Methods for fabricating self-aligning arrangements on semiconductors
Номер патента: WO2011063163A3
Опубликовано: 18-08-2011
Автор(ы): Andrew P. Homyk, Axel Scherer, Michael D. Henry, Sameer WALAVALKAR
Принадлежит: California Institute of Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-08-2011
Автор(ы): Andrew P. Homyk, Axel Scherer, Michael D. Henry, Sameer WALAVALKAR
Принадлежит: California Institute of Technology
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Methods for fabricating self-aligning arrangements on semiconductors
Номер патента: EP2502264A2. Автор: Axel Scherer,Andrew P. Homyk,Michael D. Henry,Sameer WALAVALKAR. Владелец: California Institute of Technology CalTech. Дата публикации: 2012-09-26.