Boat for supporting substrate and support unit using the same
Номер патента: KR101385701B1
Опубликовано: 17-04-2014
Автор(ы): 강호영, 박경완
Принадлежит: 주식회사 테라세미콘
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-04-2014
Автор(ы): 강호영, 박경완
Принадлежит: 주식회사 테라세미콘
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Support unit, substrate treating apparatus including the same, and substrate treating method
Номер патента: US11798822B2. Автор: Daehun KIM,Kangseop YUN,Ye Jin CHOI. Владелец: Semes Co Ltd. Дата публикации: 2023-10-24.