Eun SONG. Владелец: Korea Institute of Energy Research KIER. Дата публикации: 2017-10-31.

Aerosol production in inductively coupled plasma emission spectroscopy

Номер патента: US4673656A. Автор: Hans Pink. Владелец: SIEMENS AG. Дата публикации: 1987-06-16.

Transparent composite material and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: US20150190992A1. Автор: JongWon Lee,Kyungho JUNG,Eunseck Kang,Deokhai Park. Владелец: LG ELECTRONICS INC. Дата публикации: 2015-07-09.

Prism film and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: US09885811B2. Автор: Rui Li,Junguo Liu. Владелец: Beijing BOE Optoelectronics Technology Co Ltd. Дата публикации: 2018-02-06.

Packing and/or transport unit for insulation slabs of mineral wool and method and device for manufacturing such

Номер патента: EP2289807A3. Автор: Erik ÅSTRAND,Bjarne Walli. Владелец: Paroc Oy Ab. Дата публикации: 2013-10-09.

A cover and method and device for manufacturing the same

Номер патента: WO1995006566A1. Автор: Urpo Latvakangas,Jan Sabelstrom. Владелец: BINDOMATIC AB. Дата публикации: 1995-03-09.

Rfid tag and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: US20090066517A1. Автор: Kenneth R. Erikson. Владелец: BAE Systems Information and Electronic Systems Integration Inc. Дата публикации: 2009-03-12.

Spray diffusers and method and mold for manufacture of same

Номер патента: US20020180100A1. Автор: Juergen Speier,Rudolf Notz. Владелец: Lechler GmbH. Дата публикации: 2002-12-05.

Scaffold board and method and device for manufacturing thereof

Номер патента: WO1995021976A1. Автор: Waltherus Joseph Maria Van Erven. Владелец: Zodiac Europe S.A.. Дата публикации: 1995-08-17.

Thin-walled elastic products and methods and systems for manufacturing same

Номер патента: US09943995B1. Автор: Fielding B. STATON,David STRUMPF. Владелец: Newtonoid Technologies LLC. Дата публикации: 2018-04-17.

Coated paper product and method and apparatus for manufacture thereof

Номер патента: EP1831463A1. Автор: Markku Leskelä,Stina Nygard,Juha Koponen. Владелец: M Real Oyj. Дата публикации: 2007-09-12.

Supply packs and methods and systems for manufacturing supply packs

Номер патента: US09457902B2. Автор: Matthew J. Medlin,Greg J. Konczal,Rory T. Mcdonnell,Jeffrey J Potter. Владелец: SKYLIFE COMPANY Inc. Дата публикации: 2016-10-04.

Laminated glass, and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: SG167651A1. Автор: Hyung Gyu Jang,Hwang Doo Ha. Владелец: P & H Glass Co Ltd. Дата публикации: 2011-01-28.

Pre-assembled, two-part merchandise display hook and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: CA1303006C. Автор: Thomas O. Nagel. Владелец: Trion Industries Inc. Дата публикации: 1992-06-09.

Decorative food and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: CA2274347C. Автор: Tokuji Akutagawa. Владелец: Akutagawa Confectionery Co Ltd. Дата публикации: 2003-06-10.

Gasket for heat exchanger and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: EP1110016B1. Автор: Steven M. Suggs,Reid M. Meyer. Владелец: Acadia Elastomers Corp. Дата публикации: 2005-12-21.

Rolling-element bearing, and method and apparatus for manufacturing rolling-element bearing

Номер патента: US20120275740A1. Автор: Kazuyuki Hirata. Владелец: Toyota Boshoku Corp. Дата публикации: 2012-11-01.

Elastic steel band for sun cap or hat and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: US20060143786A1. Автор: Soon Kim. Владелец: Individual. Дата публикации: 2006-07-06.

Reinforcing woven fabric and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: US5783278A. Автор: Akira Nishimura,Kiyoshi Homma,Ikuo Horibe. Владелец: TORAY INDUSTRIES INC. Дата публикации: 1998-07-21.

