AlN单晶薄膜生长方法及具有该薄膜的声表面波谐振器
Номер патента: WO2022053038A1
Опубликовано: 17-03-2022
Автор(ы): 李红浪, 柯亚兵
Принадлежит: 广东广纳芯科技有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 17-03-2022
Автор(ы): 李红浪, 柯亚兵
Принадлежит: 广东广纳芯科技有限公司
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
AlN single crystal film growing method and surface acoustic wave resonator with same
Номер патента: CN112038217A. Автор: 其他发明人请求不公开姓名,李红浪,柯亚兵. Владелец: Guangdong Guangnaixin Technology Co ltd. Дата публикации: 2020-12-04.