System and method for in-situ monitor and control of film thickness and trench depth
Номер патента: WO2004086068A1
Опубликовано: 07-10-2004
Автор(ы): Andrew Weeks Kueny
Принадлежит: Verity Instruments, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-10-2004
Автор(ы): Andrew Weeks Kueny
Принадлежит: Verity Instruments, Inc.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System and method for in-situ monitor and control of film thickness and trench depth
Номер патента: KR100782192B1. Автор: 앤드류 위크스 퀘니. Владелец: 베러티 인스트루먼트, 인코퍼레이티드. Дата публикации: 2007-12-04.