자화가능한 기판의 표면의 처리 동안 기판을 유지하기 위한 유지 장치
Номер патента: KR20220116534A
Опубликовано: 23-08-2022
Автор(ы): 디터 뮐러, 막스 지베르트, 크리스토프 회벨링
Принадлежит: 외를리콘 서피스 솔루션즈 아게, 페피콘
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Автор(ы): 디터 뮐러, 막스 지베르트, 크리스토프 회벨링
Принадлежит: 외를리콘 서피스 솔루션즈 아게, 페피콘
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Process and device for forming a coating on a substrate by cathode sputtering
Номер патента: AU5304898A. Автор: Pierre Vanden Brande,Alain Weymeersch. Владелец: Cockerill Sambre SA. Дата публикации: 1998-07-03.