Method for manufacturing patterned object, patterned object, and light irradiation apparatus
Номер патента: US20170052447A1
Опубликовано: 23-02-2017
Автор(ы): Go Yamada
Принадлежит: Ushio Denki KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 23-02-2017
Автор(ы): Go Yamada
Принадлежит: Ushio Denki KK
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Method for manufacturing patterned object, patterned object, and light irradiation apparatus
Номер патента: US9939727B2. Автор: Go Yamada. Владелец: Ushio Denki KK. Дата публикации: 2018-04-10.