Plasma etching apparatus with focus ring and plasma etching method
Номер патента: US6726799B2
Опубликовано: 27-04-2004
Автор(ы): Osamu Koike
Принадлежит: Semiconductor Leading Edge Technologies Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 27-04-2004
Автор(ы): Osamu Koike
Принадлежит: Semiconductor Leading Edge Technologies Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Focus ring for a plasma-based semiconductor processing tool
Номер патента: US20230386799A1. Автор: Jr-Sheng Chen,Sheng-Chieh Huang,Chih-Hsien Hsu,Chung-Hsiu Cheng,Chun Yan Chen,Chang Kuang TSO,Chou Feng LEE,Chin-Tai HUNG. Владелец: Taiwan Semiconductor Manufacturing Co TSMC Ltd. Дата публикации: 2023-11-30.