Defect inspection device, defect inspection method, and adjustment substrate
Номер патента: US20240230551A9
Опубликовано: 11-07-2024
Автор(ы): Eiji Arima, Hiromichi YAMAKAWA, Toshifumi Honda, Yuta Urano
Принадлежит: Hitachi High Tech Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 11-07-2024
Автор(ы): Eiji Arima, Hiromichi YAMAKAWA, Toshifumi Honda, Yuta Urano
Принадлежит: Hitachi High Tech Corp
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Defect inspection device, defect inspection method, and adjustment substrate
Номер патента: US20240133824A1. Автор: Toshifumi Honda,Yuta Urano,Eiji Arima,Hiromichi YAMAKAWA. Владелец: Hitachi High Tech Corp. Дата публикации: 2024-04-25.