Wet waste compostable bag and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: CA2408989C. Автор: George P. Colgan. Владелец: Bag to Earth Inc. Дата публикации: 2009-11-17.

Hermetically sealed package, and method and machine for manufacturing it

Номер патента: CA2259904A1. Автор: Luca Cerani. Владелец: Luca Cerani. Дата публикации: 1998-01-15.

Magnetic tape cassette accommodating case and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: US5323904A. Автор: Kiyoo Morita,Teruo Ashikawa,Shingo Katagiri. Владелец: Fuji Photo Film Co Ltd. Дата публикации: 1994-06-28.

Tobacco smoke filter contoured to provide undiluted air flow and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: CA1190114A. Автор: Richard M. Berger. Владелец: American Filtrona Corp. Дата публикации: 1985-07-09.

Abradable material feedstock and methods and apparatus for manufacture

Номер патента: EP3685938A1. Автор: Christopher W. STROCK. Владелец: United Technologies Corp. Дата публикации: 2020-07-29.

Abradable Material Feedstock and Methods and Apparatus for Manufacture

Номер патента: US20190143404A1. Автор: Christopher W. STROCK. Владелец: United Technologies Corp. Дата публикации: 2019-05-16.

Abradable Material Feedstock and Methods and Apparatus for Manufacture

Номер патента: US20180029120A1. Автор: Christopher W. STROCK. Владелец: United Technologies Corp. Дата публикации: 2018-02-01.

Light guide plate, and method and mold for manufacturing the same

Номер патента: US20140104884A1. Автор: Kun Lu,Kai Yan,Zhanchang Bu. Владелец: Beijing BOE Display Technology Co Ltd. Дата публикации: 2014-04-17.

Extruded and Co-extruded High-Altitude Balloons and Methods and Apparatus for Manufacture

Номер патента: US20190039709A1. Автор: Austyn Daniel Crites. Владелец: Individual. Дата публикации: 2019-02-07.

Porous flexible sheet and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: US20140308481A1. Автор: Satoshi Mitsui. Владелец: Casio Electronics Manufacturing Co Ltd. Дата публикации: 2014-10-16.

A vegetal concrete masonry unit and method and system for manufacture thereof

Номер патента: WO2021149076A1. Автор: Tarun Jami. Владелец: Greenjams Buildtech Private Limited. Дата публикации: 2021-07-29.

Floor board, and method and apparatus for manufacturing same

Номер патента: US20200392742A1. Автор: Xiao FANG,Fuyou WANG. Владелец: Nantong Cimc Eco New Material Development Co ltd. Дата публикации: 2020-12-17.

A vegetal concrete masonry unit and method and system for manufacture thereof

Номер патента: ZA202209336B. Автор: Tarun Jami. Владелец: Greenjams Buildtech Private Ltd. Дата публикации: 2023-09-27.

A vegetal concrete masonry unit and method and system for manufacture thereof

Номер патента: AU2021210697A1. Автор: Tarun Jami. Владелец: Greenjams Buildtech Private Ltd. Дата публикации: 2022-09-15.

A vegetal concrete masonry unit and method and system for manufacture thereof

Номер патента: GB2607775A. Автор: Jami Tarun. Владелец: Greenjams Buildtech Private Ltd. Дата публикации: 2022-12-14.

Confection and method and apparatus for manufacturing it

Номер патента: CA1327483C. Автор: Vijay Arjun Sawant. Владелец: UNILEVER PLC. Дата публикации: 1994-03-08.

Thin-walled elastic products and methods and systems for manufacturing same

Номер патента: CA3001220C. Автор: Fielding B. STATON,David STRUMPF. Владелец: Newtonoid Technologies LLC. Дата публикации: 2019-02-26.

Elastic and non-elastic narrow fabric and method and apparatus for manufacturing the same

Номер патента: US3685549A. Автор: Antonio Schiappa,Richard E Goff. Владелец: Individual. Дата публикации: 1972-08-22.

