Linear motor and apparatus for transferring substrate using the same
Номер патента: KR101144299B1
Опубликовано: 17-05-2012
Автор(ы): 김용선, 김현동, 김효원, 배광명, 정현응
Принадлежит: 미래산업 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-05-2012
Автор(ы): 김용선, 김현동, 김효원, 배광명, 정현응
Принадлежит: 미래산업 주식회사
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Suction pad for transferring device and the transferring device comprising the same
Номер патента: KR101619876B1. Автор: 정훈의. Владелец: (주)엠프리시젼. Дата публикации: 2016-05-11.