Method and apparatus for translation of process models to facilitate usage by plural simulation applications
Номер патента: EP1560087A2
Опубликовано: 03-08-2005
Автор(ы): David H. Jerome, Jagannadhan Annamalai, Joseph W. Kovach, Iii, Kenji Seto, Prashant Karbhari, Sanjay M. Desai
Принадлежит: Invensys Systems Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-08-2005
Автор(ы): David H. Jerome, Jagannadhan Annamalai, Joseph W. Kovach, Iii, Kenji Seto, Prashant Karbhari, Sanjay M. Desai
Принадлежит: Invensys Systems Inc
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Wafer scheduling method and wafer scheduling apparatus for etching equipment
Номер патента: US20230059538A1. Автор: Jianping Wang,Chien-Hung Chen,Jinjin CAO. Владелец: Changxin Memory Technologies Inc. Дата публикации: 2023-02-23.