Microelectromechanical mirror device with piezoelectric actuation having improved stress resistance
Номер патента: EP4261592A1
Опубликовано: 18-10-2023
Автор(ы): Carlo Luigi PRELINI, Massimiliano Merli, Nicolo' BONI, Roberto Carminati, Tarek Afifi Afifi
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-10-2023
Автор(ы): Carlo Luigi PRELINI, Massimiliano Merli, Nicolo' BONI, Roberto Carminati, Tarek Afifi Afifi
Принадлежит: STMICROELECTRONICS SRL
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Microelectromechanical mirror device with piezoelectric actuation having improved stress resistance
Номер патента: EP4261592A9. Автор: Carlo Luigi PRELINI,Roberto Carminati,Massimiliano Merli,Nicolo' BONI,Tarek Afifi Afifi. Владелец: STMICROELECTRONICS SRL. Дата публикации: 2023-11-29.