System and method of fast ambient switching for rapid thermal processing
Номер патента: AU2002331716A1
Опубликовано: 10-03-2003
Автор(ы): Jeffrey Hebb, William Drislane, Yong Liu
Принадлежит: Axcelis Technologies Inc
Опубликовано: 10-03-2003
Автор(ы): Jeffrey Hebb, William Drislane, Yong Liu
Принадлежит: Axcelis Technologies Inc
ELECTROLESS SEMICONDUCTOR BONDING STRUCTURE, ELECTROLESS PLATING SYSTEM AND ELECTROLESS PLATING METHOD OF THE SAME
Номер патента: US20220056589A1. Автор: Chiang Chun-Wei,Hung Chih-Pin,TARNG Shin-Luh,WANG Shiu-Chih,CHIU Yong-Da. Владелец: ADVANCED SEMICONDUCTOR ENGINEERING, INC.. Дата публикации: 2022-02-24.