Supply packs and methods and systems for manufacturing supply packs

Номер патента: CA2809033C. Автор: Jeffrey J. Potter,Iain A. Mcneil,Terry C. Potter,Andrew E. Potter. Владелец: SKYLIFE COMPANY Inc. Дата публикации: 2015-12-22.

Supply packs and methods and systems for manufacturing supply packs

Номер патента: CA2867122C. Автор: Jeffrey J. Potter,Matthew J. Medlin,Greg J. Konczal,Rory T. Mcdonnell. Владелец: SKYLIFE COMPANY Inc. Дата публикации: 2017-09-12.

A composite brake disc and method and apparatus for manufacture of the same

Номер патента: CA2926866C. Автор: Daniel Dériaz. Владелец: Ernst Grob AG. Дата публикации: 2021-10-19.

Method of using a magnetic field furnace to manufacture semiconductor substrates

Номер патента: US20030097978A1. Автор: Kentaro Fujita,Hilton Glavish,Keiji Maishigi,Hideyuki Isozaki. Владелец: Individual. Дата публикации: 2003-05-29.

Method for separating four chemical phases in cobalt-rich crusts and polymetallic nodules

Номер патента: LU504003B1. Автор: Jingjing GAO. Владелец: The First Inst Of Oceanography Mnr. Дата публикации: 2023-10-20.

System and Method For Automated Sample Introduction

Номер патента: US20100229999A1. Автор: Ryan G. Brennan,Savelas A. Rabb. Владелец: Individual. Дата публикации: 2010-09-16.

Method for rapidly determining sulfur content in a plurality of samples

Номер патента: US20190101514A1. Автор: Jonathan Samuel TSCHRITTER. Владелец: DuPont Safety and Construction Inc. Дата публикации: 2019-04-04.

Method for rapidly determining sulfur content in a plurality of samples

Номер патента: WO2019067668A1. Автор: Jonathan Samuel TSCHRITTER. Владелец: E. I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY. Дата публикации: 2019-04-04.

Method for rapidly determining sulfur content in a plurality of samples

Номер патента: EP3688448A1. Автор: Jonathan Samuel TSCHRITTER. Владелец: DuPont Safety and Construction Inc. Дата публикации: 2020-08-05.

Inductively coupled plasma atomic emission spectroscopy

Номер патента: GB2291184B. Автор: Mark Cave. Владелец: Natural Environment Research Council. Дата публикации: 1998-04-29.

Method for measuring recovery of catalytic elements from fuel cells

Номер патента: US20090301171A1. Автор: Lawrence Shore,Ramail Matlin. Владелец: BASF Corp. Дата публикации: 2009-12-10.

Method for measuring recovery of catalytic elements from fuel cells

Номер патента: WO2009149245A1. Автор: Lawrence Shore,Ramail Matlin. Владелец: BASF Catalysts LLC. Дата публикации: 2009-12-10.

Methods for improving intensifying cellulolytic activity of polypeptide

Номер патента: RU2510417C2. Автор: Кейт МакФАРЛАНД,Пол Харрис. Владелец: Новозаймз, Инк.. Дата публикации: 2014-03-27.

Organoselenium compounds compositions and methods for use thereof

Номер патента: RU2731383C2. Автор: Цзы-Цзянь ЛАНЬ,Ронан Пауэр. Владелец: Олтек, Инк.. Дата публикации: 2020-09-02.

Diagnostic testing method for a spectrometer

Номер патента: GB2601182A. Автор: MURTAZIN Ayrat,GEISLER Sebastian. Владелец: Thermo Fisher Scientific Bremen GmbH. Дата публикации: 2022-05-25.

Printing device and method

Номер патента: US20080267655A1. Автор: Richard L. Swantner,Jeffrey L. Trask. Владелец: Hewlett Packard Development Co LP. Дата публикации: 2008-10-30.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRIDE NANOTUBES

Номер патента: US20180029885A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: BNNT, LLC. Дата публикации: 2018-02-01.

