REACTION CHAMBER AND SEMI-CONDUCTOR PROCESSING DEVICE
Номер патента: US20170154758A1
Опубликовано: 01-06-2017
Автор(ы): CHEN PENG, SHE Qing, ZHANG Yanzhao
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 01-06-2017
Автор(ы): CHEN PENG, SHE Qing, ZHANG Yanzhao
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Reaction chamber and semi-conductor processing device
Номер патента: US09978570B2. Автор: Peng Chen,qing She,Yanzhao Zhang. Владелец: Beijing Naura Microelectronics Equipment Co Ltd. Дата публикации: 2018-05-22.