반도체 소자의 소자분리막 형성방법
Номер патента: KR20040006466A
Опубликовано: 24-01-2004
Автор(ы): 김형균, 정승훈
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 24-01-2004
Автор(ы): 김형균, 정승훈
Принадлежит: 주식회사 하이닉스반도체
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for manufacturing a shallow trench isolation layer of the semiconductor device
Номер патента: KR100503344B1. Автор: 김성래. Владелец: 동부아남반도체 주식회사. Дата публикации: 2005-07-26.