Polarized light irradiation device and exposure method for irradiation target object
Номер патента: US20220171241A1
Опубликовано: 02-06-2022
Автор(ы): Akira Yamamoto, Makoto Kamo
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 02-06-2022
Автор(ы): Akira Yamamoto, Makoto Kamo
Принадлежит: Fujifilm Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Polarized light irradiation device and exposure method for irradiation target object
Номер патента: US11977299B2. Автор: Akira Yamamoto,Makoto Kamo. Владелец: Fujifilm Corp. Дата публикации: 2024-05-07.