METHOD OF AND APPARATUS FOR SUPPLY AND RECOVERY OF TARGET MATERIAL
Номер патента: US20140261761A1
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Algots Martin, Baumgart Peter, Gacutan Jeffrey, Rajyaguru Chirag, Seshagiri Sanjeev, Syrpis Theodosios, Vaschenko Georgiy
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
Опубликовано: 18-09-2014
Автор(ы): Algots Martin, Baumgart Peter, Gacutan Jeffrey, Rajyaguru Chirag, Seshagiri Sanjeev, Syrpis Theodosios, Vaschenko Georgiy
Принадлежит:
Получить PDF файл: Открыть в новом окне
System for an extreme ultraviolet light source, method of aligning an irradiating amplified light beam generated from an extreme ultraviolet light system relative to a target material, and extreme ultraviolet light system
Номер патента: TWI612851B. Автор: 弗拉迪米爾B 弗魯羅夫,伊格爾V 佛蒙柯維. Владелец: Asml荷蘭公司. Дата публикации: 2018-01-21.