ADJUSTABLE COIL FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA

Номер патента: US20140175055A1. Автор: Sasagawa Teruo. Владелец: QUALCOMM MEMS Technologies, Inc.. Дата публикации: 2014-06-26.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20140196849A1. Автор: NGUYEN ANDREW,Ramaswamy Kartik,Lane Steven,Yang Yang. Владелец: Applied Materials, Inc.. Дата публикации: 2014-07-17.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRIDE NANOTUBES

Номер патента: US20150125374A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: . Дата публикации: 2015-05-07.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRADE NANOTUBES

Номер патента: US20160272496A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: BNNT, LLC. Дата публикации: 2016-09-22.

INDUCTION-COUPLED PLASMA SYNTHESIS OF BORON NITRADE NANOTUBES

Номер патента: US20190322529A1. Автор: SMITH Michael W.,STEVENS Jonathan C.,JORDAN Kevin C.. Владелец: . Дата публикации: 2019-10-24.

APPARATUS FOR PRODUCING SILICON NANOPARTICLE USING INDUCTIVE COUPLED PLASMA

Номер патента: US20160362302A1. Автор: SONG Hee-eun,JANG Bo-Yun,KIM Joon-Soo. Владелец: . Дата публикации: 2016-12-15.

Inductive coupling plasma treatment apparatus

Номер патента: KR100625319B1. Автор: 정영철,김형준,이기영,이승배. Владелец: 세메스 주식회사. Дата публикации: 2006-09-20.

Method for producing hydrophobic paper

Номер патента: RU2769708C1. Автор: Ракель БОН ШТОЛЬЦ,Биргитта ЛИНДБЕРГ. Владелец: Ска Форест Продактс Аб. Дата публикации: 2022-04-05.

Antenna for inductive coupled plasma generating apparatus

Номер патента: KR100817290B1. Автор: 정진욱,전형탁,이원기,최익진. Владелец: 한양대학교 산학협력단. Дата публикации: 2008-03-31.

Low-Frequency Type Inductively Coupled Plasma Generating Device

Номер патента: KR100488362B1. Автор: 이상원,이용관,엄세훈. Владелец: 주식회사 플라즈마트. Дата публикации: 2005-05-11.

Inductively coupled plasma apparatus

Номер патента: KR101255720B1. Автор: 이승헌,송명곤,이정락,도재철,전부일,최승대. Владелец: 주성엔지니어링(주). Дата публикации: 2013-04-17.

Inductively coupled plasma atomic emission spectrometer

Номер патента: DE19532213A1. Автор: Winfried Dipl Phys Quillfeldt. Владелец: Carl Zeiss Jena GmbH. Дата публикации: 1997-03-06.

Fire-polishing-assisted inductive coupling plasma processing method

Номер патента: CN104950355A. Автор: 张鹏,王波,辛强,王骏,苏星. Владелец: Harbin Institute of Technology. Дата публикации: 2015-09-30.

Inductively coupled plasma assisted chemical vapor deposition device

Номер патента: KR100952533B1. Автор: 윤기준. Владелец: 주식회사 동부하이텍. Дата публикации: 2010-04-12.

Power supply apparatus for inductive coupling plasma light source

Номер патента: JPS58169051A. Автор: Koji Okada,秀雄 服部,Hideo Hattori,幸治 岡田. Владелец: Shimazu Seisakusho KK. Дата публикации: 1983-10-05.

Laser probe induction coupled plasma emission analyzing apparatus

Номер патента: JPS54162597A. Автор: Yuzuru Komiyama,Yutaka Hiratsuka. Владелец: HITACHI LTD. Дата публикации: 1979-12-24.

Scaffold board and method and device for manufacturing thereof

Номер патента: WO1995021976B1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 1995-08-31.

Confection and method and apparatus for manufacturing it

Номер патента: CA1336828C. Автор: Vijay Arjun Sawant. Владелец: UNILEVER PLC. Дата публикации: 1995-08-29.

Methods for forming fine patterns in semiconductor substrates

Номер патента: MY129097A. Автор: Sang-jun Choi,Joo-tae Moon,Yool Kang. Владелец: SAMSUNG ELECTRONICS CO LTD. Дата публикации: 2007-03-30.

