Ultrasonic cleaning head, substrate cleaning method, substrate cleaning device, method for manufacturing substrate, and method for manufacturing mask blank for euvl
Номер патента: WO2023166961A1
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): 圭輔 太田, 大介 吉宗, 定達 池田, 尚明 宮本
Принадлежит: Agc株式会社
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 07-09-2023
Автор(ы): 圭輔 太田, 大介 吉宗, 定達 池田, 尚明 宮本
Принадлежит: Agc株式会社
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Device and method for confirming adhesion degree, film forming device and method, and method for manufacturing electronic device
Номер патента: CN111118447A. Автор: 川畑奉代,泷泽毅. Владелец: Canon Tokki Corp. Дата публикации: 2020-05-08.