Interferometric measuring arrangement for determining a surface shape
Номер патента: DE102018203795A1
Опубликовано: 03-05-2018
Автор(ы): Jochen Hetzler, Sebastian Fuchs
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 03-05-2018
Автор(ы): Jochen Hetzler, Sebastian Fuchs
Принадлежит: CARL ZEISS SMT GMBH
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Measurement device for interferometric measurement of a surface shape
Номер патента: US20240077305A1. Автор: Jochen Hetzler,Stefan Schulte,Matthias Dreher. Владелец: CARL ZEISS SMT GMBH. Дата публикации: 2024-03-07.