Method for Preparing Small Volume Reaction Containers

Номер патента: US20120003675A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

ENERGY STORAGE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME

Номер патента: US20120003535A1. Автор: Yamazaki Shunpei. Владелец: SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO., LTD.. Дата публикации: 2012-01-05.

Large Area Nitride Crystal and Method for Making It

Номер патента: US20120000415A1. Автор: Speck James S.,"DEvelyn Mark P.". Владелец: Soraa, Inc.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20120003811A1. Автор: . Владелец: Sumitomo Electric Industries, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR SUBSTRATE

Номер патента: US20120003823A1. Автор: Sasaki Makoto,NISHIGUCHI Taro,HARADA Shin,Okita Kyoko,Namikawa Yasuo. Владелец: Sumitomo Electric Industries, Ltd.. Дата публикации: 2012-01-05.

SUSPENSION OF CELLULOSE FIBERS AND METHOD FOR PRODUCING THE SAME

Номер патента: US20120000392A1. Автор: Isogai Akira,Mukai Kenta,Kumamoto Yoshiaki. Владелец: . Дата публикации: 2012-01-05.

Inductively coupled plasma processing apparatus and self-inducting coil thereof and method thereof for manufacturing semiconductor substrate

Номер патента: TWI615063B. Автор: Jun Wang. Владелец: . Дата публикации: 2018-02-11.

Inductively coupled plasma reactor

Номер патента: AU2002231067A1. Автор: Valery Godyak. Владелец: Individual. Дата публикации: 2002-07-08.

ANTENNA FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATION, INDUCTIVELY COUPLED PLASMA GENERATOR, AND METHOD OF DRIVING THE SAME

Номер патента: US20120037491A1. Автор: Park Young June,Kim Il Wook. Владелец: . Дата публикации: 2012-02-16.

PLASMA REACTOR HAVING DUAL INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE

Номер патента: US20130052830A1. Автор: CHOI Dae-Kyu,KIM Gyoo-Dong. Владелец: . Дата публикации: 2013-02-28.

A kind of inductively coupled plasma reactor

Номер патента: CN105810545B. Автор: 倪图强,张辉. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2017-09-29.

Inductive coupled plasma reactor apparatus and driving method thereof

Номер патента: KR101720339B1. Автор: 문종원,김정대,이강인,서풍부,정완우. Владелец: 엘지디스플레이 주식회사. Дата публикации: 2017-03-27.

BELTS FOR ELECTROSTATOGRAPHIC APPARATUS AND METHODS FOR MAKING THE SAME

Номер патента: US20120003415A1. Автор: FROMM Paul M.. Владелец: XEROX CORPORATION. Дата публикации: 2012-01-05.

Induction coupling coil and induction coupling plasma device

Номер патента: CN1925074B. Автор: 宋巧丽. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2010-08-11.

Induction coupling coil and induction coupling plasma device

Номер патента: CN1925074A. Автор: 宋巧丽. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2007-03-07.

Inductance coupling coil and inductance coupling plasma apparatus

Номер патента: CN101409126B. Автор: 刘宏,刘晓晗,袁洁静. Владелец: SUZHOU HANSHEN MICROELECTRONICS CO Ltd. Дата публикации: 2011-07-13.

Inductive coupling plasma processing device and heating element thereof

Номер патента: TWI570768B. Автор: Lei Wan,Jun Wang,Xiao-Bing Xie. Владелец: . Дата публикации: 2017-02-11.

Inductively coupled plasma control with external magnetic material

Номер патента: AU2002256073A1. Автор: Andrew Perry,Neil Benjamin,Takumasa Nishida,Shu Nakajima. Владелец: Lam Research Corp. Дата публикации: 2002-10-28.

Antenna structure for inductively coupled plasma generator

Номер патента: AU2002313937A1. Автор: Young Kwan Lee,Sang Won Lee,Sae Hoon Uhm. Владелец: Plasmart Co Ltd. Дата публикации: 2003-02-17.

