Liquid crystal on silicon incorporating integrated spacers and silicon light valves and method for fabrication
Номер патента: US20030076461A1
Опубликовано: 24-04-2003
Автор(ы): Hong-Da Liu, Yong-Nien Rao
Принадлежит: Industrial Technology Research Institute ITRI
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-04-2003
Автор(ы): Hong-Da Liu, Yong-Nien Rao
Принадлежит: Industrial Technology Research Institute ITRI
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scale fabrication of liquid crystal on silicon light modulation devices
Номер патента: WO2006020086A1. Автор: John Magana. Владелец: Intel Corporation. Дата публикации: 2006-02-23.