Pulsed light synchronizer and microscope system
Номер патента: US9816932B2
Опубликовано: 14-11-2017
Автор(ы): Naoki Kohara
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 14-11-2017
Автор(ы): Naoki Kohara
Принадлежит: Canon Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Pulsed light generation device, pulsed light generation method, exposure apparatus having pulsed light generation device and inspection apparatus having pulsed light generation device
Номер патента: US20200153193A1. Автор: Akira Tokuhisa. Владелец: Nikon Corp. Дата публикации: 2020-05-14.