Fume extractor of inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: CN221983372U. Автор: 张蕊,张晓楠,林凤,郝凤平,闫玉春,林天宠. Владелец: Tianjin Yuxiang Jinzhun Technology Co ltd. Дата публикации: 2024-11-12.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE FOR PLASMA PROCESSING

Номер патента: US20120152901A1. Автор: LEE Dongsoo,Nagorny Vladimir,Kadavanich Andreas. Владелец: MATTSON TECHNOLOGY, INC.. Дата публикации: 2012-06-21.

FIELD ENHANCED INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS AND PLASMA FORMING METHOD

Номер патента: US20140102641A1. Автор: Lee Soo-Hyun. Владелец: SMATEK CO., LTD. Дата публикации: 2014-04-17.

Inductive coupling plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN103165383A. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2013-06-19.

Inductively coupled plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN103165383B. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2016-05-11.

Inductively coupled plasma coil and plasma injection device

Номер патента: CN202352478U. Автор: 李楠,李超波,夏洋,窦伟. Владелец: Institute of Microelectronics of CAS. Дата публикации: 2012-07-25.

Inductively coupled plasma processing apparatus and method

Номер патента: JP5500097B2. Автор: 智洋 奥村,一郎 中山. Владелец: Panasonic Corp. Дата публикации: 2014-05-21.

Compact RF Antenna for an Inductively Coupled Plasma Ion Source

Номер патента: US20120080148A1. Автор: Zhang Shouyin. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-04-05.

Inductively Coupled Plasma Arc Device

Номер патента: US20120097648A1. Автор: . Владелец: FORET PLASMA LABS, LLC. Дата публикации: 2012-04-26.

ANALYZER CONSTITUTED BY GAS CHROMATOGRAPH COMBINED WITH INDUCTIVELY COUPLED PLASMA MASS SPECTROMETER

Номер патента: US20120126113A1. Автор: . Владелец: . Дата публикации: 2012-05-24.

INDUCTIVELY COUPLED PLASMA PROCESSING APPARATUS

Номер патента: US20120267051A1. Автор: . Владелец: TOKYO ELECTRON LIMITED. Дата публикации: 2012-10-25.

Inductively-Coupled Plasma Device

Номер патента: US20120268010A1. Автор: . Владелец: TYCO HEALTHCARE GROUP LP. Дата публикации: 2012-10-25.

GAS DISTRIBUTION SHOWERHEAD FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA ETCH REACTOR

Номер патента: US20120309204A1. Автор: Paterson Alex,Kang Michael,Kenworthy Ian J.. Владелец: LAM RESEARCH CORPORATION. Дата публикации: 2012-12-06.

MAGNETICALLY ENHANCED, INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SOURCE FOR A FOCUSED ION BEAM SYSTEM

Номер патента: US20120319000A1. Автор: . Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2012-12-20.

Internal Split Faraday Shield for an Inductively Coupled Plasma Source

Номер патента: US20130098871A1. Автор: Zhang Shouyin,Miller Tom. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-04-25.

Inductively Coupled Plasma Source as an Electron Beam Source for Spectroscopic Analysis

Номер патента: US20130134307A1. Автор: Routh,JR. Brian Roberts. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-05-30.

Inductively-Coupled Plasma Ion Source for Use with a Focused Ion Beam Column with Selectable Ions

Номер патента: US20130140450A1. Автор: Graupera Anthony,Otis Charles. Владелец: FEI COMPANY. Дата публикации: 2013-06-06.

Process Gas Management for an Inductively-Coupled Plasma Deposition Reactor

Номер патента: US20140073143A1. Автор: Alokozai Fred,Milligan Robert Brennan. Владелец: ASM IP HOLDINGS B.V.. Дата публикации: 2014-03-13.

HYBRID IMPEDANCE MATCHING FOR INDUCTIVELY COUPLED PLASMA SYSTEM

Номер патента: US20140097751A1. Автор: Thomas George,Wongsenakhum Panya,Juarez Francisco J.. Владелец: . Дата публикации: 2014-04-10.

