Method and apparatus for improved signal to noise ratio in raman signal detection for mems based spectrometers
Номер патента: US20080018890A1
Опубликовано: 24-01-2008
Автор(ы): Anis Zribi, Ayan Banerjee, Glenn Claydon, Long Que, Sandip Maity, Shankar Chandrasekaran, Shivappa Goravar, Stacey Kennerly
Принадлежит: General Electric Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-01-2008
Автор(ы): Anis Zribi, Ayan Banerjee, Glenn Claydon, Long Que, Sandip Maity, Shankar Chandrasekaran, Shivappa Goravar, Stacey Kennerly
Принадлежит: General Electric Co
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scheduling method and wafer scheduling apparatus for etching equipment
Номер патента: US20230059538A1. Автор: Jianping Wang,Chien-Hung Chen,Jinjin CAO. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-23.