Spectral feature selection and pulse timing control of a pulsed light beam
Номер патента: US20230040812A1
Опубликовано: 09-02-2023
Автор(ы): Joshua Jon Thornes, Kevin Michael O'Brien, Thomas Patrick Duffey
Принадлежит: Cymer LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 09-02-2023
Автор(ы): Joshua Jon Thornes, Kevin Michael O'Brien, Thomas Patrick Duffey
Принадлежит: Cymer LLC
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Spectral feature selection and pulse timing control of a pulsed light beam
Номер патента: US11768438B2. Автор: Joshua Jon Thornes,Kevin Michael O'Brien,Thomas Patrick Duffey. Владелец: Cymer LLC. Дата публикации: 2023-09-26.