Inductively Coupled Plasma Processing Apparatus

Номер патента: KR101695380B1. Автор: 조생현. Владелец: (주)브이앤아이솔루션. Дата публикации: 2017-01-11.

Preparation method of radio frequency glow discharge inductively coupled plasmas of nano powder material

Номер патента: CN101733405B. Автор: 梁奕清. Владелец: GUANGDONG XINGFA ALUMINIUM CO Ltd. Дата публикации: 2012-01-11.

Inductive coupled plasma cvd device

Номер патента: JPH1022279A. Автор: Satoshi Fukuyama,聡 福山,Yutaka Asanome,裕 浅野目. Владелец: Toshiba Machine Co Ltd. Дата публикации: 1998-01-23.

High frequency inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP2591822B2. Автор: 紀一郎 大塚. Владелец: NIPPON ELECTRON OPTICS LAB. Дата публикации: 1997-03-19.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP3154831B2. Автор: 昌三 小野. Владелец: 横河アナリティカルシステムズ株式会社. Дата публикации: 2001-04-09.

Inductively coupled plasma processing apparatus

Номер патента: KR101634603B1. Автор: 김진홍,이향주. Владелец: 주식회사 원익아이피에스. Дата публикации: 2016-06-29.

Inductive coupling plasma device

Номер патента: JPH11251088A. Автор: Yasushi Sakakibara,康史 ▲榊▼原. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 1999-09-17.

For producing the antenna of inductively coupled plasma

Номер патента: CN207303334U. Автор: 崔正秀,朴宇钟,韩垡昊. Владелец: Invenia Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-01.

Inductance coupling plasma equipment

Номер патента: CN2785310Y. Автор: 申浩南. Владелец: Beijing North Microelectronics Co Ltd. Дата публикации: 2006-05-31.

Inductively coupled plasma mass spectrometer

Номер патента: JP3153337B2. Автор: 斉 佐川. Владелец: 横河アナリティカルシステムズ株式会社. Дата публикации: 2001-04-09.

Sample introduction device for inductively coupled plasma mass spectrometry

Номер патента: JP2598073B2. Автор: 秀樹 松永,直之 平手. Владелец: Toshiba Corp. Дата публикации: 1997-04-09.

High-frequency inductive coupling plasma mass spectrometer

Номер патента: JPS646351A. Автор: Hideki Kawanako. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1989-01-10.

inductively coupled plasma processing system and processing method

Номер патента: CN106298418B. Автор: 倪图强,刘骁兵,罗伟义. Владелец: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai. Дата публикации: 2018-10-16.

Exhaust equipment of inductively coupled plasma emission spectrometer

Номер патента: CN213209890U. Автор: 刘小冲. Владелец: Sichuan Zhonghuanbo Environmental Testing Co ltd. Дата публикации: 2021-05-14.

Inductively coupled plasma emission spectrophotometer

Номер патента: JPH11166896A. Автор: Yoichi Harada,洋一 原田. Владелец: Seiko Instruments Inc. Дата публикации: 1999-06-22.

Inductively coupled plasma device

Номер патента: JPH10162993A. Автор: Akio Shimizu,Genichi Katagiri,Yasushi Sakakibara,明夫 清水,源一 片桐,康史 榊原. Владелец: Fuji Electric Co Ltd. Дата публикации: 1998-06-19.

High frequency induction coupling plasma mass analyzer

Номер патента: JPS62243233A. Автор: Hirotoshi Ishikawa,石川 宏俊. Владелец: Yokogawa Electric Corp. Дата публикации: 1987-10-23.

A kind of inductively-coupled plasma spectrometer seal operation case

Номер патента: CN208580031U. Автор: 李峰峰,何辉,唐洪彬,常尚文,欧阳应根. Владелец: China Institute of Atomic of Energy. Дата публикации: 2019-03-05.

Inductively coupled plasma treatment device

Номер патента: TW201223341A. Автор: Wei-Yi Luo,song-lin Xu. Владелец: Advanced Micro Fab Equip Inc. Дата публикации: 2012-06-01.