Method for manufacturing niobate-system ferroelectric thin film device
Номер патента: EP2843723B1
Опубликовано: 31-01-2018
Автор(ы): Fumimasa Horikiri, Kazufumi Suenaga, Kazutoshi Watanabe, Kenji Shibata, Masaki Noguchi
Принадлежит: Sumitomo Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 31-01-2018
Автор(ы): Fumimasa Horikiri, Kazufumi Suenaga, Kazutoshi Watanabe, Kenji Shibata, Masaki Noguchi
Принадлежит: Sumitomo Chemical Co Ltd
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for manufacturing niobate-system ferroelectric thin film device
Номер патента: US20150064804A1. Автор: Kenji Shibata,Kazutoshi Watanabe,Kazufumi Suenaga,Masaki Noguchi,Fumimasa Horikiri. Владелец: Hitachi Metals Ltd. Дата публикации: 2015-03-05.