Transient defect inspection using an inspection image
Номер патента: WO2024012966A1
Опубликовано: 18-01-2024
Автор(ы): Chih-Yu Jen, Datong ZHANG, Hsiang Ting YEH, Liang Tang, Shengcheng JIN, Xuechen ZHU
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-01-2024
Автор(ы): Chih-Yu Jen, Datong ZHANG, Hsiang Ting YEH, Liang Tang, Shengcheng JIN, Xuechen ZHU
Принадлежит: ASML Netherlands B.V.
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Parameterized inspection image simulation
Номер патента: WO2024068280A1. Автор: Yun Lin,Chi-Hsiang Fan,Fuming Wang,Yi-Hsin Chang,Rui YUan,Abdalmohsen ELMALK. Владелец: ASML Netherlands B.V.. Дата публикации: 2024-04-04.