Gaseous self-assembled monolayer coating apparatus
Номер патента: WO2009148284A3
Опубликовано: 04-03-2010
Автор(ы): 박성진, 박진구, 유연상, 윤능구, 이준구
Принадлежит: 주식회사 소로나
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 04-03-2010
Автор(ы): 박성진, 박진구, 유연상, 윤능구, 이준구
Принадлежит: 주식회사 소로나
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Chemical delivery chamber for self-assembled monolayer processes
Номер патента: EP3449500A1. Автор: Qiwei Liang,Srinivas D. Nemani,Ludovic Godet,Adib Khan,Tobin Kaufman-Osborn. Владелец: Applied Materials Inc. Дата публикации: 2019-03-06.