半導体単結晶育成法
Номер патента: JPS58110486A
Опубликовано: 01-07-1983
Автор(ы): Hideshi Kubota, Kiyomasa Sugii, 杉井 清昌, 英志 久保田
Принадлежит: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Опубликовано: 01-07-1983
Автор(ы): Hideshi Kubota, Kiyomasa Sugii, 杉井 清昌, 英志 久保田
Принадлежит: Nippon Telegraph and Telephone Corp
Реферат: (57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた め要約のデータは記録されません。
Ingot puller apparatus and methods for growing a single crystal silicon ingot with reduced lower chamber deposits
Номер патента: US20240247398A1. Автор: Jaewoo Ryu,Carissima Marie Hudson,Matteo Pannocchia,William Lynn Luter. Владелец: GlobalWafers Co Ltd. Дата публикации: 2024-07-25.